一种扩散炉管道清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉管道清洗设备，包括清洗套，所述清洗套外壁固定连接有多个清洗块，所述清洗套内壁设有基管，所述基管内设有限位槽，所述限位槽内壁底部转动连接有转动杆，所述基管周侧嵌有多个安装槽，所述转动杆通过安装槽、限位机构与清洗套内壁固定连接，所述基管一侧固定连接有定位杆，所述限位机构包括与安装槽固定连接的安装箱，所述安装箱内壁固定连接有弹簧，本实用新型专利技术中限位机构的设置便于更好的对清洗套进行限位，便于更好的将清洗套带入基管内部，弹簧的设置便于更好的带动清洗套怼向管道，便于更好的对管道进行清洗，限位珠的设置便于更好的减少滑块与安装箱之间的摩擦力。箱之间的摩擦力。箱之间的摩擦力。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉管道清洗设备


[0001]本技术涉及管道清洗领域，特别是涉及一种扩散炉管道清洗设备。

技术介绍

[0002]半导体元器件扩散行业中，扩散炉石英管道及碳化硅管道的颗粒度是重要的工艺指标，为保证扩散炉管道的颗粒度，定期会对扩散炉管道进行清洗。
[0003]现有的管道清洗机构在使用的过程中难以将清洗机构插入其管体内部，从而我们设计一种扩散炉管道清洗设备。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是；现有的管道清洗机构在使用的过程中难以将清洗机构插入其管体内部。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种扩散炉管道清洗设备，包括清洗套，所述清洗套外壁固定连接有多个清洗块，所述清洗套内壁设有基管，所述基管内设有限位槽，所述限位槽内壁底部转动连接有转动杆，所述基管周侧嵌有多个安装槽，所述转动杆通过安装槽、限位机构与清洗套内壁固定连接，所述基管一侧固定连接有定位杆；
[0006]所述限位机构包括与安装槽固定连接的安装箱，所述安装箱内壁固定连接有弹簧，所述弹簧另一端固定连接有滑块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉管道清洗设备，包括清洗套(1)，其特征在于：所述清洗套(1)外壁固定连接有多个清洗块(2)，所述清洗套(1)内壁设有基管(3)，所述基管(3)内设有限位槽(4)，所述限位槽(4)内壁底部转动连接有转动杆(5)，所述基管(3)周侧嵌有多个安装槽(7)，所述转动杆(5)通过安装槽(7)、限位机构(8)与清洗套(1)内壁固定连接，所述基管(3)一侧固定连接有定位杆(6)；所述限位机构(8)包括与安装槽(7)固定连接的安装箱(801)，所述安装箱(801)内壁固定连接有弹簧(802)，所述弹簧(802)另一端固定连接有滑块(803)，所述滑块(803)周侧嵌有多个限位珠(804)，所述滑块(803)另一端贯穿安装箱(801)并与清洗套(1)内壁固定连接，所述滑块(803)靠近弹簧(802)的一端固定连接有拉绳(805)，所述拉绳(805)另一端贯穿安装箱(801)并与转动杆(5)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉管道清洗设备，其特征在于：所述清洗套(1)的断面呈圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦有贵，辛奇，胡凯，徐峰，杨军，闫乐成，秦宝宏，
申请(专利权)人：上海芯立电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：