测量测试样本的温度调制特性制造技术

获得具有导电或半导电材料的测试样本的物理特性(线/面积/体积)。通过以下操作在所述测试样本内诱发周期性焦耳加热：使AC电流通过电连接到所述测试样本的第一对探针端子；以电流传导端子的基本激发频率的一倍及三倍测量跨电连接到所述测试样本的第二对探针端子的电压降；及依据电势降测量而计算所述测试样本的一或多个温度调制特性。此包含：a)确定与所述测试样本的TCR成比例的值，b)所述测试样本的几何参数(受其TCR与到/来自所述测试样本的热传输的耦合影响)，或c)通过减去可测量且可计算TCR偏移的所述测试样本在环境实验温度下的真实电阻率。的真实电阻率。的真实电阻率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测量测试样本的温度调制特性
[0001]相关申请案的交叉引用
[0002]本申请案主张2020年4月24日申请的第20171264.3号欧洲专利申请案及2021年3月30日申请的第21165918.0号欧洲专利申请案的优先权，所述案的公开内容特此以引用的方式并入。

技术介绍

[0003]本专利技术涉及测量测试样本(待测装置)(例如具有若干集成电路或存储器单元的晶片或在制造需要测量电或几何特性的电组件时使用的任何材料)的电特性。
[0004]通常，通过在测试样本上着陆若干悬臂且将电流注入到测试样本中，其后接着测量两个悬臂之间的电压而在测试样本上使用显微多端子探针。
[0005]以此方式，可确认晶片或晶片上的电路的特定部分是否符合给定或所要规格。
[0006]然而，随着电路组件变得越来越小，甚至小测试电流仍可导致错误测试值，即，电流可导致测试样本的加热，这可导致经测量电阻，其明显不同于(通常大于)在没有局部加热的情况下在室温下测量的经测量电阻。
[0007]此类热效应也可用于测量温度相依的特性(例如电阻温度系数)。这些效应可甚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于响应于测试样本的温度调制而测量特性的方法，所述方法包括：提供所述测试样本，所述测试样本由导电或半导电材料制成；提供至少两个端子及在所述端子与所述导电或半导电材料之间的至少两个或四个导电互连件，所述两个或四个导电互连件接触所述导电或半导电材料处的两个或四个位置；提供用于产生电流的电源及电路且使用所述端子将所述电流注入到所述导电或半导电材料中；使用所述端子测量跨所述导电或半导电材料的一部分的电压；及依据所述经测量电压的三次谐波频率分量的值而确定所述特性。2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括依据所述经测量电压而确定所述特性。3.根据权利要求1所述的方法，其中所述特性是导体的电阻温度系数、导热率、导热性、电荷载流子浓度、电及热几何结构、线边缘粗糙度、侧壁角、室温/参考温度下的电阻、珀耳帖系数、塞贝克系数或电横截面。4.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括定义用于接受或拒收所述测试样本的阈值。5.一种用于筛选测试样本的方法，所述方法包括：提供所述测试样本，所述测试样本由导电或半导电材料制成；提供至少两个端子及在所述端子与所述导电或半导电材料之间的至少两个或四个导电互连件；所述两个或四个导电互连件接触所述导电或半导电材料处的两个或四个位置；提供用于产生电流的电源及电路且使用所述端子将所述电流注入到所述导电或半导电材料中；使用所述端子测量跨所述导电或半导电材料的一部分的电压；确定所述经测量电压的三次谐波频率分量；依据所述三次谐波频率分量而确定用于接受或拒收所述测试样本的阈值；当所述三次谐波频率分量的量值低于所述阈值时接受所述测试样本；及当所述三次谐波频率分量的所述量值高于所述阈值时拒收所述测试样本。6.根据权利要求5所述的方法，其进一步包括提供在一组样本上测量的电压的一组三次谐波频率分量。7.根据权利要求6所述的方法，其中所述阈值依据所述组三次谐波频率分量而变化。8.根据权利要求6所述的方法，其中所述阈值与所述组三次谐波频率分量的具有最大量值的所述三次谐波频率分量相差不超过10％。9.根据权利要求5所述的方法，其进一步包括依据所述电流、所述经测量电压及所述经测量电压的所述三次谐波频率分量的...

【专利技术属性】
技术研发人员：D，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：