用于双面金属网格曝光机的铬板框结构制造技术

技术编号:35918704 阅读:21 留言:0更新日期:2022-12-10 11:01
本实用新型专利技术公开了一种用于双面金属网格曝光机的铬板框结构,包括上框组件与下框组件,上框组件包括上底座、上铬板、上压块、上密封条及上密封框,上铬板设置于上底座的一侧,上压块设置于上铬板的边缘上底座与上铬板之间开设有上真空槽,上密封条围设于真空槽的两侧,上密封框围设上铬板;下框组件包括下底座、下铬板、下压块、下密封条及下密封框,下底座与上底座相对设置,下铬板设置于下底座靠近上底座的一侧,下压块设置于下铬板的边缘,下底座与下铬板之间开设有下真空槽,下密封条围设于下真空槽的两侧,下密封框围设下铬板,上框组件与下框组件对合构成真空盒;本铬板框结构具有结构简单、操作简单且曝光精度高的特点。操作简单且曝光精度高的特点。操作简单且曝光精度高的特点。

【技术实现步骤摘要】
用于双面金属网格曝光机的铬板框结构


[0001]本技术涉及双面曝光机相关
,尤其涉及一种用于双面金属网格曝光机的铬板框结构。

技术介绍

[0002]双面金属网格主要是作为中大尺寸显示屏的触摸屏SENSOR(传感器),因为低电阻的优势,使触摸反应快、准。双面金属网格的网格线要求人眼难以分辨的3

5微米粗,所以曝光机的解析度也需要至少3微米以内。业内一般采用的是硬接触真空吸附曝光(即由上下铬板框及上下铬板组成真空盒,然后将产品放置在上下两个铬板之间,待对真空盒进行抽真空后,再进行曝光显影,而在抽真空过程中,上下两个铬板无可避免会发生形变),双面金属网格的正反两面的图案完全一样,所以人眼见到的线条粗细=设计宽度+对位精度,对位精度=靶标对位精度+铬板变形尺寸偏差。而在这些变量里面铬板变形最不可测量,这也是设备厂家重点关注的地方。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于双面金属网格曝光机的铬板框结构,其具有结构简单、操作简单且曝光精度高的特点,以克服现有技术中存在的不足。
[0004]为了实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0005]一种用于双面金属网格曝光机的铬板框结构,包括上框组件与下框组件;
[0006]所述上框组件包括上底座、上铬板、上压块、上密封条及上密封框,所述上铬板设置于所述上底座的一侧,所述上压块设置于所述上铬板的边缘,用于连接所述上铬板与所述上底座,所述上底座与所述上铬板之间开设有上真空槽,所述上密封条设置在所述上底座与所述上铬板之间,且所述上密封条围设于所述真空槽的两侧,所述上密封框围设所述上铬板,且所述上密封框与所述上底座连接;
[0007]所述下框组件包括下底座、下铬板、下压块、下密封条及下密封框,所述下底座与所述上底座相对设置,所述下铬板设置于所述下底座靠近所述上底座的一侧,所述下压块设置于所述下铬板的边缘,用于连接所述下铬板与所述下底座,所述下底座与所述下铬板之间开设有下真空槽,所述下密封条设置于所述下底座与下铬板之间,且所述下密封条围设于所述下真空槽的两侧,所述下密封框围设所述下铬板,且所述下密封框与所述下底座连接,所述上底座、上铬板、上密封框、下底座、下铬板及下密封框构成真空盒,所述真空盒、上真空槽及下真空槽均与外部的抽真空装置连通。
[0008]在其中一个实施例中,所述上真空槽为闭合的环状,且所述上真空槽开设于所述上底座靠近所述上铬板的一侧,所述上底座靠近所述上铬板的一侧开设有第一密封槽,所述第一密封槽用于卡装所述上密封条。
[0009]在其中一个实施例中,所述下真空槽为闭合的环状,且所述下真空槽开设与所述下底座靠近下铬板的一侧,所述下底座靠近所述下铬板的一侧开设有第二密封槽,所述第
二密封槽用于卡装所述下密封条。
[0010]在其中一个实施例中,所述上底座内部还开设有第一气道,所述第一气道与所述上真空槽连通。
[0011]在其中一个实施例中,所述下底座内部还开设有第二气道与第三气道,所述第二气道与所述下真空槽连通,所述第三气道与所述真空盒连通。
[0012]在其中一个实施例中,所述上框组件还包括若干上定位块,各所述上定位块间隔设置在所述上铬板相邻两侧边,各所述上定位块安装在所述上底座上。
[0013]在其中一个实施例中,所述下框组件还包括若干下定位块,各所述下定位块间隔设置在所述下铬板相邻两侧边,各所述下定位块安装在所述下底座上。
[0014]在其中一个实施例中,所述上框组件还包括上真空吸盘,所述上真空吸盘安装在所述上底座上,所述上底座上开设有与所述上真空吸盘连通的第四气道,所述上铬板上开设有与所述上真空吸盘连通的上气孔。
[0015]在其中一个实施例中,所述下框组件还包括下真空吸盘,所述下真空吸盘安装在所述下底座上,所述下底座上开设有与所述下真空吸盘连通的第五气道,所述下铬板上开设有与所述下真空吸盘连通的下气孔。
[0016]在其中一个实施例中,所述下框组件还包括密封圈,所述密封圈卡装在所述下密封框内。
[0017]与现有技术相比,本技术的有益效果如下:
[0018]本技术的用于双面金属网格曝光机的铬板框结构,通过在上底座与上铬板之间设置上真空槽与上密封条,当上铬板固定好在上底座后对上真空槽进行抽真空,使得上铬板紧紧地贴附在上底座上,防止上铬板发生变形;同理,下底座与下铬板之间设置有下真空槽与下密封条,当下铬板固定好在下底座后对下真空槽进行抽真空,使得下铬板紧紧地贴附在下底座上,防止下铬板发生变形;从而使得当上下铬板间隙为0.2

