光学相控板、制造方法和光学相控阵系统技术方案

本申请公开了一种光学相控板、制造方法和光学相控阵系统，属于光束扫描技术领域。所述光学相控板包括多个光波导层和多个隔离层；每个光波导层包括多个光波导，且所述多个光波导并排排布；所述多个光波导层和所述多个隔离层叠加排布，且每个隔离层位于相邻的两个光波导层之间。采用本申请，由于该光学相控板包括二维光波导阵列，所以该光学相控板能够进行二维光束扫描，而且，该光学相控板进行二维光束扫描，与通过二维光学天线阵列进行二维光束扫描相比，能够提高光束扫描的分辨率和扫描角度。能够提高光束扫描的分辨率和扫描角度。能够提高光束扫描的分辨率和扫描角度。

【技术实现步骤摘要】
光学相控板、制造方法和光学相控阵系统


[0001]本申请涉及光束扫描
，特别涉及一种光学相控板、制造方法和光学相控阵系统。

技术介绍

[0002]光学相控阵系统是一种通过调整激光的相位来控制光束扫描的系统，该系统广泛应用于激光雷达、激光显示和光通信等光设备中。
[0003]光学相控阵系统在结构上可以包括光源、耦合分光器和光学相控片，其中，光学相控片也可以称为波导片，包括多个并排排布的光波导，光波导是供光传输的通道。光源、耦合分光器和光学相控片在沿着光传输路径上依次排布。
[0004]这样，光源产生的光束通过耦合分光器分束至光学相控片的各个光波导中，每个光波导的两侧具有电极，电极用于向光波导加电压，对光波导中传输的光束进行相位调制，以使光束发生偏转，进而，光束在光学相控片所在的平面内进行一维的线性扫描。
[0005]但是上述光学相控片只能进行一维光束扫描，导致该光学相控片的使用灵活性较差。

技术实现思路

[0006]本申请提供了一种光学相控板、制造方法和光学相控阵系统，能够解决相关技术中的问题，所述技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学相控板，其特征在于，所述光学相控板包括多个光波导层(1)和多个隔离层(2)；每个光波导层(1)包括多个光波导(11)，且所述多个光波导(11)并排排布；所述多个光波导层(1)和所述多个隔离层(2)叠加排布，且每个隔离层(2)位于相邻的两个光波导层(1)之间。2.根据权利要求1所述的光学相控板，其特征在于，每个隔离层(2)包括第一填充层(21)和支撑层(22)；所述第一填充层(21)位于相邻的两个光波导层(1)中的一个光波导层(1)的光波导间隙中，所述支撑层(22)位于所述第一填充层(21)和另一个光波导层(1)之间。3.根据权利要求2所述的光学相控板，其特征在于，所述第一填充层(21)的厚度大于或等于所述光波导层(1)的光波导间隙的深度。4.根据权利要求1至3任一所述的光学相控板，其特征在于，所述光学相控板还包括第二填充层(3)；所述第二填充层(3)位于第一光波导层(1a)的光波导间隙中，所述第一光波导层(1a)为位于最外层且顶面远离所述隔离层(2)的光波导层。5.根据权利要求1至4任一所述的光学相控板，其特征在于，所述光学相控板还包括基底层(4)；所述基底层(4)支撑在第二光波导层(1b)的底部，所述第二光波导层(1b)为位于最外层且底面远离所述隔离层(2)的光波导层。6.根据权利要求1至5任一所述的光学相控板，其特征在于，所述光学相控板呈阶梯型，具有多个台阶(5)，所述多个台阶(5)位于所述多个光波导(11)的侧部；每个台阶(5)的上表面具有多个焊盘(51)，每个焊盘(51)与所述光波导(11)的电极(111)电连接。7.根据权利要求1至5任一所述的光学相控板，其特征在于，所述光学相控板的沿着厚度方向具有多个通孔(6)，且所述多个通孔(6)位于所述多个光波导(11)的侧部，每个通孔(6)中具有导电介质；第二光波导层(1b)的外表面具有多个焊球(7)，每个焊球(7)通过所述通孔(6)中的导电介质与所述光波导(11)的电极(111)电连接，所述第二光波导层(1b)为位于最外层且底面远离所述隔离层(2)的光波导层。8.根据权利要求7所述的光学相控板，其特征在于，所述光学相控板还包括重新布线层RDL(8)，所述RDL(8)位于所述第二光波导层(1b)的外表面，所述多个焊球(7)位于所述RDL(8...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓抄军，魏潇赟，杨勇，臧大军，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：