一种趋近式调节ICP-MS功率的方法技术

本发明专利技术公开了一种趋近式调节ICP

【技术实现步骤摘要】
一种趋近式调节ICP
‑
MS功率的方法


[0001]本专利技术涉及ICP
‑
MS设备的工作方法，尤其是涉及一种趋近式调节ICP
‑
MS功率的方法。

技术介绍

[0002]ICP
‑
MS是以电感耦合等离子体作为离子源，以质谱进行检测的无机多元素分析技术。在使用过程中被分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入氩气流中，然后进入由射频能量激发的处于大气压下的氩等离子体中心区，等离子的高温使样品去溶剂化、汽化解离和电离；部分等离子体经过不同的压力区进入真空系统，在真空系统内，正离子被拉出并按其质荷比分离。
[0003]正常工作中，等离子是由外部气体带入设备，使得等离子容易收到外部因素影响，从而会出现波动，具有不稳定性，导致等离子产生的电流改变，使得功率的控制也不稳定。

技术实现思路

[0004]本专利技术是为了克服ICP
‑
MS功率控制不稳定的不足之处，提供了一种趋近式调节ICP
‑
MS功率的方法。
>[0005]为了实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种趋近式调节ICP
‑
MS功率的方法，其特征在于，在ICP
‑
MS的射频控制部分设有调节系统，所述调节系统包括：控制器；电源模块，用于将控制电压放大，为射频模块提供电压；射频模块，将电压加在等离子体上；DAC模块，用以调节输出电压；ADC采集模块，反馈实际功率P
c
；控制器通过ADC采集模块的反馈反复调解DAC模块控制电压，使得实际功率P
c
趋近目标功率P
t
，所述反复调解DAC模块控制电压的方法包括：(1)调节前，采集DAC模块控制电压和输出功率对应表，存储；(2)粗调，目标功率P
t
确定后，通过查表法设置接近的DAC模块控制电压，缩小功率偏差P
d
，P
d
＝P
t
‑
P
c
；(3)微调，进一步比例调节DAC模块控制电压，使得|P
d
/P
t
|<0.01％，判断为稳定；(4)ADC采集模块持续监测，若出现波动，自动按上述方法动态调节至稳定。2.根据权利要求1所述的一种趋近式调节ICP
‑
MS功率的方法，其特征在于，DAC模块中，DAC模块控制电压，经过转换为DO值，反复调解DAC模块控制电压的方法，以功率偏差P
d
的绝对值为调节条件，以DO值为调节参数，方法如下：若|P
d
|大于400W，通过查表法，找出最接近目标功率P
t
的DO值；若|P
d
|大于60W且小于等于400W，比例调节DO值，调节公式为DO＝DO'+(P
d
*10)/2；若|P
d
|小于等于60W，比例调节DO值，调节公式为DO＝DO'+(P
d
*10)/...

【专利技术属性】
技术研发人员：费鹏，梁炎，
申请(专利权)人：瑞莱谱杭州医疗科技有限公司，
类型：发明
国别省市：