掩膜装置及其控制方法、镀膜设备制造方法及图纸

技术编号:35761679 阅读:27 留言:0更新日期:2022-11-26 19:13
本申请公开了一种掩膜装置及其控制方法、镀膜设备,能够解决在基材上镀膜不均匀的问题。本申请实施方式的掩膜装置包括:基座;掩膜板,掩膜板活动地设置在基座上;驱动组件,驱动组件与掩膜板连接,用于驱动掩膜板运动以调整掩膜板伸出基座的尺寸。本申请实施方式的掩膜装置中,驱动组件驱动掩膜板运动以调整掩膜板伸出基座的尺寸,从而可以调整掩膜板遮盖镀膜材料的面积,以控制镀膜材料镀在基材上的量,使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。

【技术实现步骤摘要】
掩膜装置及其控制方法、镀膜设备


[0001]本申请涉及镀膜设备
,尤其涉及一种掩膜装置及其控制方法、镀膜设备。

技术介绍

[0002]节能减排是汽车产业可持续发展的关键,电动车辆由于其节能环保的优势成为汽车产业可持续发展的重要组成部分。对于电动车辆而言,电池技术又是关乎其发展的一项重要因素。在动力电池中,电池单体的电芯的极片可以通过镀膜的工艺形成,也即在基材上通过镀膜的工艺镀上镀膜材料。在镀膜过程中,镀膜材料在基材上形成的膜层的厚度可能不均匀,导致生产的极片品质不高。

技术实现思路

[0003]本申请实施方式提供了一种掩膜装置及其控制方法、镀膜设备,能够解决在基材上镀膜不均匀的问题。
[0004]本申请实施方式的掩膜装置包括:基座;掩膜板,所述掩膜板活动地设置在所述基座上;驱动组件,所述驱动组件与所述掩膜板连接,用于驱动所述掩膜板运动以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸。
[0005]本申请实施方式的掩膜装置中,驱动组件驱动所述掩膜板运动以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸,从而可以调整掩膜板遮盖镀膜材料的面积,以控制镀膜材料镀在基材上的量,使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。
[0006]在某些实施方式中,所述驱动组件包括驱动件和传动部件,所述传动部件连接所述驱动件和所述掩膜板,所述驱动件通过所述传动部件驱动所述掩膜板运动。如此,驱动件通过传动部件驱动掩膜板运动,使得掩膜板的运动控制更加容易实现,运动精度更高。
[0007]在某些实施方式中,所述传动部件包括齿轮传动机构。如此,齿轮传动机构传动更加稳定,可以提高掩膜板运动的精度。
[0008]在某些实施方式中,所述齿轮传动机构包括齿轮和与所述齿轮啮合的齿条,所述齿轮与所述驱动件连接,所述齿条与所述掩膜板可拆卸地连接。如此,齿轮和齿条配合可以将旋转运动转化为平行移动,并且传动的精度较高,提高掩膜板的位移精度。
[0009]在某些实施方式中,所述基座包括底座和盖板,所述底座和所述盖板合围成安装空间,所述传动部件至少部分设置在所述安装空间内,所述驱动件位于所述安装空间外,所述掩膜板能够伸出或缩回所述安装空间。如此,传动部件设置在安装空间内,可以防止传动部件被灰尘等颗粒污染而导致故障甚至失效。另外,驱动件位于安装空间外,使得掩膜装置的结构更加紧凑。
[0010]在某些实施方式中,所述掩膜板的数量为多个,多个所述掩膜板沿所述掩膜板的宽度方向排布,每个所述掩膜板连接有一个所述驱动组件。如此,多个掩膜板的移动可以控
制不同位置的镀膜厚度,实现基材镀膜厚度的均匀性。
[0011]在某些实施方式中,所述掩膜装置还包括与所述驱动组件连接的控制器,所述控制器用于控制所述驱动组件的工作状态,以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸。如此,通过调整掩膜板伸出所述基座的尺寸可以调整镀膜膜层的厚度,使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。
[0012]在某些实施方式中,所述控制器用于获取镀膜膜层的厚度,并根据所述镀膜膜层的厚度控制所述驱动组件的工作状态。如此,通过控制器根据镀膜膜层的厚度控制驱动组件的工作状态,从而可以控制掩膜板的位置,进而控制镀膜的厚度。
[0013]在某些实施方式中,所述控制器用于在所述镀膜膜层的厚度大于阈值时,控制所述驱动组件驱动所述掩膜板,以增大所述掩膜板相对于所述基座的伸出量;以及用于在所述镀膜膜层的厚度小于阈值时,控制所述驱动组件驱动所述掩膜板,以减小所述掩膜板相对于所述基座的伸出量。如此,通过调整掩膜板相对于基座的伸出量,使得镀膜膜层的厚度更加均匀。
[0014]在某些实施方式中,所述控制器用于确定所述掩膜板的伸缩量,及用于根据所述伸缩量确定所述驱动组件的电机的转动方向和转动角度;以及用于根据确定的所述转动方向和所述转动角度控制所述电机转动。如此,通过控制电机的转动方向和转动角度,可以实现掩膜板移动的准确控制,从而实现镀膜膜层厚度的准确控制。
[0015]本申请实施方式的镀膜设备包括以上任一实施方式所述的掩膜装置。
[0016]本申请实施方式的控制方法用于掩膜装置,所述掩膜装置包括基座、掩膜板和驱动组件,所述驱动组件用于驱动所述掩膜板运动以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸;所述控制方法包括:获取镀膜膜层的厚度;根据所述镀膜膜层的厚度控制所述驱动组件的工作状态,以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸。
[0017]如此,通过调整掩膜板伸出所述基座的尺寸可以调整镀膜膜层的厚度,使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。
[0018]在某些实施方式中,所述根据所述镀膜膜层的厚度控制所述驱动组件的工作状态,以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸,包括:在所述镀膜膜层的厚度大于阈值时,控制所述驱动组件驱动所述掩膜板,以增大所述掩膜板相对于所述基座的伸出量;在所述镀膜膜层的厚度小于阈值时,控制所述驱动组件驱动所述掩膜板,以减小所述掩膜板相对于所述基座的伸出量。
[0019]如此,通过调整掩膜板相对于基座的伸出量,使得镀膜膜层的厚度更加均匀。
[0020]在某些实施方式中,所述根据所述镀膜膜层的厚度控制所述驱动组件的工作状态,以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸,包括:确定所述掩膜板的伸缩量;根据所述伸缩量确定所述驱动组件的电机的转动方向和转动角度;根据确定的所述转动方向和所述转动角度控制所述电机转动。
[0021]如此,通过控制电机的转动方向和转动角度,可以实现掩膜板移动的准确控制,从

