超声波干式清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种超声波干式清洗装置，其特征在于，包括：具有形成为空气移动的狭缝形态的吐出流道，以用于向对象体喷射空气的鼓风机；设于所述鼓风机的周边的腔室；以及连接于所述腔室吸入所述腔室的内部空间的空气的吸入部，其中，所述吐出流道具有是所述吐出流道的剖面扩张以用于引起流速差的区间的谐振部；是所述吐出流道的剖面减小使得经过了所述谐振部的空气的流速上升的区间的瓶颈部；以及作为所述吐出流道的剖面保持一定的部分使得经过了所述瓶颈部的空气向外部吐出的吐出部，从而通过吐出流道提高吐出的空气的流速，能够最大化对象体的颗粒去除效率。大化对象体的颗粒去除效率。大化对象体的颗粒去除效率。

【技术实现步骤摘要】
超声波干式清洗装置


[0001]本专利技术涉及超声波干式清洗装置，更具体来讲涉及具有能够提高吐出的空气的流速的吐出流道的超声波干式清洗装置。

技术介绍

[0002]PDP、LCD、AMOLED等显示器用玻璃基板或薄膜(Film)或半导体晶片等需要通过清洗保持表面无异物的表面状态。
[0003]如果在表面有异物的状态下进行加工，那么最终产品出现缺陷而成为不良品，因此生产收率下降。
[0004]另外，清洗方法大致有湿式清洗(Wet Cleaning)和干式清洗(Dry Cleanin g)。湿洗清洗是指依次经过有机清洗、纯水清洗、无机清洗及干燥步骤，通过非接触方法对作为粘着性异物的油垢、胶带印、手油脂等通过有机粘合剂连接的无机物断开有机粘合剂以进行无机物化的清洗方法。干式清洗是指经过有机清洗及无机清洗完成清洗，通过非接触方法将作为非粘着性异物的灰尘之类的无机物浮游起来进行清洗的方法。这种无机物清洗方法之一采用干式清洗装置。
[0005]干式清洗装置通常由向对象体传递超声波使得对象体表面的颗粒(particl e)离开对象体表面后喷射空气而具有振动的超声波的压缩空气(Pressure air)机构及真空吸入(Vacuum suction)机构构成以去除附着于基板的异物。防震台在基板上部中和由于静电而(+)或(
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)带电的异物使得失去粘着力，具有振动的超声波的压缩空气(Pressure air)机构打破基板表面临界层使得位于其内部的中和状态的异物浮游，真空吸入(Vacuum suction)机构吸入浮游的异物。
[0006]另外，如上所述，干式清洗装置能够将超声波传递到对象体以从对象体表面有效地隔开颗粒，本申请人在授权专利第10
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2207537号(2021年01月20日)介绍过即使没有另外的超声波振动装置也能够通过空气的流动使得超声波振动的流道结构。
[0007]另外，为了进一步提高颗粒去除效率，需要提高从压缩空气机构吐出的流速。如上，为了提高吐出的流速，可采用提高鼓风机(Blower)容量的方法，但实际上由于受到空间上的限制、用电量上升引起的费用增加等而具有局限性。
[0008]为此，目前需要研究通过空气流动使超声波振动的同时还能够提高吐出的空气的流速的流道结构。
[0009]【现有技术文献】
[0010]【专利文献】
[0011]授权专利第10
‑
2207537号(2021年01月20日)

