用于电子元器件制造的半导体加工制造设备制造技术

技术编号:35741830 阅读:10 留言:0更新日期:2022-11-26 18:45
本发明专利技术涉及电子元件加工附属装置的技术领域,特别是涉及用于电子元器件制造的半导体加工制造设备,其结构简单,在箱盖打开过程中,可自动将芯片释放,并使其上升一段距离方便拿取,在箱盖关闭过程中,可自动将芯片夹紧,提高固定效果;包括:放置箱,放置箱内部中空顶部开口,开口处通过合页转动安装有箱盖;放置箱内底部若干个用于放置芯片的放置机构;放置机构包括固定在放置箱内底部的呈T型的环体,环体内壁上固定连接用于支撑芯片的支撑环,环体上开设缺口,还包括顶起座,顶起座处于支撑环的内侧,并且顶起座上固定连接穿过缺口的连接架,环体的前后左右端均开设第一长条孔,每个第一长条孔处均滑动安装滑块,滑块底端设置第一驱动轴。一驱动轴。一驱动轴。

【技术实现步骤摘要】
用于电子元器件制造的半导体加工制造设备


[0001]本专利技术涉及电子元件加工附属装置的
,特别是涉及用于电子元器件制造的半导体加工制造设备。

技术介绍

[0002]芯片,是电子元器件的一个重要组成部件,又称微电路、微芯片、集成电路,是指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分。
[0003]现有技术中,半导体加工制造过程中,需要将芯片进行存放,传统的芯片存放装置,大多都是通过弹簧对芯片进行卡合固定,但是芯片容易从两个弹簧之间滑脱,固定效果不佳,并且当存放装置倾倒时,会导致芯片晃动甚至损坏,因此有必要研究出一种用于电子元器件制造的半导体加工制造设备来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题,本专利技术提供用于电子元器件制造的半导体加工制造设备,其结构简单,在箱盖打开过程中,可自动将芯片释放,并使其上升一段距离方便拿取,在箱盖关闭过程中,可自动将芯片夹紧,提高固定效果。
[0005]本专利技术的用于电子元器件制造的半导体加工制造设备,包括:
[0006]放置箱,放置箱内部中空顶部开口,开口处通过合页转动安装有箱盖;放置箱内底部若干个用于放置芯片的放置机构;
[0007]所述放置机构包括固定在放置箱内底部的呈T型的环体,环体内壁上固定连接用于支撑芯片的支撑环,环体上开设缺口,还包括顶起座,所述顶起座处于支撑环的内侧,并且顶起座上固定连接穿过缺口的连接架,环体的前后左右端均开设第一长条孔,每个第一长条孔处均滑动安装滑块,滑块底端设置第一驱动轴,环体上通过轴承转动安装有第一齿轮,第一齿轮的前后左右端均开设第二长条孔,第一驱动轴的一端穿过第二长条孔,滑块靠近顶起座一端固定连接过渡架,过渡架的另一端上固定连接夹紧板;
[0008]还包括用于驱动顶起座进行同步升降的驱动机构;
[0009]还包括用于驱动第一齿轮进行旋转的动力机构。
[0010]进一步地,所述驱动机构包括固定在箱盖上的连接块,放置箱内壁上滑动连接有第一移动块,第一移动块上固定连接驱动块,连接块和驱动块上转动安装有第一斜杆;
[0011]放置箱底部转动安装有空心轴,空心轴上开设呈螺旋状的驱动孔,所述驱动块上固定连接穿过驱动孔的第二驱动轴;
[0012]空心轴上固定连接第二锥齿轮,放置箱内壁上固定连接横板,横板上转动安装有转轴,转轴一端安装有与第二锥齿轮啮合的第三锥齿轮,转轴另一端安装有驱动臂,驱动臂的另一端固定连接第三驱动轴;
[0013]放置箱内壁上滑动连接有第二移动块,第二移动块上固定连接异形板,异形板上开设贯穿孔,贯穿孔包括水平段和圆弧形段,异形板上固定连接支架,所述连接架的另一端
固定在支架上;
[0014]第三驱动轴穿过贯穿孔。
[0015]进一步地,所述动力机构包括固定在放置箱底部的两个轨道,两个轨道上滑动安装有齿条组,所述齿条组与第一齿轮啮合,齿条组另一端固定连接固定架,固定架上转动安装有第二斜杆,放置箱内底部固定连接两组伸缩杆,两组伸缩杆的另一端固定连接压板,第二斜杆另一端与压板转动连接,伸缩杆上套装有弹簧;
[0016]第三驱动轴的另一端转动安装有与压板配合的滚轮。
[0017]进一步地,所述驱动孔的底端连通有呈竖直状的竖直孔。
[0018]进一步地,所述放置箱内部固定连接有呈L型的隔板,隔板上开设用于第一斜杆移动的预留孔。
[0019]进一步地,所述环体内壁前后左右端均开设用于容纳夹紧板的凹槽。
[0020]进一步地,所述放置箱内底部固定连接穿过支架的导向杆。
[0021]进一步地,所述放置箱内底部固定连接用于对压板进行限位的呈L型的挡板。
[0022]进一步地,所述放置箱上开设多个安装孔,并在安装孔处安装用于放置干燥剂且一端呈镂空状的干燥盒,并且干燥盒的另一端上通过螺钉安装有端盖。
