信息处理装置、移载位置校正方法及基板处理装置制造方法及图纸

提供一种信息处理装置、移载位置校正方法及基板处理装置。该信息处理装置包括：搬送装置控制单元，根据教导数据对搬送装置的第一移动动作和第二移动动作进行控制，第一移动动作用于将被处理基板载置于能够对被处理基板进行载置的容器中，第二移动动作用于从容器中取得被处理基板；图像数据取得单元，从以能够对容器的被处理基板的载置位置进行拍摄的方式设置的拍摄装置，取得对第一移动动作和第二移动动作进行拍摄而得到的图像数据；图像处理单元，基于图像数据对容器和被处理基板的位置关系进行数值化；以及位置校正单元，对数值化的容器和被处理基板的位置关系进行判定，并基于判定结果输出搬送装置的第一移动动作和第二移动动作的校正数据。移动动作的校正数据。移动动作的校正数据。

【技术实现步骤摘要】
信息处理装置、移载位置校正方法及基板处理装置


[0001]本公开涉及一种信息处理装置、移载位置校正方法及基板处理装置。

技术介绍

[0002]已知一种立式热处理装置，其具有纵长的热处理炉，以将多片晶圆载置于晶舟上的状态将多片晶圆收容于热处理炉中，并进行对晶圆进行加热的热处理。在该立式热处理装置中，通过具有多片叉的晶圆搬送装置，将收纳在载体中的多片晶圆同时搬送至晶舟(例如参见专利文献1)。
[0003]<现有技术文献>
[0004]<专利文献>
[0005]专利文献1：日本特开2019
‑
046843号公报

