载体玻璃及其制造方法技术

本发明专利技术的载体玻璃为用于搬送有机树脂基板的载体玻璃，其特征在于，为板厚0.1～1.2mm的平板形状，玻璃中的铁含量以Fe2O3换算计为45～130质量ppm，且波长308nm下的板厚方向的透射率为71～81％。透射率为71～81％。

【技术实现步骤摘要】
载体玻璃及其制造方法
[0001]本申请是申请号：201880027633.8，PCT申请号：PCT/JP2018/016539，申请日：2018.4.24，专利技术名称：“载体玻璃及其制造方法”的申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及一种载体玻璃及其制造方法，具体而言，涉及一种用于搬送有机树脂基板的载体玻璃及其制造方法。

技术介绍

[0003]有机EL显示器等电子器件为薄型且影像显示优异、并且耗电也少，因此被用于移动电话的显示器等用途。目前，有机EL显示器的基板广泛使用玻璃板。
[0004]近年来，使用有机树脂基板作为基板来制作具有可挠性的有机EL显示器受到关注。然而，有机树脂基板具有可挠性，因此难以将半导体膜直接成膜。因此，需要在使有机树脂基板层叠于载体玻璃上的状态下将半导体膜成膜于有机树脂基板上的工序。
[0005]对该用途的载体玻璃要求下述的特性(1)、(2)。
[0006](1)为了防止碱离子在利用热处理工序成膜而成的半导体膜中扩散的情况，碱金属氧化物的含量少；
[0007](2)生产率优异，例如熔融性、澄清性、耐失透性优异。
[0008]另外，使用有机树脂基板的有机EL显示器主要在智能电话等移动终端中使用，因此要求高分辨率。因此，显示器驱动用的薄膜晶体管中使用LTPS(Low Temperature Poly
‑
silicon，低温多晶硅)或氧化物半导体。
[0009]通常，有机树脂基板的耐热性低，因此在制作LTPS的高温的热处理工序等中无法维持其功能。但是，若利用载体玻璃进行保持，则在一部分树脂(例如聚酰亚胺等耐热性树脂)中，可以不损害其功能地进行热处理。
[0010]根据这种情况，对该用途的载体玻璃还要求(3)耐热性高。具体而言，要求在600℃左右的热处理中难以产生尺寸变化。需要说明的是，若在制作LTPS的高温的热处理工序等中载体玻璃发生尺寸变化，则难以在有机树脂基板上制作高精细的晶体管结构。
[0011]现有技术文献
[0012]专利文献
[0013]专利文献1：日本特表2016
‑
530195号公报