0.3mm时,可以精准对位,使得对位偏差更小。而且当对真空盒进行抽真空处理时,因为上铬板与上底座保持贴附,下铬板与下底座保持贴附,可以减少上下铬板的形变,提高对位精度。
附图说明
[0019]图1为本技术的一较佳实施例的用于双面金属网格曝光机的铬板框结构的结构示意图;
[0020]图2为图1所示的用于双面金属网格曝光机的铬板框结构中上框组件的结构示意图;
[0021]图3为图2所示的上框组件沿A

A线的剖视图;
[0022]图4图2所示的上框组件的结构分解示意图;
[0023]图5图1所示的用于双面金属网格曝光机的铬板框结构中下框组件的结构示意图;
[0024]图6为图5所示的下框组件的结构分解示意图。
[0025]附图标注说明:
[0026]用于双面金属网格曝光机的铬板框结构100:
[0027]上框组件10,上底座11,上真空槽111,上铬板12,上气孔121,上排气槽122,上压块13,上定位块14,上密封条15,上密封框16,上真空吸盘 17;下框组件20,下底座21,下真空
槽211,下铬板22,下气孔221,下排气槽222,下压块23,下定位块24,下密封条25,下密封框26,密封圈27,下真空吸盘28。
具体实施方式
[0028]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进,因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0029]需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。当一个元件的数目被称为有“多个”,它可以为两个或两个以上的任意数目。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
[0030]除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于双面金属网格曝光机的铬板框结构,其特征在于:包括上框组件与下框组件;所述上框组件包括上底座、上铬板、上压块、上密封条及上密封框,所述上铬板设置于所述上底座的一侧,所述上压块设置于所述上铬板的边缘,用于连接所述上铬板与所述上底座,所述上底座与所述上铬板之间开设有上真空槽,所述上密封条设置在所述上底座与所述上铬板之间,且所述上密封条围设于所述真空槽的两侧,所述上密封框围设所述上铬板,且所述上密封框与所述上底座连接;所述下框组件包括下底座、下铬板、下压块、下密封条及下密封框,所述下底座与所述上底座相对设置,所述下铬板设置于所述下底座靠近所述上底座的一侧,所述下压块设置于所述下铬板的边缘,用于连接所述下铬板与所述下底座,所述下底座与所述下铬板之间开设有下真空槽,所述下密封条设置于所述下底座与下铬板之间,且所述下密封条围设于所述下真空槽的两侧,所述下密封框围设所述下铬板,且所述下密封框与所述下底座连接,所述上底座、上铬板、上密封框、下底座、下铬板及下密封框构成真空盒,所述真空盒、上真空槽及下真空槽均与外部的抽真空装置连通。2.如权利要求1所述的用于双面金属网格曝光机的铬板框结构,其特征在于:所述上真空槽为闭合的环状,且所述上真空槽开设于所述上底座靠近所述上铬板的一侧,所述上底座靠近所述上铬板的一侧开设有第一密封槽,所述第一密封槽用于卡装所述上密封条。3.如权利要求1所述的用于双面金属网格曝光机的铬板框结构,其特征在于:所述下真空槽为闭合的环状,且所述下真空槽开设与所述下底座靠近下铬板的一侧,所述下底座靠近所述下铬板...

【专利技术属性】
技术研发人员:余燕青杜志航
申请(专利权)人:东莞市友辉光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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