喷嘴过滤器制造技术

本实用新型专利技术旨在提供一种喷嘴过滤器，所述喷嘴过滤器，包括：第一过滤板，包括第一过滤孔；以及，垂直型挂钩部，固定到所述第一过滤板，本实用新型专利技术可以对喷嘴过滤器进行拆装，可以提升清洗喷嘴过滤器的便利性，与此同时，还可以实现喷嘴过滤器的再利用以及与其他喷嘴的交叉使用。的交叉使用。的交叉使用。

【技术实现步骤摘要】
喷嘴过滤器


[0001]本技术涉及一种喷嘴过滤器{Nozzle Filter}，尤其涉及一种安装到真空蒸发源的喷嘴上的喷嘴过滤器。

技术介绍

[0002]通常来讲，真空蒸发源可以为了在配置于高真空腔室内的基板上形成指定的薄膜而对薄膜形成用物质进行加热蒸发。真空蒸发源用于在半导体制造工程中在基板表面形成由指定物质构成的薄膜，或用于在大型平板显示装置的制造工程中在玻璃基板等的表面形成所需要的物质薄膜。
[0003]从真空蒸发源蒸发的蒸镀物质可以移动到基板表面并通过如吸附、蒸镀以及再蒸发等连续过程在基板上固化并形成薄膜。
[0004]此时，如果施加到蒸镀物质的温度不均匀，则蒸镀物质可能并不能得到汽化或升华而以颗粒形态的块状吸附到基板上，从而诱发显示装置的不良。
[0005]先行技术文献
[0006]专利文献
[0007]大韩民国专利注册编号第10
‑
1209107号