技术实现思路

[0014]专利技术所要解决的课题
[0015]另外，在将半导体膜成膜于有机树脂基板上后，在将载体玻璃与有机树脂基板分离时，使用波长308nm的激光。因此，对载体玻璃除了要求所述要求特性(1)～(3)以外，还要求(4)为了提高激光的利用效率，波长308nm下的透射率高。
[0016]波长308nm下的透射率大大受到作为玻璃中的杂质的铁的影响。即，玻璃中存在的
Fe
3+
在波长308nm附近示出吸收，因此若其含量多，则波长308nm下的透射率会降低。因此，为了满足要求特性(4)，重要的是尽量减少玻璃中存在的Fe
3+
的含量。
[0017]但是，Fe2O3是作为澄清剂发挥作用的成分。若极度减少Fe2O3的含量，则澄清效果变得不充分，因此容易产生泡不良，载体玻璃的生产率降低。尤其是，若为了提高耐热性而使载体玻璃高应变点化，则熔融温度变高，该问题容易显著化。
[0018]本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其技术课题是专利技术出波长308nm下的透射率高、而且生产率(尤其是澄清性)优异的载体玻璃。
[0019]用于解决课题的手段
[0020]本专利技术人反复进行了多种实验，结果发现，通过严格限制玻璃中的铁含量、并且严格限制紫外区域中的透射率，可解决上述技术课题，从而作为本专利技术提出。即，本专利技术的载体玻璃为用于搬送有机树脂基板的载体玻璃，并且所述载体玻璃的特征在于，为板厚0.1～1.2mm的平板形状，玻璃中的铁含量以Fe2O3换算计为45～130质量ppm，且波长308nm下的板厚方向的透射率为71～81％。在此，“波长308nm下的板厚方向的透射率”是指利用数学公式1算出的内部透射率，例如可利用岛津制作所公司制造的UV
‑
3100PC进行测定。所谓“～换算”，是指即使是价数与表述的氧化物不同的氧化物，也换算为表述的氧化物来进行处理。
[0021](数学公式1)
[0022]logT
in
＝log(I1/I0)
‑
logR
[0023]logT
in
：内部透射率(％)
[0024]I0：入射光的强度(％)
[0025]I1：透射特定的光程长度后的光的强度(％)
[0026]R：反射引起的光的衰减率(％)
[0027]另外，本专利技术的载体玻璃优选玻璃组成中的Li2O+Na2O+K2O的含量小于0.20质量％。在此，“Li2O+Na2O+K2O”是指Li2O、Na2O和K2O的合计量。
[0028]另外，本专利技术的载体玻璃优选β
‑
OH值为0.20/mm以下。在此，“β
‑
OH值”是使用FT
‑
IR并利用下述数学公式2而算出的值。
[0029](数学公式2)
[0030]β
‑
OH值＝(1/X)log(T1/T2)
[0031]X：板厚(mm)
[0032]T1：参照波长3846cm
‑1下的透射率(％)
[0033]T2：羟基吸收波长3600cm
‑1附近的最小透射率(％)
[0034]另外，本专利技术的载体玻璃优选作为玻璃组成以下述氧化物换算的质量％计含有SiO
2 55～65％、Al2O
3 15～23％、B2O
3 0～7％、Li2O+Na2O+K2O 0％以上且小于0.20％、MgO 0～6％、CaO 0.1～10％、SrO 0～10％、BaO 0～13％、Fe2O
3 60～130ppm、As2O
3 0％以上且小于0.010％、Sb2O
3 0％以上且小于0.010％。
[0035]另外，本专利技术的载体玻璃优选自常温以5℃/分钟的速度升温并在500℃下保持1小时进而以5℃/分钟的速度降温时的热收缩率为20ppm以下。在此，“热收缩率”按照如下方式算出。首先，在试样的规定部位标入直线状的标记后，将该试样相对于标记垂直折叠，并分割为2个玻璃片。然后，仅对其中一个玻璃片进行规定的热处理(自常温以5℃/分钟的速度升温并在500℃下保持1小时进而以5℃/分钟的速度降温)。其后，将实施了热处理的玻璃片
与未热处理的玻璃片并列，利用胶带T将两者固定后，测定标记的偏差。在将标记的偏差设为ΔL且将热处理前的试样的长度设为L0时，利用ΔL/L0(单位：ppm)的式子算出热收缩率。
[0036]另外，本专利技术的载体玻璃优选液相温度为1300℃以下。在此，“液相温度”可通过以下方法算出：将通过标准筛30目(500μm)而残留于50目(300μm)的玻璃粉末装入铂舟后，在温度梯度炉中保持24小时，并测定结晶析出的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载体玻璃，其为用于搬送有机树脂基板的载体玻璃，其特征在于，为板厚0.1mm～1.2mm的平板形状，玻璃中的铁含量以Fe2O3换算计为45质量ppm～130质量ppm，且波长308nm下的板厚方向的透射率为71％～81％。2.如权利要求1所述的载体玻璃，其特征在于，玻璃组成中的Li2O+Na2O+K2O的含量小于0.20质量％。3.如权利要求1或2所述的载体玻璃，其特征在于，β
‑
OH值为0.20/mm以下。4.如权利要求1～3中任一项所述的载体玻璃，其特征在于，作为玻璃组成以下述氧化物换算的质量％计含有SiO
2 55％～65％、Al2O
3 15％～23％、B2O
3 0％～7％、Li2O+Na2O+K2O 0％以上且小于0.20％、MgO 0％～6％、CaO 0.1％～10％、SrO 0％～10％、BaO 0％～13％、Fe2O
3 60ppm～130ppm、As2O
3 0％以上且小于0.010％、Sb2O
3 0％以上且小于0.010％。5.如权利要求1～4中任一项所述的载体玻璃，其特征在于，自常温以5℃/分钟的速度升温并在500℃下保持1小时进而以5℃/分钟的速度降温时的热收缩率为20ppm以下。6.如权利要求1～5中任一项所述的载体玻璃，其特征在于，液相温度为1300℃以下。7.如权利要求1～6中任一项所述的载体玻璃，其特征在于，高温粘度10<...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤敦己，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：