电子设备及其制造方法技术

根据一实施方式，电子设备具备：基材；第一绝缘层，配置在所述基材之上；下部电极，配置在所述第一绝缘层之上；第二绝缘层，配置在所述第一绝缘层之上，具有与所述下部电极重叠的开口部；有机层，在所述开口部覆盖所述下部电极；上部电极，覆盖所述有机层；以及隔壁，配置在所述第二绝缘层之上，所述隔壁具备：第一层，由金属材料形成，具有与所述上部电极相接的第一侧面；第二层，配置在所述第一层之上，从所述第一侧面朝向所述开口部伸出；以及保护层，由与所述有机层不同的材料形成，覆盖所述第二层的至少上表面。少上表面。少上表面。

【技术实现步骤摘要】
电子设备及其制造方法
[0001]相关申请的相互参考
[0002]本申请主张基于2021年6月2日申请的日本专利申请第2021－092928号的优先权，引用该日本申请中记载的全部记载内容。


[0003]本专利技术的实施方式涉及电子设备及其制造方法。

技术介绍

[0004]近年来，应用有机发光二极管(OLED)作为显示元件的显示装置已实用化。这样的显示元件在第一电极与第二电极之间具备有机层。在一个例子中，有机层通过真空蒸镀法形成，第二电极通过溅射法形成。
[0005]例如，在掩模蒸镀的情况下，应用具有与各像素对应的开口的精细掩模。但是，由于精细掩模的加工精度\开口形状的变形等，通过蒸镀形成的薄膜的形成精度有可能降低。
[0006]因此，已知使用像素分割构造体来分割有机层及第二电极的技术。

