描绘点数据取得方法及装置和描绘方法及装置制造方法及图纸

利用照相机（２６）检测预先设置在基板（１２）上的规定位置的多个基准标记（１２ａ），由检测位置信息取得机构（５２）取得对该基准标记（１２ａ）的位置进行表示的检测位置信息，根据该取得的检测位置信息，由曝光轨迹信息取得机构（５４）取得对曝光头（３０）的各微反射镜（３８）在基板（１２）上的实际曝光轨迹进行表示的曝光轨迹信息，在曝光数据取得机构（５６）中从曝光图像数据中取得与每个微反射镜（３８）的曝光轨迹信息对应的曝光点数据，根据该取得的曝光点数据，由曝光头（３０）曝光基板（１２）。从而可在使曝光头相对基板移动的同时，对应于该移动，在基板上依次形成曝光点，对曝光图像进行曝光，无论基板是否变形等，都在基板上的期望位置曝光期望的曝光图像。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域 相对基板移动的同时，对应于该移动来依次形成描绘点、描绘图像的描 绘方法及装置和用于该描绘方法及装置的取得描绘点数据的描绘点数据 取得方法及装置。
技术介绍
以往，作为在印刷布线板或平板显示器的基板上记录规定图案的装 置，提出了各种利用光刻法技术的曝光装置。作为上述的曝光装置，例如提出了通过使光束在涂抹了光致抗蚀剂 的基板上沿主扫描方向及副扫描方向扫描，并且，根据表示布线图案的 图像数据调制该光束，从而形成布线图案的曝光装置。作为上述的曝光装置，例如提议了各种利用数字微反射镜装置(下面称为DMD)等空间光调制元件，对应于图像数据，并利用空间光调制 元件调制光束来进行曝光的曝光装置。而且，作为上述使用了 DMD的曝光装置，例如提出了如下的曝光装 置在使DMD相对曝光面沿规定的扫描方向移动的同时，对应于沿该扫 描方向的移动，将由对应于多个微反射镜的多个描绘点数据构成的帧数 据输入到DMD的存储单元，按时间序列依次形成与DMD的微反射镜对 应的描绘点群，从而在曝光面上形成期望的图像(例如参照特开 2004-233718号公报)。这里，利用上述的曝光装置形成的印刷布线板的布线图案等具有日 益高精细化的倾向，例如在形成多层印刷布线板的情况下，需要使各层 布线图案高精度地对位。为了进行上述的对位，各层的布线图案在相对基板预先设定的位置被曝光，但在形成多层印刷布线板时，由于存在着在粘接各层的冲压(press)工序中对基板加热，使得基板会因该热度而变形的情况，所以 如上所述担心因在预先设定的位置曝光各层的布线图案，使得各层的布 线图案产生记录位置偏移，导致各层的布线图案难以高精度地对位。并且，在平板显示器中也担心当曝光滤色器图案时，由于对基板施 加加热处理，所以基板基于该热度而伸縮，产生R、 G、 B各色的记录位 置偏移。另外，例如在通过使基板沿着规定的扫描方向移动、由光束在基板 上扫描时，存在着对应于使基板移动的移动机构的控制精度，在基板的 移动方向产生偏移的情况，因而担心一旦产生这种偏移，则难以使布线 图案等高精度地对位。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题而提出，其目的在于，提供一种在上述曝光装 置的描绘方法及装置中，不受基板变形或基板的移动方向偏移等影响， 可在基板上的期望位置描绘所期望图像的描绘方法及装置、和用于该描 绘方法及装置的取得描绘点数据的方法及装置。本专利技术的第一描绘点数据取得方法使根据描绘点数据形成描绘点的 描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上 依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据， 在该描绘点数据取得方法中，取得在图像的原图像数据上的描绘点形成 区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图 像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据。本专利技术的第二描绘点数据取得方法使根据描绘点数据形成描绘点的 描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上 依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据， 在该描绘点数据取得方法中，取得在描绘图像时描绘对象上的描绘点形 成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在图像的原 图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描 绘点数据。本专利技术的第三描绘点数据取得方法使根据描绘点数据形成描绘点的 描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上 依次形成描绘点，取得在描绘对象上描绘图像时所使用的描绘点数据， 在该描绘点数据取得方法中，取得在描绘对象上的图像空间中的描绘点 形成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在图像的 原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的 描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个 描绘点数据。而且，在上述本专利技术的第二及第三描绘点数据取得方法中，可检测 在描绘对象上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取得表示该基 准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息，并根据该取得的检测位置 信息，取得描绘轨迹信息。并且，可取得图像描绘时描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿 势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信 息，根据该取得的偏移信息，取得描绘轨迹信息。另外，可取得图像描绘时描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿 势相对预先设定的描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信 息，根据该取得的偏移信息及检测位置信息，取得描绘轨迹信息。此外，可使从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数 量，对应于由描绘轨迹信息表示的描绘轨迹的距离而变化。而且，在上述本专利技术的第一 第三描绘点数据取得方法中，可取得 对图像描绘时描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的描绘对象的 规定相对移动速度的变动进行表示的速度变动信息，根据该取得的速度 变动信息，按照越是在描绘对象的实际相对移动速度相对慢的描绘对象 上的描绘区域，从构成图像数据的各像素数据中取得的描绘点数据的数 量越多的方式，从各像素数据中取得描绘点数据。并且，作为通过多个描绘点形成区域取得在进行描绘时使用的描绘点数据的描绘点数据取得方法，可按每个描绘点形成区域取得描绘点数 据。