光学系统和光刻设备技术方案

一种光学系统(200)包括至少一个反射镜(210)以及至少一个致动器装置(220)，该反射镜(210)具有反射镜主体(212)和反射镜表面(214)，该至少一个致动器装置(220)耦合到反射镜主体(212)且用于使反射镜表面(214)变形。致动器装置(220)包括：至少一个电致伸缩致动器元件(222)，用于在反射镜主体(212)中生成用于取决于电驱动电压(VS)使反射镜表面(214)变形的机械应力；至少一个电致伸缩传感器元件(224)，用于取决于传感器元件(224)的变形输出传感器信号(SS)，其中至少一个传感器元件(224)布置成直接相邻于致动器元件(222)，和/或布置成使得至少一个传感器元件(224)至少部分地配置用于将致动器元件(222)生成的机械应力转移到反射镜主体(212)。力转移到反射镜主体(212)。力转移到反射镜主体(212)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学系统和光刻设备
[0001]本专利技术涉及光学系统并且涉及具有这种光学系统的光刻设备。
[0002]通过引文将优先权申请DE 10 2020 201724.7的内容全部并入本文。
[0003]微光刻用于制造微结构化部件，诸如集成电路。使用具有照明系统和投射系统的光刻设备执行微光刻过程。凭借照明系统照明的掩模(掩模母版)的像，在这种情况下，凭借投射系统投射至涂覆有感光层(光刻胶)且布置在投射系统的像平面中的基板(例如硅晶片)上，以便将掩模结构转印至基板的感光涂层。
[0004]反射镜是已知的，其反射镜表面可以凭借适当布置的致动器以有针对性的方式变形。这允许校正或补偿光学成像误差，也称为像差。像差可以有不同的来源，特别是温度波动会导致机械应力，这会使光学元件的支持件和/或光学元件本身畸变，因此所讨论的光学元件的光学性质会发生改变。例如，在天文学中使用这种反射镜，其中术语自适应光学已经确立。在此，用测量光扫描反射镜表面，并确定与理想形状的偏差。因此，可以设置闭环控制电路，该电路基于所确定的偏差驱动对应的致动器，从而使反射镜表面更接近其理想形状。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学系统(200)，具有至少一个反射镜(210)，所述反射镜(210)具有反射镜主体(212)和反射镜表面(214)，并且所述光学系统具有耦合到所述反射镜主体(212)、用于使所述反射镜表面(214)变形的至少一个致动器装置(220)，其中所述致动器装置(220)包括：至少一个电致伸缩致动器元件(222)，用于在所述反射镜主体(212)中产生用于取决于电驱动电压(VS)使所述反射镜表面(214)变形的机械应力，至少一个电致伸缩传感器元件(224)，用于取决于所述传感器元件(224)的变形输出传感器信号(SS)，其中所述至少一个传感器元件(224)布置成直接邻接所述致动器元件(222)，和/或布置在所述反射镜主体(212)的背离所述反射镜表面(214)的一侧，并且至少由所述致动器元件(222)与所述反射镜主体(212)隔开和/或布置成使得所述至少一个传感器元件(224)至少部分地设置用于将所述致动器元件(222)产生的机械应力转移到所述反射镜主体(212)，并且其中所述致动器装置(220)耦合到所述反射镜主体(212)，使得所述反射镜表面(214)取决于所述致动器元件(222)的电驱动电压(VS)可变形。2.根据权利要求1所述的光学系统，还包括闭环控制单元，用于取决于所述传感器元件(224)输出的所述传感器信号(SS)控制所述致动器元件(222)的驱动电压(VS)，使得在所述反射镜主体(212)中实现预先确定的机械应力。3.根据权利要求1或2所述的光学系统，其中，所述至少一个致动器元件(222)和所述至少一个传感器元件(224)被单片地制造。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学系统，其中，所述至少一个致动器元件(222)和所述至少一个传感器元件(224)集成在布置在所述反射镜(210)上的层(221)中，在所述反射镜主体(212)的背离所述反射镜表面(214)的一侧。5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学系统，其中，所述至少一个传感器元件(224)至少部分地布置在沿所述反射镜表面(214)的表面法线的方向上、在所述至少一个致动器元件(222)和所述反射镜主体(212)之间。6.根据权利要求1至5中任一项所述的光学系统，其中，所述至少一个致动器元件(222)和所述至少一个传感器元件(224)各自包括电致伸缩材料的至少一个层(L1、...、Ln)。7.根据权利要求6所述的光学系统，其中，所述至少一个致动器元件(222)具有电致伸缩材料的多个层(L1、...、Ln)，其中多个层中的每一个层(L1、...、Ln)具有分配的阴极(K1
‑
Kn)和分配的阳极(A1
‑
An)并且用相应的驱动电压(VS)可驱动。8.根据权利要求6和7中任一项所述的光学系统，其中，所述至少一个致动器元件(222)和所述至少一个传感器元件(224)形成包括至少两个层(L1、...、Ln)的层堆叠体(SL)。9.根据权利要求1
‑
8中任一项所述的光学系统，其中，所述致动器装置(220)具有至少两个传感器元件(224)，其中所述至少两个传感器元件(224)的电致伸缩材料的材料成分不同，其中，所述至少两个传感器元件(224)中的每一个设置为用于输出传感器信号(SS)。10.根据权利要求9所述的光学系统，其中，提供确定单元(230)，用于取决于从所述至少两个传感器元件(224)输出的传感器信号(SS)确定所述反射镜主体(212)中的温度。11.根据权利要求9或10所述的光学系统，其中，提供测量单元，用于将测量交替电压(VM)施加到所述至少两个传感器元...

【专利技术属性】
技术研发人员：M曼格，M拉布，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：