一种具有尾气高效净化功能的环保型扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有尾气高效净化功能的环保型扩散炉，包括支撑板，所述支撑板顶部的左侧固定连接有扩散炉本体，所述支撑板顶部的右侧固定连接有净化箱，所述净化箱前侧的底部固定连接有过滤箱。本实用新型专利技术通过支撑板、扩散炉本体、净化箱、过滤箱、吸风管、驱动箱、输风管、第一电机、第一齿轮、第二齿轮、支撑管、过滤筒、支撑箱、第二电机、凸轮、推杆、横杆、刷板、弹簧、第三电机、搅拌杆、固定箱和吸风机的配合使用，具备尾气高效净化功能的优点，解决了现有的扩散炉在使用的过程中，对尾气的过滤效果较差，尾气中会含有一定的有毒有害物质，直接排放会对环境造成污染，从而无法满足实际使用需求的问题。实际使用需求的问题。实际使用需求的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种具有尾气高效净化功能的环保型扩散炉


[0001]本技术涉及扩散炉
，具体为一种具有尾气高效净化功能的环保型扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，控制部分包括：温控器、功率部件、超温保护部件、系统控制，系统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分，是氧化系统的控制中心，然而现有的扩散炉在使用的过程中，对尾气的过滤效果较差，尾气中会含有一定的有毒有害物质，直接排放会对环境造成污染，从而无法满足实际使用需求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种具有尾气高效净化功能的环保型扩散炉，具备尾气高效净化功能的优点，解决了现有的扩散炉在使用的过程中，对尾气的过滤效果较差，尾气中会含有一定的有毒有害物质，直接排放会对环境造成污染，从而无法满足实际使用需求的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有尾气高效净化功能的环保本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有尾气高效净化功能的环保型扩散炉，包括支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）顶部的左侧固定连接有扩散炉本体（2），所述支撑板（1）顶部的右侧固定连接有净化箱（3），所述净化箱（3）前侧的底部固定连接有过滤箱（4），所述过滤箱（4）底部的左侧连通有吸风管（5），所述吸风管（5）远离过滤箱（4）的一端与扩散炉本体（2）连通，所述过滤箱（4）的顶部固定连接有驱动箱（6），所述驱动箱（6）的顶部连通有输风管（7），所述输风管（7）远离驱动箱（6）的一端与净化箱（3）连通，所述驱动箱（6）内腔顶部的左侧固定连接有第一电机（8），所述第一电机（8）的输出端固定连接有第一齿轮（9），所述第一齿轮（9）的右侧啮合有第二齿轮（10），所述第二齿轮（10）的轴心处固定连接有支撑管（11），所述支撑管（11）表面的底部固定连接有过滤筒（12），所述过滤筒（12）的底部贯穿至过滤箱（4）的内腔，所述过滤箱（4）右侧的底部固定连接有支撑箱（13），所述支撑箱（13）内腔的后侧固定连接有第二电机（14），所述第二电机（14）的输出端固定连接有凸轮（15），所述凸轮（15）的左侧设置有推杆（16），所述推杆（16）的左侧固定连接有横杆（17），所述横杆（17）的左侧贯穿至过滤箱（4）的内腔并固定连接有刷板（18），所述推杆（16）左侧的顶部和底部均固定连接有弹簧（19）...

【专利技术属性】
技术研发人员：李训宏，
申请(专利权)人：山西绿华环保科技永和有限公司，
类型：新型
国别省市：