另外，可将描绘点形成区域设为由空间光调制元件形成的聚束点(beam spot)。此外，可在描绘点数据轨迹信息中附带取得描绘点数据的间距成分。而且，可具备多个描绘点形成区域，按每2个以上描绘点形成区域 取得1个描绘点数据轨迹信息。并且，可将多个描绘点形成区域排列成二维状。本专利技术的第一描绘方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成 区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描绘点，在描绘对象上描绘图像，其特征在于取得在图像的原图像数据 上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据 轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个描绘点数据， 根据该取得的描绘点数据，通过描绘点形成区域在描绘对象上形成描绘 点。本专利技术的第二描绘方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成 区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描 绘点，在描绘对象上描绘图像，其特征在于取得在描绘图像时描绘对 象上的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息， 取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息， 根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨 迹对应的多个描绘点数据，根据该取得的描绘点数据，通过描绘点形成 区域在描绘对象上形成描绘点。本专利技术的第三描绘方法使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成 区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在描绘对象上依次形成描 绘点，在描绘对象上描绘图像，其特征在于取得在描绘对象上的图像 空间中的描绘点形成区域的描绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息， 取得在图像的原图像数据上的描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息， 根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从图像数据中取得与描绘点数据轨迹对应的多个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种描绘点数据取得方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于：取得在所述图像的原图像数据上 的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-3-31 103787/20051、一种描绘点数据取得方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。2、 一种描绘点数据取得方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘 点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依 次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘 点数据，其特征在于取得在描绘所述图像时所述描绘对象上的所述描绘点形成区域的描 绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述 描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描 绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。3、 一种描绘点数据取得方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘 点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依 次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘 点数据，其特征在于取得在所述描绘对象上的图像空间中的所述描绘点形成区域的描绘 轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述 描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描 绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据。4、 根据权利要求2或3所述的描绘点数据取得方法，其特征在于 检测在所述描绘对象上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位,取得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息， 根据该取得的检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。5、 根据权利要求2或3所述的描绘点数据取得方法，其特征在于-取得所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏 移信息，根据该取得的偏移信息，取得所述描绘轨迹信息。6、 根据权利要求4所述的描绘点数据取得方法，其特征在于 取得所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏 移信息，根据该取得的偏移信息及所述检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。7、 根据权利要求2 6中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特 征在于使从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数 量，对应于由所述描绘轨迹信息表示的描绘轨迹的距离而变化。8、 根据权利要求1 7中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特 征在于-取得速度变动信息，所述速度变动信息表示所述图像描绘时所述描绘 对象的实际相对移动速度相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动 速度的变动，根据该取得的速度变动信息，按照越是在所述描绘对象的实际相对移 动速度相对慢的所述描绘对象上的描绘区域，从构成所述图像数据的各像 素数据中取得的所述描绘点数据的数量越多的方式，从所述各像素数据中 取得所述描绘点数据。