上”“下”“前”“后”“左”“右”“竖直”“水平”“顶”“底”“内”“外”“顺时针”“逆时针”“轴向”“径向”“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请实施例的限制。
[0032]在本申请实施例的描述中,除非另有明确的规定和限定,技术术语“安装”“相连”“连接”“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;也可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。
[0033]目前,从市场形势的发展来看,动力电池的应用越加广泛。动力电池不仅被应用于水力、火力、风力和太阳能电站等储能电源系统,而且还被广泛应用于电动自行车、电动摩托车、电动汽车等电动交通工具,以及军事装备和航空航天等多个领域。随着动力电池应用领域的不断扩大,其市场的需求量也在不断地扩增。
[0034]在动力电池中,电池单体的电芯的极片可以通过镀膜的工艺形成,也即在基材上通过镀膜的工艺镀上镀膜材料。在镀膜过程中,由于镀膜材料一般为颗粒物,这些颗粒物的运动轨迹不确定,使得镀膜材料在基材上形成的膜层的厚度可能不均匀,导致生产的极片品质不高。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜装置,其特征在于,包括:基座;掩膜板,所述掩膜板活动地设置在所述基座上;驱动组件,所述驱动组件与所述掩膜板连接,用于驱动所述掩膜板运动以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸。2.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,所述驱动组件包括驱动件和传动部件,所述传动部件连接所述驱动件和所述掩膜板,所述驱动件通过所述传动部件驱动所述掩膜板运动。3.根据权利要求2所述的掩膜装置,其特征在于,所述传动部件包括齿轮传动机构。4.根据权利要求3所述的掩膜装置,其特征在于,所述齿轮传动机构包括齿轮和与所述齿轮啮合的齿条,所述齿轮与所述驱动件连接,所述齿条与所述掩膜板可拆卸地连接。5.根据权利要求2所述的掩膜装置,其特征在于,所述基座包括底座和盖板,所述底座和所述盖板合围成安装空间,所述传动部件至少部分设置在所述安装空间内,所述驱动件位于所述安装空间外,所述掩膜板能够伸出或缩回所述安装空间。6.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,所述掩膜板的数量为多个,多个所述掩膜板沿所述掩膜板的宽度方向排布,每个所述掩膜板连接有一个所述驱动组件。7.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,所述掩膜装置还包括与所述驱动组件连接的控制器,所述控制器用于控制所述驱动组件的工作状态,以调整所述掩膜板伸出所述基座的尺寸。8.根据权利要求7所述的掩膜装置,其特征在于,所述控制器用于获取镀膜膜层的厚度,并根据所述镀膜膜层的厚度控制所述驱动组件的工作状态。9.根据权利要求8所述的掩膜装置,其特征在于,所述控制器用于在所述镀膜膜层的厚度大于阈值时,控制所述驱动组件驱动所述掩膜板,以增大所述掩膜板相对...

【专利技术属性】
技术研发人员:尚鲲鹏雷克武伍平生薛颜同王岳利
申请(专利权)人:宁德时代新能源科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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