一种半导体元件的制造设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体元件的制造设备，涉及半导体制造技术领域，目的在于提供一种提高点胶效率、完成定量点胶，保障点胶质量的半导体元件的制造设备，其技术要点包括工作台，工作台的顶部设有支撑架，支撑架的顶部镶嵌有胶桶，胶桶的顶部通过连接块安装储气罐，储气罐的底部连接导气管，导气管的底端延伸至胶桶的内腔，导气管的中部设有控制阀，胶桶的一侧设有排气管，技术效果是通过定量筒内各结构的设置，储气罐内的压缩气体可以通过进气管进入到定量筒内，可以把定量筒内的胶液全部挤出，可以防止该设备在暂停过程中，点胶头内残留的胶液污染该设备及半导体元件。胶液污染该设备及半导体元件。胶液污染该设备及半导体元件。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体元件的制造设备


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，具体为一种半导体元件的制造设备。

技术介绍

[0002]半导体元件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子元件，可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换，半导体元件的半导体材料是硅、锗或砷化镓，可用作整流器、振荡器、发光器、放大器、测光器等器材。为了与集成电路相区别，有时也称为分立元件。绝大部分二端元件(即晶体二极管)的基本结构是一个PN结。
[0003]在针对半导体元件点胶时，由于设备一般是在竖直方向上进行点胶作业，且点胶头内的胶液无法完全喷出，而且缺少在点胶暂停过程中的接胶防漏装置，在重力的作用下，点胶头内的胶液滴落在传送装置上，会造成传送装置的污染及增加了胶的消耗，增加了生产成本，降低了点胶的效率，且对不同规格的半导体元件两端进行点胶时，需要更换不同的点胶头，影响设备的工作效率，为此，提出一种半导体元件的制造设备。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供一种提高点胶效率、完成定量点胶，保障点胶质量的半导体元件的制造设备。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体元件的制造设备，包括工作台，工作台的顶部设有支撑架，支撑架的顶部镶嵌有胶桶，胶桶的顶部通过连接块安装储气罐，储气罐的底部连接导气管，导气管的底端延伸至胶桶的内腔，导气管的中部设有控制阀，胶桶的一侧设有排气管，排气管的一端连通胶桶，另一端的内腔可拆卸安装塞体，胶桶的底部安装有液压杆，液压杆的底部安装有连接架，连接架的底部通过卡柱卡接安装有另一连接架，两个连接架的内腔均通过丝杆连接有固定套，固定套的内腔内卡接有定量筒，定量筒与胶桶通过胶管连接，定量筒与储气罐通过进气管连接，定量筒底部的中部设有点胶头，定量筒的内腔内设有排胶结构，定量筒的顶部设有泄压管。
[0008]优选地，控制阀包括转芯和转动电机一，转芯与导气管的内腔活动连接，且转芯的外表面与导气管的内壁接触，转动电机一的输出轴通过减速器与转芯一侧的中部连接，转芯的中部设有排气孔。
[0009]优选地，另一连接架顶部的中部设有固定槽，卡柱与固定槽的内腔卡接，两个连接架底端的中部均活动连接有丝杆，丝杆的外圈螺纹连接有螺纹块，螺纹块的一侧连接有连接管，连接管的另一端贯穿连接架的另一端并与固定套连接，且连接管与连接架活动连接，丝杆与连接管的内腔活动连接。
[0010]优选地，胶管与进气管的材质均为波纹管，泄压管内腔的顶端连接有十字瓣膜。
[0011]优选地，排胶结构包括下转盘，下转盘顶部的中部连接有转动杆，转动杆顶端的外圈活动套接有上转盘，上转盘的顶部活动连接有顶板，胶管、泄压管和进气管的底部均与顶板的顶部连接，胶管和进气管与定量筒内腔的顶部活动连接，下转盘、顶板和上转盘均与定量筒的内腔活动连接，且上转盘上设有与胶管、泄压管和进气管三者适配的贯穿孔，下转盘的一侧设有与点胶头适配的排胶孔，定量筒顶部的中部设有连接有转动电机二，转动电机二的输出轴末端与转动杆顶部的中部连接。
[0012]优选地，转动杆的横截面为矩形，上转盘的中部设有与转动杆适配的贯穿矩形孔，顶板的中部连接有固定管，转动杆与固定管的内腔活动连接，且固定管与定量筒内腔的顶部活动连接，固定管的顶端通过螺钉与定量筒的顶部连接。
[0013]优选地，固定管的一侧设有刻度线。
[0014](三)有益效果
[0015]与现有技术相比，本专利技术提供了一种半导体元件的制造设备，具备以下有益效果：
[0016]1、通过两个连接架的设置，两个点胶头之间的夹角可以根据需求进行改变，通过丝杆的设置，点胶头在丝杆所在方向上的位置可以发生改变，进而该设备可以适应多种尺寸的半导体，提高了该设备的使用效果。