技术实现思路

[0007]实施方式的目的在于，提供一种抑制可靠性降低的电子设备及其制造方法。
[0008]根据一实施方式，一种电子设备具备：
[0009]基材；配置在所述基材之上的第一绝缘层；配置在所述第一绝缘层之上的下部电极；第二绝缘层，配置在所述第一绝缘层之上，并具有与所述下部电极重叠的开口部；有机层，在所述开口部覆盖所述下部电极；上部电极，覆盖所述有机层；以及隔壁，配置在所述第二绝缘层之上，所述隔壁具备：第一层，由金属材料形成，具有与所述上部电极相接的第一侧面；第二层，配置在所述第一层之上，从所述第一侧面朝向所述开口部伸出；以及保护层，由与所述有机层不同的材料形成，覆盖所述第二层的至少上表面。
[0010]根据一实施方式，一种电子设备的制造方法，
[0011]在第一绝缘层之上形成下部电极；形成覆盖所述第一绝缘层及所述下部电极的第二绝缘层；在所述第二绝缘层之上形成隔壁；在所述第二绝缘层形成使所述下部电极露出的开口部，所述隔壁具备：第一层，由金属材料形成，具有第一侧面；第二层，配置在所述第一层之上，从所述第一侧面朝向所述开口部伸出；以及保护层，覆盖所述第二层的至少上表面保护层，所述开口部通过将所述隔壁作为掩模来对所述第二绝缘层进行干蚀刻而形成。
[0012]根据实施方式，能够提供抑制可靠性降低的电子设备及其制造方法。
附图说明
[0013]图1是表示实施方式的电子设备100的一个结构例的图。
[0014]图2是表示图1所示的像素PX的一例的俯视图。
[0015]图3是表示显示元件20的结构的一例的图。
[0016]图4是沿着图2所示的A－B线的电子设备100的剖视图。
[0017]图5是用于说明电子设备100的制造方法的图。
[0018]图6是用于说明电子设备100的制造方法的图。
[0019]图7是将隔壁30的其他结构例放大表示的剖视图。
[0020]图8是将隔壁30的其他结构例放大表示的剖视图。
具体实施方式
[0021]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0022]另外，公开只不过是一个例子，对于本领域技术人员来说，关于针对保持专利技术主旨的适当变更而能够容易地想到的内容，当然包含在本专利技术的范围内。另外，为了使说明更明确，与实际的方式相比，附图有时示意性地表示各部分的宽度、厚度、形状等，但只不过是一例，并不限定本专利技术的解释。另外，在本说明书和各图中，对发挥与已出现的图有关的上述的结构要素相同或类似的功能的结构要素标注相同的参照附图标记，有时适当省略重复的详细说明。
[0023]另外，在附图中，根据需要，为了容易理解，而记载相互正交的X轴、Y轴及Z轴。将沿着X轴的方向称为X方向或第一方向，将沿着Y轴的方向称为Y方向或第二方向，将沿着Z轴的方向称为Z方向或第三方向。由X轴及Y轴规定的平面被称为X－Y平面。将观察X－Y平面称为俯视。
[0024]本实施方式的电子设备100在一个例子中是具备显示元件的显示装置。显示元件例如是具备有机发光层的有机发光二极管(OLED)。另外，显示元件可以用作照明装置的发光元件，电子设备100也可以是具备发光元件的照明装置。
[0025]另外，本实施方式的电子设备100也可以是具备传感器元件的传感器装置。传感器元件例如是具备有机光电转换层的有机光电二极管(OPD)。
[0026]图1是表示本实施方式的电子设备100的一个结构例的图。电子设备100在绝缘性的基材10之上具备显示图像的显示部DA。基材10是绝缘基板，可以是玻璃基板，也可以是具有挠性的树脂膜。
[0027]显示部DA具备在第一方向X及第二方向Y上排列成矩阵状的多个像素PX。像素PX具备多个副像素SP1、SP2、SP3。在一个例子中，像素PX具备红色副像素SP1、绿色副像素SP2及蓝色副像素SP3。另外，像素PX除了上述3色的副像素之外，还可以具备加上白色等其他颜色的副像素的4个以上的副像素。另外，像素PX中包括的副像素的颜色组合可以不同于红色、绿色及蓝色的组合。
[0028]对于像素PX中包括的一个副像素SP的一个结构例简单进行说明。
[0029]即，副像素SP具备像素电路1和由像素电路1来驱动控制的显示元件20。像素电路1具备像素开关2、驱动晶体管3及电容器4。像素开关2及驱动晶体管3例如是由薄膜晶体管构成的开关元件。
[0030]关于像素开关2，栅极电极连接到扫描线GL，源极电极连接到信号线SL，漏极电极连接到构成电容器4的一个电极及驱动晶体管3的栅极电极。关于驱动晶体管3，源极电极与构成电容器4的另一电极及电源线PL连接，漏极电极与显示元件20的阳极连接。显示元件20的阴极在显示部DA内或显示部DA的外侧与供电线FL连接。另外，像素电路1的结构不限于图
示的例子。
[0031]显示元件20是作为发光元件的有机发光二极管(OLED)。例如，副像素SP1具备射出与红色波长对应的光的显示元件，副像素SP2具备射出与绿色波长对应的光的显示元件，副像素SP3具备射出与蓝色波长对应的光的显示元件。通过像素PX具备显示颜色不同的多个副像素SP1、SP2、SP3，从而能够实现多色显示。
[0032]但是，副像素SP1、SP2、SP3各自的显示元件20可以构成为射出相同颜色的光。由此，能够实现单色显示。
[0033]另外，在构成为副像素SP1、SP2、SP3各自的显示元件20射出白色光的情况下，也可以配置与显示元件20对置的滤色器。例如，副像素SP1具备与显示元件20对置的红色滤色器，副像素SP2具有与显示元件20对置的绿色滤色器，副像素SP3具有与显示元件20对置的蓝色滤色器。由此，能够实现多色显示。
[0034]或者，在构成为副像素SP1、SP2、SP3各自的显示元件20射出紫外光的情况下，通过配置与显示元件20对置的光转换层，从而能够实现多色显示。
[0035]图2是表示图1所示的像素PX的一例的俯视图。
[0036]构成1个像素PX的副像素SP1、SP2、SP3分别形成为沿第二方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子设备，具备：基材；第一绝缘层，配置在所述基材之上；下部电极，配置在所述第一绝缘层之上；第二绝缘层，配置在所述第一绝缘层之上，具有与所述下部电极重叠的开口部；有机层，在所述开口部覆盖所述下部电极；上部电极，覆盖所述有机层；以及隔壁，配置在所述第二绝缘层之上，所述隔壁具备：第一层，由金属材料形成，具有与所述上部电极相接的第一侧面；第二层，配置在所述第一层之上，从所述第一侧面朝向所述开口部伸出；以及保护层，由与所述有机层不同的材料形成，覆盖所述第二层的至少上表面。2.根据权利要求1所述的电子设备，其中，所述第二层是由与所述第二绝缘层相同的材料形成的无机绝缘层。3.根据权利要求1所述的电子设备，其中，所述保护层是由金属材料形成的金属层。4.根据权利要求1所述的电子设备，其中，所述保护层覆盖所述第二层的第二侧面。5.根据权利要求1所述的电子设备，其中，所述隔壁还具备位于所述第一层与所述第二层之间的中间层，所述中间层从所述第一侧面朝...

【专利技术属性】
技术研发人员：西村真澄，青木逸，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：