一种电子枪高压电源装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电子枪高压电源装置，涉及电子技术领域，该装置包括控制单元、供电单元和电流检测单元，供电单元的输入端连接控制单元，供电单元的输出端连接电流检测单元，用于为电流检测单元提供多种所需电压；电流检测单元的第一端和反馈端均连接控制单元，电流检测单元的第二端作为装置的检测端连接电子枪的阴极灯丝，电流检测单元用于在存在悬浮高压的阴极灯丝侧，给阴极灯丝提供加热电流，并在不影响设备量测作业的情况下实现加热电流和发射电流的实时检测，为电子束能量的精确调控提供了良好的基础。提供了良好的基础。提供了良好的基础。

【技术实现步骤摘要】
一种电子枪高压电源装置


[0001]本专利技术属于电子
，尤其是一种电子枪高压电源装置。

技术介绍

[0002]电子束扫描测量仪是半导体制造业的核心量测设备，用于测量晶圆上图案及其关键尺寸，利用从电子枪发射出的高能电子束，通过线圈偏转和汇聚后，照射到试样表面，通过探测激发出的二次电子获得试样表面的图像，以清晰的表面图像为基础，高精度的测量关键尺寸。电子枪阴极在常温下自由电子并不能逸出金属灯丝表面，只有动能大于逸出功的自由电子才能逸出，随着阴极灯丝温度升高，金属灯丝内的自由电子动能大于逸出功的电子越来越多，发射电流会越来越大。要获得大量的电子束流，需要对灯丝提供足够的加热电流，且加热电流需稳定，以保证发射电子束稳定可控。在电子逸出后，对电子进行引出和加速，以获得加速电子流，用于轰击被测样品，因此需要电子枪的高压供电电源系统，用于提供阴极灯丝的悬浮高压和引出电压，以实现加速电场和引出电场。
[0003]灯丝发射电流影响电子能量及电流密度，进而影响设备测量结果的准确性。传统的测量方法测量阳极板接收电子电流大小作为灯丝发射电流，响应速度较本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子枪高压电源装置，其特征在于，所述装置包括控制单元、供电单元和电流检测单元，所述供电单元的输入端连接所述控制单元，所述供电单元的输出端连接所述电流检测单元，用于为所述电流检测单元提供多种所需电压；所述电流检测单元的第一端和反馈端均连接所述控制单元，所述电流检测单元的第二端作为所述装置的检测端连接电子枪的阴极灯丝；所述电流检测单元包括第二隔离变压器、第二整流电路、第二滤波电路、加热电流检测电路、发射电流检测电路、模数转换器和光耦隔离模块；所述第二隔离变压器的初级线圈作为所述电流检测单元的第一端，连接位于低压侧的所述控制单元，所述第二隔离变压器的次级线圈依次与位于高压侧的所述第二整流电路和第二滤波电路相连，所述第二滤波电路的第一端作为所述电流检测单元的第二端连接阴极灯丝正极，给所述阴极灯丝提供所述加热电流，所述第二滤波电路的第二端依次与所述加热电流检测电路、发射电流检测电路相连，所述发射电流检测电路的输入端作为所述电流检测单元的第二端连接阴极灯丝负极，所述发射电流检测电路的输入端还连接悬浮高压；所述加热电流检测电路和发射电流检测电路的输出端依次连接所述模数转换器和光耦隔离模块，所述光耦隔离模块的输出端作为所述电流检测单元的反馈端连接位于低压侧的所述控制单元，所述控制单元基于反馈的电压检测信号进行加热电流和发射电流的实时计算。2.根据权利要求1所述的电子枪高压电源装置，其特征在于，所述供电单元包括第一隔离变压器、第一整流电路、第一滤波电路和电压转换器，所述第一隔离变压器的初级线圈作为所述供电单元的输入端，连接位于低压侧的所述控制单元，所述第一隔离变压器的次级线圈依次与位于高压侧的所述第一整流电路、第一滤波电路和电压转换器相连，所述电压转换器的各个输出端作为所述供电单元的输出端，连接所述电流检测单元的电源端。3.根据权利要求1所述的电子枪高压电源装置，其特征在于，所述加热电流检测电路包括第一运算放大器、三个电阻和第一电容；所述第一运算放大器的同相输入端连接第一电阻的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿晓杨，黄钧宇，陈学文，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：