气瓶综合处理系统及其处理方法技术方案

本发明专利技术涉及气瓶综合处理系统及其处理方法领域，具体公开了气瓶综合处理系统及其处理方法，包括与气瓶可拆卸连接的进气汇流单元、对气瓶进行加热或翻转的加热单元以及冷却回收单元，进气汇流单元包括进气管以及安装在进气管上的第一开关阀以及安装在进气管上的第一气压表，冷却回收单元包括回收管、包裹回收瓶外壁的保温套以及依次安装在回收管上的第二开关阀、第二气压表和第三开关阀，回收瓶与回收管靠近第三开关阀的一端可拆卸连接，回收管的另一端与进气管连通；回收管靠近回收瓶的一端上设有冷却器，冷却器位于第二开关阀和第二气压表之间；加热单元设置在进气汇流单元处。本方案能够提高回收效率低同时，能够提升对气体的回收率，降低对气体的回收成本。降低对气体的回收成本。降低对气体的回收成本。

【技术实现步骤摘要】
气瓶综合处理系统及其处理方法


[0001]本专利技术涉及气体混合
，尤其涉及气瓶综合处理系统及其处理方法。

技术介绍

[0002]随着经济的发展和市场对高纯气和标准气日益增长的需求，保证高纯气体产品质量尤为重要，然而气瓶的处理程度又是决定瓶装气质量的直接因素。对于生产电子特种气体的企业，每日都要对大量回收气瓶内的余气进行回收，一方面能够降低余气自然排出后对环境的影响，另一方面能够降低对气体的生产成本。
[0003]由于气瓶内的剩余气体进行回收时，一般采用进气管和回收管连通气瓶和回收瓶的瓶阀处，利用气体的自然扩散自然进入到回收瓶中，会直接导致气瓶中的余气回收效率较低，同时，同时气瓶内残余的气体也容易堆积在气瓶的底部，难以从气瓶内转移至进气管和回收管中，回收效率低，且存在回收不完全的情况，比如，价值较高的还原性气体(如SiH4、NH3、CO、PH3等)、氧化性气体(如F2、Cl2、ClF3等)，若回收不完全会导致回收成本升高；同时，大部分需要回收的气体均存在自然排放至空气中时，会对空气造成污染的问题，如何对回收系统中存在的残余气体进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.气瓶综合处理系统，其特征在于，包括与气瓶可拆卸连接的进气汇流单元、对气瓶进行加热或翻转的加热单元以及冷却回收单元，所述进气汇流单元包括进气管以及安装在进气管上的第一开关阀以及安装在进气管上的第一气压表，所述冷却回收单元包括回收管、包裹回收瓶外壁的保温套以及依次安装在回收管上的第二开关阀、第二气压表和第三开关阀，回收瓶与回收管靠近第三开关阀的一端可拆卸连接，回收管的另一端与进气管连通；所述回收管靠近回收瓶的一端上设有冷却器，冷却器位于第二开关阀和第二气压表之间；所述加热单元设置在进气汇流单元处。2.如权利要求1所述的气瓶综合处理系统，其特征在于，所述加热单元包括翻转部以及包裹气瓶的加热部，所述翻转部包括与气瓶侧壁相抵的第一夹爪、与第一夹爪配合的第二夹爪以及带动第一夹爪和第二夹爪翻转的转轴，第一夹爪固定安装在转轴上，第二夹爪与转轴之间设置有控制第二夹爪沿转轴的轴向水平移动的气缸，第二夹爪与气瓶的侧壁相抵。3.如权利要求2所述的气瓶综合处理系统，其特征在于，所述冷却回收单元还包括称量回收瓶重量的称量器，回收瓶位于称量器上。4.如权利要求3所述的气瓶综合处理系统，其特征在于，还包括真空单元，所述真空单元包括气压调节管、真空计以及依次安装在气压调节管上的真空泵、真空连接阀和第四开关阀，气压调节管的一端与外界大气通，气压调节管的另一端与进气管连通，真空泵与真空连接阀电联接，气压调节管的第四开关阀处安装有第一电磁阀，第一电磁阀与第四开关阀并联。5.如权利要求4所述的气瓶综合处理系统，其特征在于，还包括置换单元，所述置换单元包括吹扫总管、若干吹扫支管、安装在进气管上带数值显示的压力变送器以及安装在进气管上对真空计进行保护的气压保护器，吹扫总管上设有第五开关阀，吹扫支管上依次安装有管网气、第一单向阀、第三气压表和第六开关阀，吹扫总管的一端与进气管连通，吹扫总管的另一端与若干吹扫支管靠近第六开关阀的一端均连通；所述吹扫总管的第五开关阀处安装有第二电磁阀，第二电磁阀与第五开关阀并联。6.如权利要求5所述的气瓶综合处理系统，其特征在于，还包括洗涤单元，所述洗涤单元包括排放管以及依次安装在排放管上的废气处理部、第二单向阀和第七开关阀，排放管的一端与废气处理部处连通，排放管的另一端与进气管连通，所述排放管的第七开关阀处安装有第三电磁阀，第三电磁阀与第七开关阀并联；所述吹扫支管与排放管之间设有连接管，连接管上设有第八开关阀，连接管与排放管的连接处位于废气处理部和第二单向阀之间，连接管与吹扫支管的连接处位于第一单向阀和第六开关阀之间。7.如权利要求6所述的气瓶综合处理系统，其特征在于，还包括气体分析单元，所述气体分析单元包括气体分析仪、连通气体分析仪与进气管的分析管以及连通气体分析仪与排放管的排气管，进气管靠近的一端上设有气体分析仪，排气管上依次设有第三单向阀和第九开关阀，第九开关阀位于排气管靠近的排放管的一端上，排气管与排放管的连接处位于废气处理部和第二单向阀之间。8.如权利要求7所述的气瓶综合处理系统，其特征在于，所述气体分析仪包括氧气分析仪和水分分析仪，氧气分析仪和水分分析仪并联安装在分析管和排气管之间。9.如权利要求8所述的气瓶综合处理系统，其特征在于，所述废气处理部连通有洗涤
塔，洗涤塔内喷淋设置有对残余气体进行吸收的吸收液。10.如权利要求9所述气瓶综合处理系统的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：检查步骤：检查待处理气瓶外表是否完好，对有破损的气瓶进行维修或更换；气瓶连接步骤：将待处理气瓶与进气管的端部连接，将管网气与吹扫管的端部连接，洗涤瓶与排放管的端部连接，回收瓶与回收管的端部连接；检漏步骤：待处理气瓶和回收瓶上的瓶阀关闭，第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、第四开关阀、第五开关阀、第六开关阀、第七开关阀、第八开关阀、第九开关阀、真空连接阀、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀均处于开放状态，让进气管、吹扫支管、吹扫总管、回收管均连通；氮气管网气的瓶阀打开向进气管、吹扫支管、吹扫总管和回收管内加入13
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【专利技术属性】
技术研发人员：雷海平，张建长，
申请(专利权)人：欧中电子材料重庆有限公司，
类型：发明
国别省市：