【技术实现步骤摘要】
一种基于扫描电镜的高低温力学测试系统
[0001]本技术涉及材料原位拉伸测试装置
，具体为一种基于扫描电镜的高低温力学测试系统。
技术介绍
[0002]人类发展史其实也是材料的发展史，随着人类科技的不断进步，对于材料的研究已然从宏观走向微观，从离线表征走向在线表征，从常规工况走向严苛工况。
[0003]扫描电镜(SEM)作为一种介于透射电镜与光学显微镜之间的一种微观形貌观测手段，由于其具有制样相对简单，成像景深大，视野大，成像立体效果好等特点而被广泛的应用于科学研究的各个领域，为了准确研究材料在各载荷状态下的变化过程，机制及其对性能的影响，结合了SEM电镜的“原位”技术在近年来有了长足的发展，很多基于SEM电镜的微型多功能原位试验台被开发出来，有效解决了科学研究中对不同载荷条件下材料的原位观测问题。
[0004]随着人类科技向着核能源、深海、深空的快速发展，常规实验条件已经难以满足严苛环境下对材料进行性能评定的需求，一些原位热力耦合原位试验台被相继开发出来。但是由于扫描电镜腔室大小的限制，以及其对真空度...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于扫描电镜的高低温力学测试系统，应用在扫描电镜的真空测试腔内，其特征在于：所述高低温力学测试系统包括底座，具有安装槽以及一传动箱；驱动机构和传动机构，所述驱动机构是指具有在真空环境下工作的电机，连接于所述传动机构，所述传动机构置于所述传动箱中，所述传动机构至少部分位于所述安装槽中；夹具，安装在所述安装槽中的丝杠传动机构上；高低温试验台，设置在所述安装槽内，且位于两个所述夹具之间；所述低温试验台包括高低温载物台以及与高低温载物台连接的高低温控制系统，所述高低温载物台内部具有相通的制冷液通道，所述制冷液通道具有一进液口和一出液口，所述低温控制系统通过进液管与进液口连通，液氮管路通过真空法兰与外部高低温控制器、液氮罐连通，电磁消除系统，所述的电磁消除系统包括消磁线圈，缠绕于驱动机构伺服电机外部，通过导线与电镜真空腔体外部的信号采集器和信号发生器相连接；真空光栅尺，所述的真空光栅尺与传动机构通过相对位移的滑块连接，当滑块位移时将位移信号转换成光电信号传输至外部位移控制器。2.根据权利要求1所述的基于扫描电镜的高低温力学测试系统，其特征在于：所述驱动机构包括一伺服电机，所述伺服电机具有一驱动轴，所述传动机构包括至少一根丝杆，还包括第一同步齿轮、第二同步齿轮以及蜗轮蜗杆，所述驱动轴连接有一光电编码器，所述驱动轴与第一同步齿轮连接，所述第一同步齿轮和第二同步齿轮啮合，所述第二同步齿轮与蜗轮蜗杆啮合，所述蜗轮蜗杆由高速蜗轮蜗杆和低速蜗轮蜗杆组成两级蜗轮蜗杆，进行减速增距，用于改变动力传递方向，所述丝杆为滚珠丝杆，滚珠丝杆输出的动力沿滚珠丝杆的轴线方向，所述伺服电机外部具有电磁线圈与电磁信号检测传感器，通过导线与电镜真空腔体外部的信号采集器和信号发生器相连接，电磁信号检测传感器采集到电磁强度和相位，反馈给信号发生器，信号发生器换将电磁信号算成电磁线圈产生相同强度且相位相差180
°
的电流，电流通过导线激发伺服电机上电磁线圈产生电磁场，消除伺服电机所产生的电磁场。3.根据权利要求1所述的基于扫描电镜的高低温力学测试系统，其特征在于：所述安装槽包括第一安装槽和第二安装槽，第一安装槽内设置有伺服电机以及驱动轴，所述驱动轴与丝杆平行，所述夹具包括至少两个横梁，每一横梁中部均设有一夹具，所述丝杆具有两根，两根丝杆同时与蜗轮蜗杆连接，两根丝杆通过轴承座与底座连接，两根丝杆螺纹旋向相反，丝杆运动时，同步带动横梁相互靠近或者远离，横梁中间设置左右两个夹具，左右夹具上设置有防滑凹槽，并对称开有四个螺纹孔，相应的上盖板通过螺丝与左右夹具结合，在夹具一侧设置有力传感器，力传感器与夹具刚性连接，实现对试样的夹持及载荷的传递。4.根据权利要求3所述的基于扫描电镜的高低温力学测试系统，其特征在于：在夹具连接的滑块上连接水冷板，水冷板为铜制或不锈钢导热性良好的金属，水冷板内有水冷回路，扫描电镜外部设置水冷循环系统，通过硅胶柔性管路穿过扫描电镜真空腔体的真空密封法兰与水冷板的进液口连接，经...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵天彪，张显程，汪明炉，谈建平，谢煜，
申请(专利权)人：文天精策仪器科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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