【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种盘装置,具有放置盘的转台、插入所述盘中心孔的夹持器、以及配置在所述夹持器上,推压所述盘的多个压固部,其特征在于:在所述压固部中,每一个所述压固部具有多个对所述盘的推压点,所述压固部中第一压固部的第一推压点与、相邻于该第一点且与所述第一压固部不同的第二压固部的第二推压点的间隔,在盘的中心角上是锐角。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:内藤孝夫,儿玉一行,盐泽明哲,杉山久贵,
申请(专利权)人:株式会社日立制作所,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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