一种分子泵防震装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及分子泵防震设备技术领域，尤其涉及一种分子泵防震装置，包括分子泵体，所述分子泵体底端外侧设置有防震件，所述防震件包括左环板，所述左环板贴合在分子泵体的底端外侧，所述分子泵体外侧与左环板相对立的一侧设置有移动板，所述左环板与移动板之间通过杆组相连接固定，所述左环板与移动板内壁设置橡胶条。本实用新型专利技术通过左环板与移动板对分子泵体进行包裹，并且通过支撑板对分子泵体底端进行限位支撑，多个支腿对支撑板进行支撑，增加支撑面域，提高支撑的稳固性，在左环板与移动板内侧设置有橡胶条，通过橡胶条对分子泵体震动进行缓冲，降低分子泵体因震动产生抖动的幅度，保证了分子泵体的稳定性。保证了分子泵体的稳定性。保证了分子泵体的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种分子泵防震装置


[0001]本技术涉及一种分子泵防震设备
，尤其涉及一种分子泵防震装置。

技术介绍

[0002]分子泵为真空泵的一种，其利用高速旋转的转子将动量传输给气体分子，使气体分子获得定向速度，压缩气体分子，将气体分子驱向排气口，由于其转子转速较高，因此其使用过程中的稳定性有严格要求。
[0003]分子泵的排气口上安装有闸板阀，通过闸板阀控制分子的真空操作，闸板阀开启时，分子泵进行工作可以进行抽真空操作，闸板阀关闭时，分子泵一端封闭，保持分子泵内的真空环境。但闸板阀开启或关闭的过程中有较大震动产生抖动，导致分子泵也随之抖动，影响分子泵的稳定性。所以需要一种分子泵防震装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种分子泵防震装置，包括分子泵体，所述分子泵体底端外侧设置有防震件，所述防震件包括左环板，所述左环板贴合在分子泵体的底端外侧，所述分子泵体外侧与左环板相对立的一侧设置有移动板，所述左环板与移动板之间通过杆组相连接固定，所述左环板与移动板内壁设置橡胶条，所述左环板底端连接有支撑件，所述支撑件包括支撑板，所述支撑板边侧对称连接有支腿。
[0007]优选的，所述杆组包括轴筒，所述轴筒内部通过通孔插设有螺纹杆，所述螺纹杆外侧螺纹套设有套筒，所述套筒左侧连接有连杆，且所述连杆左侧连接有套环，所述套环通过环槽套设在轴筒外侧，通过轴筒的环槽对套环进行约束，使套环仅能原地转动，保证了套环转动时的稳定性。
[0008]优选的，所述螺纹杆右侧连接有移动板，所述螺纹杆由柱形端与多边形端组成，所述螺纹杆的多边形端通过通孔插设在轴筒内部，通过螺纹杆的多边形端设计，使螺纹杆仅能在轴筒的多边形通孔内往返运动。
[0009]优选的，所述左环板与移动板外侧皆环绕开设有竖向贯穿槽，且竖向贯穿槽边侧与橡胶条位置适配对应，通过左环板与移动板的竖向贯穿槽设计，方便将分子泵体的电机端暴露在外侧进行散热。
[0010]优选的，所述轴筒上下两端不接触对称设置有两个轴套，且所述轴套右侧通过通孔插有内轴，所述内轴右侧与移动板内壁相连接固定，通过两个轴套与内轴的设计对左环板与移动板的移动进行导向。
[0011]优选的，所述支撑板中心位置处开设有矩形放置口，所述支撑板底端对称设置有两个稳固件，所述稳固件包括固定块，所述固定块内部横向螺纹插设有螺纹轴，所述螺纹轴外侧连接有旋钮，且所述螺纹轴内侧转动连接有调节板，所述调节板表面置放在支撑板的
矩形放置口内壁，通过螺纹轴转动并移推动调节板位移，使调节板能带动橡胶板贴合在分子泵体外侧，使支撑板的开口能够适配分子泵体的外形。
[0012]优选的，所述支撑板底端左右对称连接有风板，且所述风板呈等列分布，所述调节板表面开设有透气孔，所述调节板内侧通过凹槽嵌设有橡胶板，通过橡胶板的设计对分子泵体底端进行防护，降低分子泵体抖动撞击的影响。
[0013]本技术至少具备以下有益效果：
[0014]1、通过设置防震件与支撑件，实现对分子泵体的稳固防震动，相较于传统的结构，本装置通过左环板与移动板对分子泵体进行包裹，并且通过支撑板对分子泵体底端进行限位支撑，多个支腿对支撑板进行支撑，增加支撑面域，提高支撑的稳固性，在左环板与移动板内侧设置有橡胶条，通过橡胶条对分子泵体震动进行缓冲，降低分子泵体因震动产生抖动的幅度，保证了分子泵体的稳定性。