技术实现思路

[0012]技术问题
[0013]本专利技术旨在解决上述问题，目的在于提供一种具有能够通过空气流动使超声波振
动的同时能够提高吐出的空气的流速的吐出流道的超声波干式清洗装置。
[0014]技术方案
[0015]本专利技术的超声波干式清洗装置包括：具有形成为空气移动的狭缝形态的吐出流道，以用于向对象体喷射空气的鼓风机；设于所述鼓风机的周边的腔室；以及连接于所述腔室吸入所述腔室的内部空间的空气的吸入部，其中，所述吐出流道可具有是所述吐出流道的剖面扩张以用于引起流速差的区间的谐振部；是所述吐出流道的剖面减小使得经过了所述谐振部的空气的流速上升的区间的瓶颈部；以及作为所述吐出流道的剖面保持一定的部分使得经过了所述瓶颈部的空气向外部吐出的吐出部。
[0016]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述吐出流道还可以具有作为所述吐出流道的剖面减小的部分使得空气经过所述谐振部之前压力上升的压力转换部。
[0017]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述压力转换部的流入侧的宽度可以比流出侧的宽度大10至20倍。
[0018]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述压力转换部的宽度可以随着从流入侧趋向流出侧按照预定比例减小。
[0019]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述压力转换部的外壁可以在与中心线构成5至10度的角度的同时宽度减小。
[0020]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述吐出流道还可以具有位于所述压力转换部与所述谐振部之间且宽度保持一定的第一流速保持区间。
[0021]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述吐出流道还可以具有位于所述谐振部与所述瓶颈部之间且宽度保持一定的第二流速保持区间。
[0022]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述第二流速保持区间、所述瓶颈部及所述吐出部的长度之和可大于等于所述第一流速保持区间，但不超过所述第一流速保持区间的两倍。
[0023]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述瓶颈部的流入侧的宽度可以比流出侧的宽度大5至15％。
[0024]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述瓶颈部的长度与所述吐出部的长度可以相同。
[0025]在本专利技术的超声波干式清洗装置中，所述谐振部构成为沿着空气移动的方向切成所述吐出流道的宽度露出最窄的剖面的形状可以是以所述吐出流道的中心线为基准左右对称且顶点位于流入侧、底边位于流出侧的等边三角形形状。
[0026]技术效果
[0027]本专利技术的超声波干式清洗装置提高通过吐出流道吐出的空气的流速，从而能够最大化对象体的颗粒去除效率。
[0028]进一步地，本专利技术的超声波干式清洗装置通过压力转换部增大进入谐振部的空气的流速，从而仅凭一个谐振部也能够发生超声波。
附图说明
[0029]图1为本专利技术的一个实施例的超声波干式清洗装置的立体图；
[0030]图2为沿图1的A
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A'切开的立体图；
[0031]图3为沿图1的A
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A'的简要剖面图；
[0032]图4为图3的B的放大图。
[0033]附图标记说明
[0034]100：超声波干式清洗装置
[0035]110：鼓风机
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111：吐出流道
[0036]111a：压力转换部
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111b：第一流速保持区间
[0037]111c：谐振部
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111d：第二流速保持区间
[0038]111e：瓶颈部
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111f：吐出部
[0039]120：腔室
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130：吸入部
具体实施方式
[0040]以下参照附图详细地说明本专利技术的具体实施例。但是本专利技术的思想不限于公开的实施例，理解本专利技术的思想的本领域技术人员可在相同思想的范围内通过增加、变更、删除其他构成要素等，轻易地得到更小范围的其他专利技术或包含于本专利技术思想的范围内的其他实施例，但这些也属于本专利技术思想范围。
[0041]并且，对于实施例的附图中示出的相同思想范围内的功能相同的构成要素，用相同的附图标记进行说明。
[0042]图1为本专利技术的一个实施例的超声波干式清洗装置100的简要立体图，图2为图1的A
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A'的简要切本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波干式清洗装置，其特征在于，包括：鼓风机，具有形成为空气移动的狭缝形态的吐出流道，以用于向对象体喷射空气；腔室，设于所述鼓风机的周边；以及吸入部，连接于所述腔室吸入所述腔室的内部空间的空气，其中，所述吐出流道具有：谐振部，是所述吐出流道的剖面扩张以用于引起流速差的区间；瓶颈部，是所述吐出流道的剖面减小使得经过了所述谐振部的空气的流速上升的区间；以及吐出部，作为所述吐出流道的剖面保持一定的部分使得经过了所述瓶颈部的空气向外部吐出。2.根据权利要求1所述的超声波干式清洗装置，其特征在于，所述吐出流道还具有：压力转换部，作为所述吐出流道的剖面减小的部分使得空气经过所述谐振部之前压力上升。3.根据权利要求2所述的超声波干式清洗装置，其特征在于，所述压力转换部的流入侧的宽度比流出侧的宽度大10至20倍。4.根据权利要求2所述的超声波干式清洗装置，其特征在于，所述压力转换部的宽度随着从流入侧趋向流出侧按照预定比例减小。5.根据权利要求4所述的超声波干式清洗装置，其特征在于，所述压力转换部的外壁在与中心线构成5至1...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔淙现，吴昇哲，朴贤镐，金澯州，
申请(专利权)人：AI韩国株式会社，
类型：发明
国别省市：