9、 根据权利要求1 8中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特 征在于，取得在通过多个所述描绘点形成区域进行所述描绘时所使用的所 述描绘点数据，按每个所述描绘点形成区域取得所述描绘点数据。10、 根据权利要求1 9中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其特征在于所述描绘点形成区域是由空间光调制元件形成的聚束点。11、 根据权利要求1 10中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其 特征在于在所述描绘点数据轨迹信息中附带有取得所述描绘点数据的间距成分。12、 根据权利要求1 U中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其 特征在于具备多个描绘点形成区域，按每2个以上描绘点形成区域取得1个描 绘点数据轨迹信息。13、 根据权利要求1 12中任意一项所述的描绘点数据取得方法，其 特征在于所述多个描绘点形成区域被排列成二维状。14、 一种描绘方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域 相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述 描绘点，在所述描绘对象上描绘图像，其特征在于取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数 据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描 绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据，根据该取得的描绘点数据，通过所述描绘点形成区域在所述描绘对象 上形成所述描绘点。15、 一种描绘方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域 相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述 描绘点，在所述描绘对象上描绘图像，其特征在于取得在描绘所述图像时所述描绘对象上的所述描绘点形成区域的描 绘轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描 绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据，根据该取得的描绘点数据，通过所述描绘点形成区域在所述描绘对象 上形成所述描绘点。16、 一种描绘方法，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘点形成区域 相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依次形成所述描绘点，在所述描绘对象上描绘图像，其特征在于取得在所述描绘对象上的图像空间中的所述描绘点形成区域的描绘 轨迹信息，根据该取得的描绘轨迹信息，取得在所述图像的原图像数据上的所述 描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息，根据该取得的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描 绘点数据轨迹对应的多个所述描绘点数据，根据该取得的描绘点数据，通过所述描绘点形成区域在所述描绘对象 上形成所述描绘点。17、 根据权利要求15或16所述的描绘方法，其特征在于检测在所述描绘对象上的规定位置的多个基准标记及/或基准部位，取 得表示该基准标记及/或基准部位的位置的检测位置信息， 根据该取得的检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。18、 根据权利要求15或16所述的描绘方法，其特征在于取得所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动方向及/或移动姿 势相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏 移信息，根据该取得的偏移信息，取得所述描绘轨迹信息。19、 根据权利要求17所述的描绘方法，其特征在于取得所述图像描绘时所述基板的实际相对移动方向及/或移动姿势相 对预先设定的所述基板的规定相对移动方向及/或移动姿势的偏移信息， 根据该取得的偏移信息及所述检测位置信息，取得所述描绘轨迹信息。20、 根据权利要求15 19中任意一项所述的描绘方法，其特征在于使从构成所述图像数据的各像素数据中取得的所述描绘点数据的数 量，对应于由所述描绘轨迹信息表示的描绘轨迹的距离而变化。21、 根据权利要求14 20中任意一项所述的描绘方法，其特征在于: 取得速度变动信息，所述速度变动信息表示所述图像描绘时所述描绘对象的实际相对移动速度相对预先设定的所述描绘对象的规定相对移动 速度的变动，根据该取得的速度变动信息，按照越是在所述描绘对象的实际相对移 动速度相对慢的所述描绘对象上的描绘区域，从构成所述图像数据的各像 素数据中取得的所述描绘点数据的数量越多的方式，从所述各像素数据中 取得所述描绘点数据。22、 根据权利要求14 21中任意一项所述的描绘方法，其特征在于 通过多个所述描绘点形成区域进行所述描绘，按每个所述描绘点形成区域中取得所述描绘点数据。23、 根据权利要求14 22中任意一项所述的描绘方法，其特征在于 所述描绘点形成区域是由空间光调制元件形成的聚束点。24、 根据权利要求14 23中任意一项所述的描绘方法，其特征在于-在所述描绘点数据轨迹信息中附带有取得所述描绘点数据的间距成分。25、 根据权利要求14 24中任意一项所述的描绘方法，其特征在于 具备多个描绘点形成区域，按每2个以上描绘点形成区域取得1个描绘点数据轨迹信息。26、 根据权利要求14 25中任意一项所述的描绘方法，其特征在于 多个描绘点形成区域被排列成二维状。27、 一种描绘点数据取得装置，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘 点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依 次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘 点数据，其特征在于，具备.-描绘点数据轨迹信息取得机构，其取得在所述图像的原图像数据上的 所述描绘点形成区域的描绘点数据轨迹信息；和 描绘点数据取得机构，其根据由该描绘点数据轨迹信息取得机构取得 的描绘点数据轨迹信息，从所述图像数据中取得与所述描绘点数据轨迹对 应的多个所述描绘点数据。28、 一种描绘点数据取得装置，使根据描绘点数据形成描绘点的描绘 点形成区域相对描绘对象移动，并且对应于该移动，在所述描绘对象上依 次形成所述描绘点，取得在所述描绘对象上描绘图像时所使用的所述描绘点数据，其特征在于，具备描绘轨迹信息取得机构，其取得在描绘所述图像时所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：武者野满，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]