[0015]2、通过设置稳固件，实现对分子泵体底端的加固，本装置通过螺纹轴转动并移推动调节板位移，使调节板能带动橡胶板贴合在分子泵体外侧，使支撑板的开口能够适配分子泵体的外形，从而对分子泵体底端进行固定，进一步提高分子泵体工作时的稳定性。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术提出的一种分子泵防震装置的外部结构示意图；
[0018]图2为本技术提出的一种分子泵防震装置中防震件与支撑件的连接结构立体示意图；
[0019]图3为本技术提出的一种分子泵防震装置中防震件立体炸裂示意图；
[0020]图4为本技术提出的一种分子泵防震装置中杆组的立体结构炸裂示意图；
[0021]图5为本技术提出的一种分子泵防震装置中稳固件立体炸裂示意图。
[0022]图中：1、分子泵体；2、防震件；21、左环板；22、移动板；23、橡胶条；24、轴套；25、内轴；26、杆组；261、轴筒；262、螺纹杆；263、套环；264、连杆；265、套筒；3、支撑件；31、支撑板；32、支腿；33、风板；4、稳固件；41、固定块；42、螺纹轴；43、旋钮；44、调节板；45、橡胶板。
具体实施方式
[0023]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0024]参照图1
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5，一种分子泵防震装置，包括分子泵体1，分子泵体1底端外侧设置有防震件2，防震件2包括左环板21，左环板21贴合在分子泵体1的底端外侧，分子泵体1外侧与左环板21相对立的一侧设置有移动板22，左环板21与移动板22之间通过杆组26相连接固定，左环板21与移动板22内壁设置橡胶条23，左环板21底端连接有支撑件3，支撑件3包括支撑板31，支撑板31边侧对称连接有支腿32。
[0025]杆组26包括轴筒261，轴筒261内部通过通孔插设有螺纹杆262，螺纹杆262外侧螺纹套设有套筒265，套筒265左侧连接有连杆264，且连杆264左侧连接有套环263，套环263通过环槽套设在轴筒261外侧。
[0026]螺纹杆262右侧连接有移动板22，螺纹杆262由柱形端与多边形端组成，螺纹杆262的多边形端通过通孔插设在轴筒261内部。
[0027]左环板21与移动板22外侧皆环绕开设有竖向贯穿槽，且竖向贯穿槽边侧与橡胶条23位置适配对应。
[0028]轴筒261上下两端不接触对称设置有两个轴套24，且轴套24右侧通过通孔插有内轴25，内轴25右侧与移动板22内壁相连接固定。
[0029]支撑板31中心位置处开设有矩形放置口，支撑板31底端对称设置有两个稳固件4，稳固件4包括固定块41，固定块41内部横向螺纹插设有螺纹轴42，螺纹轴42外侧连接有旋钮43，且螺纹轴42内侧转动连接有调节板44，调节板44表面置放在支撑板31的矩形放置口内壁。
[0030]支撑板31底端左右对称连接有风板33，且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分子泵防震装置，包括分子泵体(1)，其特征在于，所述分子泵体(1)底端外侧设置有防震件(2)，所述防震件(2)包括左环板(21)，所述左环板(21)贴合在分子泵体(1)的底端外侧，所述分子泵体(1)外侧与左环板(21)相对立的一侧设置有移动板(22)，所述左环板(21)与移动板(22)之间通过杆组(26)相连接固定，所述左环板(21)与移动板(22)内壁设置橡胶条(23)，所述左环板(21)底端连接有支撑件(3)，所述支撑件(3)包括支撑板(31)，所述支撑板(31)边侧对称连接有支腿(32)。2.根据权利要求1所述的一种分子泵防震装置，其特征在于，所述杆组(26)包括轴筒(261)，所述轴筒(261)内部通过通孔插设有螺纹杆(262)，所述螺纹杆(262)外侧螺纹套设有套筒(265)，所述套筒(265)左侧连接有连杆(264)，且所述连杆(264)左侧连接有套环(263)，所述套环(263)通过环槽套设在轴筒(261)外侧。3.根据权利要求2所述的一种分子泵防震装置，其特征在于，所述螺纹杆(262)右侧连接有移动板(22)，所述螺纹杆(262)由柱形端与多边形端组成，所述螺纹杆(262)的多边形端通过通孔插...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚鹰，
申请(专利权)人：上海连隆电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：