一种高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料及其制备方法技术

本发明专利技术属于高纯石墨纤维隔热复合材料技术领域，特别是涉及一种高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料及其制备方法。包括，碳纤维丝和粘合剂；所述碳纤维丝按照预设方向排列；碳纤维丝经过石墨化处理后形成的石墨纤维丝密度按照预设从内到外逐渐减小；所述粘合剂为酚醛树脂，所述粘合剂为液体和/或粉剂；所述石墨纤维丝90％以上沿产品圆周方向或平行于石墨纤维圆筒产品轴方向排列。解决了现有半导体硅晶棒和碳化硅晶棒中热场隔热材料纯度低，隔热效果差的技术问题。果差的技术问题。果差的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料及其制备方法


[0001]本专利技术属于高纯石墨纤维隔热复合材料
，特别是涉及一种新型高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料及其制备方法。

技术介绍

[0002]在第二代半导体领域第三代碳化硅晶体领域晶体生长炉在制备高品质的晶体过程中，高效，节能，高纯，高品质的石墨纤维保温材料急需提高和改进，从而使企业降低能耗，提高晶体品质，节约生产成本。然而现有技术中的隔热材料，纯度低、热导率高，产品制作周期长，使用寿命短等因素制约着我国半导体晶体生长领域的快速发展。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供了一种高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料，解决了现有半导体硅晶棒和碳化硅晶棒中热场隔热材料纯度低，隔热效果差，容易开裂的技术问题。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术的一个方面，提供了一种高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料，所述高纯半导体用纤维隔热复合材料包括，
[0005]碳纤维丝和粘合剂；
[0006]所述碳纤维丝按照预设方向排列；碳纤维丝经过石墨化处理后形成的石墨纤维丝密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料，其特征在于：所述高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料包括，碳纤维丝和粘合剂；所述碳纤维丝按照预设方向排列，所述碳纤维丝经过石墨化处理后形成的石墨纤维丝密度按照预设从内到外逐渐减小；所述粘合剂为酚醛树脂，所述粘合剂为液体和/或粉剂；所述石墨纤维丝90％以上沿产品圆周方向或平行于石墨纤维圆筒产品轴方向排列。2.根据权利要求1所述的高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料，其特征在于：所述高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料的石墨纤维丝选用PAN基纤维丝、沥青基纤维丝、黏胶基纤维丝或酚醛树脂基纤维丝中的一种或几种经过预氧化处理或碳化处理。3.根据权利要求1所述的高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料，其特征在于：所述碳纤维丝与碳纤维丝之间的固定，通过酚醛树脂热解后形成碳桥连接。4.根据权利要求1所述的高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料，其特征在于：所述石墨纤维隔热保温筒从内部高温区到外部低温区密度递减，用于降低内部高温区以辐射为主的热传导和外部低温区纤维固体热传导。5.根据权利要求1
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4中任一所述的高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料，其特征在于：所述石墨纤维隔热复合材料在石墨化处理中，固化成型温度为150℃、石墨化处理温度为1600℃以上、纯化处理温度为2600℃。6.一种高纯半导体用石墨纤维隔热复合材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤，(1)用切丝机按照所需长度切断碳纤维丝束；(2)将切断好的碳纤维丝束进行分散开松处理，得到完全分散的单体碳纤维丝；(3)将分散好的碳纤维丝通过定向水流形成方向性的纤维网，再通过烘道脱水处理；(4)将脱水后的碳纤维网通过自动滚...

【专利技术属性】
技术研发人员：单建，
申请(专利权)人：单建，
类型：发明
国别省市：