本实用新型专利技术涉及光刻胶生产技术领域，且公开了一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备包括筛箱，所述的筛箱装配有L形固定架，L形固定架装配有气缸，气缸装配有活塞杆，活塞杆装配有装配板，装配板装配有安装板，安装板装配有安装管，安装管装配有插杆，安装管和插杆装配有伸缩弹簧，插杆装配有筛斗，筛斗设置有筛孔，安装板装配有操作板，操作板装配有操作电机，操作电机装配有偏心轮，上述一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备通过偏心轮和伸缩弹簧的配合解决了现有的分筛过滤设备的筛网固定，这导致LDI光刻胶通过筛孔进行分筛过滤效果差的问题。行分筛过滤效果差的问题。行分筛过滤效果差的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备
[0001]本技术涉及光刻胶生产
，具体为一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备。
技术介绍
[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体，在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料，半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像，光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类，在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶，如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶，按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶(包括紫外正、负性光刻胶)、深紫外光刻胶、X－射线胶、电子束胶、离子束胶等。光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业，光刻胶生产技术较为复杂，品种规格较多，在电子工业集成电路的制造中，对所使用光刻胶有严格的要求。
[0003]现有的LDI光刻胶生产中需要通过分筛过滤设备进行筛除杂质，但是，现有的分筛过滤设备用于LDI光刻胶生产中还存在以下问题：
[0004]现有的分筛过滤设备的筛网固定，这导致LDI光刻胶通过筛孔进行分筛过滤效果差，因此涉及到一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备用于现有的光刻胶生产
中是很有必要的。
技术实现思路
[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有的分筛过滤设备的筛网固定，这导致LDI光刻胶通过筛孔进行分筛过滤效果差的问题，本技术提供了一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备，具备提高装置的分筛效果的优点，以解决
技术介绍
提出的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现上述的目的，本技术提供如下技术方案：
[0009]一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备，包括筛箱，所述的筛箱的表面固定装配有L形固定架，L形固定架上固定装配有气缸，气缸的输出端活动贯穿L形固定架，并且气缸的输出端固定装配有活塞杆，所述的活塞杆的底部固定装配有装配板，装配板上对称固定装配有安装板，其中一个安装板上对称固定装配有安装管，安装管的一端均活动装配有插杆，插杆的一端在安装管的内部进行移动，插杆的一端固定装配有筛斗，所述的安装管和插杆上装配有伸缩弹簧，伸缩弹簧的两端分别与筛斗和安装板进行固定装配，筛斗的底面设置有筛孔，另一个安装板上固定装配有操作板，操作板上固定装配有操作电机，操作电机的输出端活动贯穿操作板，并且操作电机的输出端固定装配有偏心轮，偏心轮与筛
斗进行贴合，通过偏心轮的转动，使得筛斗来回晃动，增加分筛效果。
[0010]优选的，所述的筛箱的内壁固定装配有漏斗，漏斗位于筛斗的下方，漏斗的底部固定装配有出料管，所述的筛箱的表面设置有出料口，出料口与筛箱的内部进行连通，出料口在筛箱的内部连通口位于出料管的下方。
[0011]优选的，所述的筛斗的对称两侧面均固定装配有操作块，操作块的内部均设置有转动腔，操作块的表面均设置有牵引槽，牵引槽对应与转动腔进行连通，所述的转动腔上均活动装配有丝杆，丝杆上均螺纹装配有螺纹套筒，螺纹套筒位于转动腔中，螺纹套筒上均固定装配有牵引块，牵引块与牵引槽进行活动装配，所述的丝杆在螺纹套筒中转动，使得牵引块在牵引槽上进行移动。
[0012]优选的，所述的牵引块的顶部固定装配有连接板，连接板位于操作块的上方，连接板的底部固定装配有推板，推板与筛斗的底面进行贴合。