技术实现思路

[0008]本技术拟解决的课题在于提供一种可以防止蒸镀物质颗粒喷射到喷嘴外部的喷嘴过滤器。
[0009]本技术拟解决的课题并不限定于在上述内容中提及的课题，相关从业人员将可以通过下述记载进一步明确理解未被提及的其他课题。
[0010]为了解决如上所述的课题，适用本技术的喷嘴过滤器的一方面(aspect)，包括：第一过滤板，包括第一过滤孔；以及，垂直型挂钩部，固定到所述第一过滤板。
[0011]在若干实施例中，还包括：第二过滤板，包括第二过滤孔，固定到垂直型挂钩部；第二过滤板在第一方向上与第一过滤板相隔。
[0012]在若干实施例中，第二过滤板与第一过滤板相比更加接近喷嘴的出口，第一过滤孔的数量大于第二过滤孔的数量，第一过滤孔以及第二过滤孔在第一方向上不重叠。
[0013]通过将喷嘴过滤器配置在坩埚内部，可以防止在蒸镀物质蒸发时可能产生的块状形态的蒸发物质颗粒喷出到喷嘴外部。
[0014]此外，因为喷嘴过滤器可以对上部加热丝的热量的一部分进行阻隔，因此为了对蒸镀物质进行加热，可能需要增加上部加热丝的功率。而在上部加热丝的功率增加时，与没有喷嘴过滤器时的情况相比，喷嘴的温度也将随之增加。借助于喷嘴温度的增加，可以防止蒸镀物质被堆积在配置到喷嘴内部的内板中。
[0015]而且，喷嘴过滤器可以相对于喷嘴进行移动。当坩埚内部的压力过度增加时，喷嘴过滤器可以相对于喷嘴进行移动。借助于喷嘴过滤器的移动，坩埚内的气态的蒸镀物质等
可以被喷出到喷嘴过滤器与坩埚之间。借此，可以使得坩埚的内部压力重新下降至适当的范围。因为喷嘴并不会从坩埚提起，而是只有喷嘴过滤器发生移动，因此可以防止因为喷嘴从坩埚提起而导致的问题。
[0016]此外，因为可以对喷嘴过滤器进行拆装，因此可以提升清洗喷嘴过滤器的便利性。与此同时，还可以实现喷嘴过滤器的再利用以及与其他喷嘴的交叉使用。
附图说明
[0017]图1是对适用本技术之实施例的真空蒸发源进行概要性图示的示意图。
[0018]图2是对图1中的A部分进行放大图示的示意图。
[0019]图3至图5是用于对图1中的内板进行说明的示意图。
[0020]图6至图8是用于对图1中的喷嘴过滤器进行说明的示意图。
[0021]图9是用于对喷嘴过滤器与内板之间的结合关系进行说明的示意图。
[0022]图10是对蒸镀物质颗粒的阻隔过程进行概要性图示的示意图。
[0023]图11是对喷嘴过滤器相对于喷嘴进行移动的状态进行概要性图示的示意图。
具体实施方式
[0024]本技术的优点和特征及其达成方法，将可以通过参阅结合附图进行详细说明的后续的实施例得到进一步明确。但是，本技术并不限定于在下述内容中公开的实施例，而是可以通过其他形态实现，所述实施例只是为了更加完整地公开本技术，并向具有本技术所属
之一般知识的人员更加完整地介绍本技术的额范畴，本技术只应该通过权利要求书的范畴做出定义。附图中的层以及区域的相对大小可能会为了说明的明确性而被夸张。在整个说明书中，相同的参考编号代表相同的构成要素。
[0025]当记载为某个元件(elements)与其他元件“连接(connected to)”或“耦合(coupled to)”时，不仅包括与其他元件直接连接或耦合的情况，还包括在两者之间介有其他元件的情况。与此相反，当记载为某个元件与其他元件“直接连接(directly connected to)”或“直接耦合(directly coupled to)”时，是指在两者之间没有其他元件的情况。在整个说明书中，相同的参考编号代表相同的构成要素。“和/或”包括所提及的各个项目以及一个以上的所有组合。
[0026]为了方便地对如图所示的一个元件或构成要素与其他元件或构成要素之间的相关关系进行说明，可以使用“下侧(below)”、“下方(beneath)”、“下部(lower)”、“上侧(above)”以及“上部(upper)”等空间上的相对术语。空间上的相对术语应该理解为除了附图中所图示的方向之外还包括在使用时或工作时元件的彼此不同的方向的含义。
[0027]虽然为了对不同的元件、构成要素和/或部分进行说明而使用如第一以及第二等术语，但是所述元件、构成要素和/或部分并不因为所述术语而受到限定。所述术语只是用于将一个元件、构成要素或部分与其他元件、构成要素或部分进行区分。因此，在下述内容中提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本技术的技术思想内也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
[0028]在本说明书中所使用的术语只是用于对实施例进行说明，并不是为了对本技术做出限定。在本说明书中，单数型语句还包含复数型含义。在说明书中使用的“包含
(comprises)”和/或“包括(comprising)”并不排除所提及的构成要素、步骤、动作和/或元件之外的一个以上的其他构成要素、步骤、动作和/或元件存在或被附加的可能性。
[0029]除非另有定义，否则在本说明书中使用的所有术语(包括技术以及科学术语)的含义与具有本技术所属
之一般知识的人员所通常理解的含义相同。此外，除非另有明确的定义，否则不应该对通常所使用的已在词典中做出定义的术语做出过于理想化或夸张的解释。
[0030]图1是对适用本技术之实施例的真空蒸发源进行概要性图示的示意图。图2是对图1中的A部分进行放大图示的示意图。图3至图5是用于对图1中的内板进行说明的示意图。图6至图8是用于对图1中的喷嘴过滤器进行说明的示意图。图9是用于对喷嘴过滤器与内板之间的结合关系进行说明的示意图。图10是对蒸镀物质颗粒的阻隔过程进行概要性图示的示意图。图11是对喷嘴过滤器相对于喷嘴进行移动的状态进行概要性图示的示意图。
[0031]参阅图1至图9，适用本技术之实施例的真空蒸发源100可以是用于对薄膜形成用蒸镀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴过滤器，作为安装在真空蒸发源的喷嘴上的喷嘴过滤器，其特征在于，所述喷嘴过滤器，包括：第一过滤板，包括第一过滤孔；以及，垂直型挂钩部，固定到所述第一过滤板。2.根据权利要求1所述的喷嘴过滤器，其特征在于，还包括：第二过滤板，包括第二过滤孔，固定到所述垂直型挂钩部...

【专利技术属性】
技术研发人员：林泰均，文一权，车守荣，赵演福，
申请(专利权)人：艾尔法普拉斯株式会社，
类型：新型
国别省市：