技术实现思路

[0006]<本专利技术要解决的问题>
[0007]本公开提供一种技术，其能够对搬送装置针对被处理基板的搬送进行自主控制。
[0008]<用于解决问题的手段>
[0009]根据本公开的一个实施方式，提供一种信息处理装置，用于对基板处理装置的搬送装置针对被处理基板的搬送进行控制，所述信息处理装置包括：搬送装置控制单元，根据教导数据对所述搬送装置的第一移动动作和第二移动动作进行控制，所述第一移动动作用于将所述被处理基板载置于能够对所述被处理基板进行载置的容器中，所述第二移动动作用于从所述容器中取得所述被处理基板；图像数据取得单元，从以能够对所述容器的所述被处理基板的载置位置进行拍摄的方式设置的拍摄装置，取得对所述第一移动动作和所述第二移动动作进行拍摄而得到的图像数据；图像处理单元，基于所述图像数据，对所述容器和所述被处理基板的位置关系进行数值化；以及位置校正单元，对数值化的所述容器和所述被处理基板的位置关系进行判定，并基于判定结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据。
[0010]<专利技术的效果>
[0011]根据本公开，能够对搬送装置针对被处理基板的搬送进行自主控制。
附图说明
[0012]图1是示意性地示出根据本实施方式的基板处理系统的一个示例的纵剖视图。
[0013]图2是示意性地示出装载区的一个示例的立体图。
[0014]图3是计算机的一个示例的硬件构成图。
[0015]图4是示出控制装置的功能构成的一个示例的图。
[0016]图5是示出根据本实施方式的对移载机构的移动动作进行控制的处理的一个示例的流程图。
[0017]图6是示出对晶圆W进行取得或载置的情况下的叉的移动动作中的位置变化的一个示例的说明图。
[0018]图7是插入有叉的舟皿的一个示例的示意图。
[0019]图8是根据本实施方式的舟皿侧自动教导处理的一个示例的流程图。
[0020]图9是向位置P5插入叉的舟皿的一个示例的示意图。
[0021]图10是根据本实施方式的舟皿侧自动教导处理的一个示例的流程图。
[0022]图11是向位置TCH、P3插入叉的舟皿的一个示例的示意图。
具体实施方式
[0023]以下，参照附图对本公开的非限定性的示例性的实施方式进行说明。需要说明的是，在附图中，针对相同或对应的部件或零件赋予相同或对应的附图标记，并且适当地省略重复的说明。另外，在本实施方式中，虽然以作为基板处理装置的一个示例的热处理装置为例进行说明，但是不限于热处理装置。
[0024][第1实施方式][0025]图1是示意性地示出根据本实施方式的基板处理系统的一个示例的纵剖视图。图2是示意性地示出装载区的一个示例的立体图。如图1所示，基板处理系统具有热处理装置10、以及控制装置100。需要说明的是，控制装置100可以作为热处理装置10的构成的一部分设置在热处理装置10的框体内，也可以与热处理装置10的构成分开地设置在热处理装置10的框体外。例如，控制装置100可以通过利用以能够经由网络进行数据通信的方式连接的服务器装置、或能够经由网络进行利用的云服务等来实现。
[0026]热处理装置10具备后述的立式的热处理炉60，在舟皿(Boat)中沿纵向以预定间隔保持并收容多片晶圆W，并且能够对晶圆W进行氧化、扩散、减压CVD等各种热处理。以下，对应用于热处理装置10的示例进行说明，该热处理装置10通过向设置在后述的处理容器65内的晶圆W供给处理气体而对晶圆W的表面进行氧化处理。晶圆W是被处理基板的一个示例。被处理基板不限于圆形的晶圆W。
[0027]图1的热处理装置10具有载置台(装载口)20、壳体30、以及控制装置100。载置台(装载口)20设置在壳体30的前部。壳体30具有装载区(作业区域)40和热处理炉60。
[0028]装载区40设置在壳体30内部的下方。热处理炉60设置在壳体30内，并且设置在装载区40的上方。另外，在装载区40与热处理炉60之间设置有底板31。
[0029]载置台(装载口)20用于将晶圆W搬入壳体30内或将晶圆W从壳体30内搬出。在载置台(装载口)20上放置有收纳容器21和22。收纳容器21和22是在前面具备能够拆装的盖，并且能够以预定的间隔收纳多片(例如25片左右)晶圆W的密闭型收纳容器(前端开启式晶圆传送盒：FOUP(Front Opening Unified Pod))。
[0030]另外，在载置台20的下方，可以设置用于将设置在由后述的移载机构47移载的晶圆W的外周的切缺部(例如切口)向一个方向对齐的对准装置(aligner)23。
[0031]装载区(作业区域)40用于在收纳容器21和22与后述的舟皿44之间进行晶圆W的移载，将舟皿44搬入(装载)到处理容器65内，并将舟皿44从处理容器65搬出(卸载)。在装载区40中，设置有门机构41、闸门机构42、盖体43、舟皿44、基座45a、基座45b、升降机构46、以及移载机构47。
[0032]门机构41用于将收纳容器21和22的盖拆除，并使收纳容器21、22与装载区40连通开放。闸门机构42设置在装载区40的上方。闸门机构42被设置成在打开盖体43时为了抑制或防止高温的炉内的热量从后述的炉口68a排放到装载区40而覆盖(或封堵)炉口68a。
[0033]盖体43具有保温筒48和旋转机构49。保温筒48设置在盖体43上。保温筒48用于防止舟皿44因与盖体43侧之间的热传递而冷却，并保持舟皿44的温度。旋转机构49安装在盖体43的下部。旋转机构49用于使舟皿44旋转。旋转机构49的旋转轴被设置成气密地贯穿盖体43，并使布置在盖体43上的未图示的旋转台旋转。
[0034]升降机构46在从舟皿44的装载区40对处理容器65进行搬入和搬出时，对盖体43进行升降驱动。并且，在将由升降机构46升起的盖体43搬入处理容器65内时，盖体43设置成与后述的炉口68a抵接以密封炉口68a。载置在盖体43上的舟皿44以能够在水平面内进行旋转的方式将晶圆W保持在处理容器65内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种信息处理装置，用于对基板处理装置的搬送装置针对被处理基板的搬送进行控制，所述信息处理装置包括：搬送装置控制单元，根据教导数据对所述搬送装置的第一移动动作和第二移动动作进行控制，所述第一移动动作用于将所述被处理基板载置于能够对所述被处理基板进行载置的容器中，所述第二移动动作用于从所述容器中取得所述被处理基板；图像数据取得单元，从以能够对所述容器的所述被处理基板的载置位置进行拍摄的方式设置的拍摄装置，取得对所述第一移动动作和所述第二移动动作进行拍摄而得到的图像数据；图像处理单元，基于所述图像数据，对所述容器和所述被处理基板的位置关系进行数值化；以及位置校正单元，对数值化的所述容器和所述被处理基板的位置关系进行判定，并基于判定结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据。2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，所述位置校正单元将数值化的所述容器和所述被处理基板的位置关系与所述位置关系的设计基准值进行比较，如果判定结果不在异常范围内，则基于判定结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据，并且如果判定结果在异常范围内，则向用于对所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作进行教导的移载教导单元请求所述第一移动动作和所述第二移动动作的教导。3.根据权利要求1或2所述的信息处理装置，还包括：移载教导单元，基于由所述图像处理单元数值化的所述容器的所述载置位置、所述搬送装置以及所述被处理基板的位置关系，对所述搬送装置的用于将所述被处理基板载置于所述容器的所述载置位置的所述第一移动动作和所述第二移动动作进行教导。4.根据权利要求1至3中任一项所述的信息处理装置，其中，所述图像数据取得单元取得能够通过图像处理对所述被处理基板与在用于搭载所述被处理基板的所述容器中对所述被处理基板进行支撑的至少三处支撑部之间的位置关系进行数值化的图像数据，所述图像处理单元针对所述至少三处支撑部中的每个支撑部，对所述被处理基板与用于搭载所述被处理基板的所述容器的所述至少三处支撑部之间的位置关系进行数值化，所述位置校正单元针对所述至少三处支撑部中的每个支撑部，对所述被处理基板与用于搭载所述被处理基板的所述容器的所述至少三处支撑部之间的位置关系进行判定，并基于判定结果输出所述搬送装置的所述第一移动动作和所述第二移动动作的校正数据。5.根据权利要求1至4中任一项所述的信息处理装置，其中，所述图像处理单元基于在所述搬送装置的第二移动动作之中的所述搬送装置移动至取得所述被处理基板之前的第一位置时拍摄的第一图像数据、以及在所述搬送装置的第一移动动作之中的所述搬送装置移动至对所述被处理基板进行载置之前的第二位置时拍...

【专利技术属性】
技术研发人员：榎本忠，明石直，康荣太，潮永圭史，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：