一种高效制备高纯氘气的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种高效制备高纯氘气的装置和方法，装置包括电解槽，所述电解槽通过氘气管路连接至氘侧分离罐侧端，所述氘侧分离罐顶端通过纯化管路连接至脱氧器底端，所述脱氧器顶端连通氘气产品管路；所述电解槽通过氧气管路连接有氧侧分离罐侧端，所述氧侧分离罐顶端通过二级除杂管路连接至二级除杂水箱，所述二级除杂水箱顶端通过一级除杂管路连接至一级除杂水箱。本发明专利技术利用氧气对氧侧分离罐、二级除杂水箱和一级除杂水箱内的重水进行除杂，除去了重水内除氧以外的气态杂质，使产出的氘气中只含有微量氧，纯化阶段仅需脱氧即可产出纯度不低于99.99％的高纯氘气，大幅简化了氘气的纯化工艺。气的纯化工艺。气的纯化工艺。

【技术实现步骤摘要】
一种高效制备高纯氘气的装置和方法


[0001]本专利技术属于精细化工
，具体涉及一种高效制备高纯氘气的装置和方法。

技术介绍

[0002]氘是氢的同位素，又称重氢，化学符号为D或2H，常温下氘气是一种无色、无味的可燃性气体，在地球上的丰度为0.015％，它在普氢中的含量很少，且大多以重水D2O即氧化氘形式存在于海水与普通水中。氘气在军事、热核实验和光纤制造上均有广泛的应用。
[0003]近年来，随着半导体行业的发展，高纯氘气逐渐成为半导体制造过程中的一种关键的特种气体，可以用于晶片的退火，提高芯片的稳定性。
[0004]现有的氘气制备方法需针对不同种类的杂质设计纯化工艺，整体工艺复杂，设备繁杂，不便于后期工业化生产。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种高效制备高纯氘气的装置和方法，该装置和方法使用方便，使用效果好，可推广应用。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种高效制备高纯氘气的装置，其特征在于，包括电解槽，所述电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效制备高纯氘气的装置，其特征在于，包括电解槽(1)，所述电解槽(1)通过氘气管路连接至氘侧分离罐(2)侧端，所述氘侧分离罐(2)顶端通过纯化管路连接至脱氧器(6)底端，所述脱氧器(6)顶端连通氘气产品管路；所述电解槽(1)通过氧气管路连接有氧侧分离罐(3)侧端，所述氧侧分离罐(3)顶端通过二级除杂管路连接至二级除杂水箱(4)，所述二级除杂水箱(4)顶端通过一级除杂管路连接至一级除杂水箱(5)。2.根据权利要求1所述的一种高效制备高纯氘气的装置，其特征在于，所述一级除杂水箱(5)侧端连通有补水管路，所述一级除杂水箱(5)与二级除杂水箱(4)之间设置有第一补水支路，所述二级除杂水箱(4)与氧侧分离罐(3)之间设置有第二补水支路，所述氘侧分离罐(2)的底端和氧侧分离罐(3)的底端均通过第三补水支路连接至所述电解槽(1)。3.根据权利要求2所述的一种高效制备高纯氘气的装置，其特征在于，所述氧气管路上支路连通有第一氧气排空管路，所述一级除杂水箱(5)顶端连通有第二氧气排空管路。4.根据权利要求3所述的一种高效制备高纯氘气的装置，其特征在于，所述纯化管路上支路连通有氘气排空管路。5.根据权利要求4所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨万吉，张长金，申永明，郝帅国，骆华江，滕鑫胜，齐治乐，吝海霞，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：