[0023]与现有技术相比本专利技术的有益效果为:箱盖打开,各顶起座的顶端高于环体的高度,使用者将各芯片置于到顶起座上,然后关闭箱盖,在箱盖关闭过程中,驱动机构动作使过渡架、顶起座以及芯片向下移动一段距离后停止,支撑环将芯片支撑起来,随后驱动机构继续动作使动力机构动作驱动各第一齿轮同步进行旋转,由于滑块与环体滑动连接,且与滑块固定连接的第一驱动轴伸入到第一齿轮上的第二长条孔内,从而旋转的第二长条孔使滑块、第一驱动轴、过渡架以及夹紧板均向芯片一侧移动,使芯片在四个方向上被夹紧,在箱盖完全关闭后,使用者使用锁(未画出)将箱盖与放置箱锁闭,防止箱盖发生打开,以保证芯片不会发生松动;当箱盖打开时,各夹紧板首先脱离芯片,然后各顶起座将芯片顶起,并使芯片高于环体,更方便使用者取放芯片。
附图说明
[0024]图1是本专利技术的结构示意图;
[0025]图2是本专利技术的右前侧俯视立体图;
[0026]图3是图2隐藏隔板和部分放置箱后的结构图;
[0027]图4是图3中A部的局部放大图;
[0028]图5是图3中B部的局部放大图;
[0029]图6是图4中A部的局部放大图;
[0030]图7是空心轴、驱动孔、竖直孔、转轴、第二锥齿轮和第三锥齿轮等的左后侧俯视立体图;
[0031]附图中标记:1、放置箱;2、箱盖;3、环体;4、支撑环;5、顶起座;6、连接架;7、滑块;8、第一驱动轴;9、第一齿轮;10、第二长条孔;11、过渡架;12、夹紧板;13、连接块;14、第一移动块;15、驱动块;16、第一斜杆;17、空心轴;18、驱动孔;19、第二驱动轴;20、第二锥齿轮;21、转轴;22、第三锥齿轮;23、驱动臂;24、第三驱动轴;25、第二移动块;26、水平段;27、圆弧形段;28、支架;29、轨道;30、齿条;31、固定架;32、第二斜杆;33、伸缩杆;34、压板;35、弹簧;
36、滚轮;37、竖直孔;38、隔板;39、导向杆;40、挡板;41、干燥盒。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和实施例,对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术,但不用来限制本专利技术的范围。
[0033]在本专利技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0034]如图1至图7所示,本专利技术的用于电子元器件制造的半导体加工制造设备,包括:
[0035]放置箱1,放置箱1内部中空顶部开口,开口处通过合页转动安装有箱盖2;放置箱1内底部若干个用于放置芯片的放置机构;
[0036]放置机构包括固定在放置箱1内底部的呈T型的环体3,环体3内壁上固定连接用于支撑芯片的支撑环4,环体3上开设缺口,还包括顶起座5,顶起座本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于电子元器件制造的半导体加工制造设备,其特征在于,包括:放置箱(1),放置箱(1)内部中空顶部开口,开口处通过合页转动安装有箱盖(2);放置箱(1)内底部若干个用于放置芯片的放置机构;所述放置机构包括固定在放置箱(1)内底部的呈T型的环体(3),环体(3)内壁上固定连接用于支撑芯片的支撑环(4),环体(3)上开设缺口,还包括顶起座(5),所述顶起座(5)处于支撑环(4)的内侧,并且顶起座(5)上固定连接穿过缺口的连接架(6),环体(3)的前后左右端均开设第一长条孔,每个第一长条孔处均滑动安装滑块(7),滑块(7)底端设置第一驱动轴(8),环体(3)上通过轴承转动安装有第一齿轮(9),第一齿轮(9)的前后左右端均开设第二长条孔(10),第一驱动轴(8)的一端穿过第二长条孔(10),滑块(7)靠近顶起座(5)一端固定连接过渡架(11),过渡架(11)的另一端上固定连接夹紧板(12);还包括用于驱动顶起座(5)进行同步升降的驱动机构;还包括用于驱动第一齿轮(9)进行旋转的动力机构。2.如权利要求1所述的用于电子元器件制造的半导体加工制造设备,其特征在于,所述驱动机构包括固定在箱盖(2)上的连接块(13),放置箱(1)内壁上滑动连接有第一移动块,第一移动块上固定连接驱动块(15),连接块(13)和驱动块(15)上转动安装有第一斜杆(16);放置箱(1)底部转动安装有空心轴(17),空心轴(17)上开设呈螺旋状的驱动孔(18),所述驱动块(15)上固定连接穿过驱动孔(18)的第二驱动轴(19);空心轴(17)上固定连接第二锥齿轮(20),放置箱(1)内壁上固定连接横板,横板上转动安装有转轴(21),转轴(21)一端安装有与第二锥齿轮(20)啮合的第三锥齿轮(22),转轴(21)另一端安装有驱动臂(23),驱动臂(23)的另一端固定连接第三驱动轴(24);放置箱(1)内壁上滑动连接有第二移动块,第二移动块上固定连接异形板,异形板上开设贯穿孔,贯穿孔包括...

【专利技术属性】
技术研发人员:王鹏辉
申请(专利权)人:太原市致科胜工业设计有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1