[0017]2、通过定量筒内各结构的设置，储气罐内的压缩气体可以通过进气管进入到定量筒内，可以把定量筒内的胶液全部挤出，可以防止该设备在暂停过程中，点胶头内残留的胶液污染该设备及半导体元件，且点胶头不会因残留的胶液而被堵塞，便于该设备的使用。
附图说明
[0018]图1为本专利技术结构正面示意图；
[0019]图2为本专利技术结构丝杆与连接架连接示意图；
[0020]图3为本专利技术结构导气管剖面示意图；
[0021]图4为本专利技术结构定量筒内部示意图；
[0022]图5为本专利技术结构上转盘俯视示意图。
[0023]图中：1、工作台；2、支撑架；3、胶桶；4、储气罐；5、导气管；6、转动电机一；7、排气管；8、胶管；9、液压杆；10、固定套；11、点胶头；12、定量筒；13、丝杆；14、连接管；15、连接架；16、进气管；17、螺纹块；18、排气孔；19、转芯；21、转动电机二；22、转动杆；23、上转盘；24、下转盘；25、塞体；26、顶板；27、固定管；28、泄压管。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]请参阅图1和图3，一种半导体元件的制造设备，包括工作台1，工作台1的顶部设有支撑架2，支撑架2的顶部镶嵌有胶桶3，胶桶3的顶部通过连接块安装储气罐4，储气罐4的内腔内填充有不与胶桶3内胶液反应的惰性气体，储气罐4的底部连接导气管5，导气管5的底端延伸至胶桶3的内腔内。
[0026]导气管5的中部设有控制阀，控制阀包括转芯19和转动电机一6，转芯19与导气管5的内腔活动连接，且转芯19的外表面与导气管5的内壁接触，转动电机一6的输出轴通过减速器与转芯19一侧的中部连接，转芯19的中部设有排气孔18，转动电机一6镶嵌在一个连接块上，通过转动电机一6的设置，转动电机一6的转动可以通过减速器带动转芯19转动，转芯19上的排气孔18处于竖直状态时，储气罐4内的气体可以进入到胶桶3内，增大胶桶3内腔内的压强，便于胶桶3内的胶液的排出。
[0027]请参阅图1和图2，胶桶3的一侧设有排气管7，排气管7的一端连通胶桶3，另一端的内腔可拆卸安装塞体25，通过排气管7的设置，塞体25与排气管7分离时，胶桶3的内腔内多余的气体可以排出，便于给胶桶3补充胶液。
[0028]胶桶3底部的中部通过螺栓连接有液压杆9，液压杆9的底部设有点胶结构，通过液压杆9的设置，液压杆9的伸缩可以改变点胶结构的高度，便于点胶结构给半导体元件点胶。
[0029]点胶结构包括两个定量筒12，定量筒12的内腔与胶桶3的内腔通过胶管8连接，胶桶3内的胶液可以沿着胶管8进入到定量筒12内，定量筒12的内腔与储气罐4的内腔通过进气管16连接，储气罐4内的压缩气体可以沿着本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体元件的制造设备，包括工作台(1)，其特征在于：工作台(1)的顶部设有支撑架(2)，支撑架(2)的顶部镶嵌有胶桶(3)，胶桶(3)的顶部通过连接块安装储气罐(4)，储气罐(4)的底部连接导气管(5)，导气管(5)的底端延伸至胶桶(3)的内腔，导气管(5)的中部设有控制阀，胶桶(3)的一侧设有排气管(7)，排气管(7)的一端连通胶桶(3)，另一端的内腔可拆卸安装塞体(25)，胶桶(3)的底部安装有液压杆(9)，液压杆(9)的底部安装有连接架(15)，连接架(15)的底部通过卡柱卡接安装有另一连接架(15)，两个连接架(15)的内腔均通过丝杆(13)连接有固定套(10)，固定套(10)的内腔内卡接有定量筒(12)，定量筒(12)与胶桶(3)通过胶管(8)连接，定量筒(12)与储气罐(4)通过进气管(16)连接，定量筒(12)底部的中部设有点胶头(11)，定量筒(12)的内腔内设有排胶结构，定量筒(12)的顶部设有泄压管(28)。2.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：控制阀包括转芯(19)和转动电机一(6)，转芯(19)与导气管(5)的内腔活动连接，且转芯(19)的外表面与导气管(5)的内壁接触，转动电机一(6)的输出轴通过减速器与转芯(19)一侧的中部连接，转芯(19)的中部设有排气孔(18)。3.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：另一连接架(15)顶部的中部设有固定槽，卡柱与固定槽的内腔卡接，两个连接架(15)底端的中部均活动连接有丝杆(13)，丝杆(13)的外圈螺纹连接有螺纹块(17)，螺纹块(17)的一侧连接有连接管(14)，连接管(14)的另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂新明，赵波，
申请(专利权)人：苏师大半导体材料与设备研究院邳州有限公司，
类型：发明
国别省市：