[0013]优选的，所述的筛斗一侧面设置有开口，推板上对称固定装配有连接杆，连接杆的一端固定装配有挡板，挡板与筛斗的开口一侧，所述的丝杆的一端均活动贯穿操作块，并且丝杆的一端均固定装配有传动链轮，传动链轮位于操作块的一侧，两个传动链轮上缠绕有传动链条，其中一个操作块上固定装配有L形安装架，L形安装架上固定装配有传动电机，传动电机的输出端活动贯穿L形安装架，并且传动电机的输出端与其中一个传动链轮进行固定装配。
[0014]优选的，所述的挡板与筛斗的开口进行贴合时，推板与筛斗的内壁进行贴合。
[0015](三)有益效果
[0016]与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：
[0017]1、本技术中分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备，将LDI光刻胶倒入到筛斗中，启动气缸，使得活塞杆进行伸长，活塞杆带动筛斗往筛箱的内部方向进行移动，启动操作电机，偏心轮进行转动，使得偏心轮顶动筛斗进行移动，插杆在安装管的内部进行移动，伸缩弹簧进行伸缩，在伸缩弹簧的弹力作用下，使得筛斗反复进行晃动，使得筛斗上的LDI光刻胶通过筛孔进行过筛，提高分筛过滤效果，杂质通过筛孔的小孔在漏斗和出料管的作用下方面收集。
[0018]2、本技术中分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备，分筛完成后，启动传动电机，在传动链条的传动下，使得两个传动链轮进行同方向转动，丝杆在螺纹套筒中转动，让牵引块在牵引槽进行移动，方便连接板带动推板推动筛斗上的LDI光刻胶进行移动，同时挡板远离筛斗的开口，方便对LDI光刻胶进行收集，分筛过程中，使得挡板与筛斗的开口进行贴合，有效地对LDI光刻胶进行阻挡，方便装置的操作。
附图说明
[0019]图1为本技术中分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备正视结构示意图；
[0020]图2为本技术中分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备内部结构示意图；
[0021]图3为本技术中图2的A处放大结构示意图；
[0022]图4为本技术中分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备侧视结构示意
图。
[0023]图中：
[0024]10、筛箱；11、出料口；12、L形固定架；13、气缸；
[0025]20、活塞杆；21、筛斗；22、连接板；23、推板；
[0026]30、连接杆；31、挡板；32、装配板；33、安装板；
[0027]40、安装管；41、伸缩弹簧；42、操作板；43、操作电机；
[0028]50、偏心轮；51、操作块；52、筛孔；53、漏斗；
[0029]60、出料管；61、转动腔；62、牵引槽；63、丝杆；
[0030]70、螺纹套筒；71、牵引块；72、传动链轮；73、传动链条；
[0031]80、L形安装架；81、传动电机；82、插杆。
具体实施方式
[0032]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]实施例1...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备，包括筛箱(10)，其特征在于：所述的筛箱(10)的表面固定装配有L形固定架(12),L形固定架(12)上固定装配有气缸(13)，气缸(13)的输出端活动贯穿L形固定架(12)，并且气缸(13)的输出端固定装配有活塞杆(20)，所述的活塞杆(20)的底部固定装配有装配板(32)，装配板(32)上对称固定装配有安装板(33)，其中一个安装板(33)上对称固定装配有安装管(40)，安装管(40)的一端均活动装配有插杆(82)，插杆(82)的一端在安装管(40)的内部进行移动，插杆(82)的一端固定装配有筛斗(21)，所述的安装管(40)和插杆(82)上装配有伸缩弹簧(41)，伸缩弹簧(41)的两端分别与筛斗(21)和安装板(33)进行固定装配，筛斗(21)的底面设置有筛孔(52)，另一个安装板(33)上固定装配有操作板(42)，操作板(42)上固定装配有操作电机(43)，操作电机(43)的输出端活动贯穿操作板(42)，并且操作电机(43)的输出端固定装配有偏心轮(50)，偏心轮(50)与筛斗(21)进行贴合。2.根据权利要求1所述的一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备，其特征在于：所述的筛箱(10)的内壁固定装配有漏斗(53)，漏斗(53)位于筛斗(21)的下方，漏斗(53)的底部固定装配有出料管(60)，所述的筛箱(10)的表面设置有出料口(11)，出料口(11)与筛箱(10)的内部进行连通，出料口(11)在筛箱(10)的内部连通口位于出料管(60)的下方。3.根据权利要求2所述的一种分筛效果好的LDI光刻胶生产用分筛过滤设备，其特征在于：所述的筛斗(21)的对称两侧面均固定装配有操作块(...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗启祥，高梁，
申请(专利权)人：深圳市百利合新材料发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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