一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法技术

技术编号:35914510 阅读:26 留言:0更新日期:2022-12-10 10:55
本发明专利技术公开了一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法,涉及太阳能电池的领域,该方法是通过光刻胶和激光镭射在晶硅太阳能电池片上形成精细线路,具体工艺步骤如下:S1、在晶硅太阳能电池片上涂敷一定厚度的光刻胶;S2、对光刻胶进行烘烤,固化后,在光刻胶最外层形成一层防水涂层;S3、使用激光镭射穿过防水涂层、光刻胶层以及晶硅太阳能电池片外层,刻蚀出线路;S4、在刻蚀的线路中注入金属浆料;S5、加热金属浆料,直至金属与硅形成共烧合金;S6、通过溶剂去除晶硅太阳能电池片上的光刻胶与防水涂层。以此达到实现在晶硅太阳能电池片上突破原有15um线宽,制造出更窄的金属精细线条。条。条。

【技术实现步骤摘要】
一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法


[0001]本专利技术涉及太阳能电池的领域,具体涉及一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法。

技术介绍

[0002]导电金属线在微电子领域具有广泛应用,常见的有在晶硅太阳能电池表面印刷导电金属线,用于收集电流;在触控屏表面,通过导电金属线将触摸电信号传输至处理器。
[0003]在太阳能电池片中,导电金属线主要分为两种,用于收集硅表面的电流的细栅线以及用于汇集并传导细栅线上的电流的主栅线;因细栅线的存在,减少了硅片受光的有效面积,所以细栅线越细越好,且高度越均匀越好。
[0004]现阶段在太阳能电池量产制造中,通常通过丝网印刷来形成导电金属线,升级缓慢且日趋进入工艺瓶颈阶段,如专利号:ZL201210214473.2等,均无法突破小于15um线宽的精细金属线条;并且丝网印刷存在编织网结,形成的金属线条存在高低起伏,导致电流消耗在金属线电阻上。
[0005]因此,有必要提供一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法以解决上述问题。

技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法,其特征在于:该方法是通过光刻胶和激光镭射在晶硅太阳能电池片上形成精细线路,具体工艺步骤如下:S1、在晶硅太阳能电池片上涂敷一定厚度的光刻胶;S2、对光刻胶进行烘烤,固化后,在光刻胶最外层形成一层防水涂层;S3、使用激光镭射防水涂层、光刻胶层以及晶硅太阳能电池片外层,刻蚀出线路;S4、在刻蚀的线路中注入金属浆料;S5、加热金属浆料,直至金属与硅形成共烧合金;S6、通过溶剂去除晶硅太阳能电池片上的光刻胶与防水涂层。2.根据权利要求1所述的一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法,其特征在于:在晶硅太阳能电池片上涂敷的光刻胶厚度为5μm

15μm。3.根据权利要求1所述的一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法,其特征在于:所述防水涂层的形成方法包括但不限于喷涂、蒸镀、溅射等。4.根据权利要求3所述的一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法,其特征在于:所述防水涂层的厚度为20nm

200nm。5.根据权利要求1所述的一种在晶硅太阳能电池片上形成金属线条的方法,其特征在于:所述激光镭射的脉冲宽度为2n...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴建梅
申请(专利权)人:苏州创旭特能源科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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