一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法技术

本发明专利技术属于微纳测量技术领域，具体公开一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法，1.包括以下步骤：步骤1，放置氧化锌样品；对氧化锌样品进行抛光，将抛光面记为X

【技术实现步骤摘要】
一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法


[0001]本专利技术属于微纳测量
，具体涉及一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法。

技术介绍

[0002]多晶压敏功能材料表现出的优异的非线性电导特性，本质上是内部晶界的耦合作用结果。目前，对于晶界的研究，大多是针对晶界电性能进行测量，缺少晶界结构自动表征的研究，更缺失晶界三维结构的数据，导致无法解释其与晶界电性能的关系。此外，晶界结构研究时，主要是表征其二维表面形状，无法实现晶界长度的测量，更缺少晶界三维长度的表征方法和数据，而且表征方式单一。晶界测量研究时，大多采用的是手动测量，无法满足自动测量与表征晶界的需要，更不能对晶界立体高度进行自动测量。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法。
[0004]基于上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法，包括以下步骤：步骤1，放置氧化锌样品；对氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
X
y1n
进行第三组位置点处的晶界的Z 向高度探测；（4.3）最后控制纳米机器人末端移动至位置点X
y21
的正上方，并控制纳米机器人末端沿Z向向下移动直至接触位置点X
y21
处的晶界，对位置点X
y21
处的晶界进行Z向高度探测；（4.4）再控制纳米机器人末端依次沿位置点X
y22
, X
y23
,
ꢀ……
, X
y2n
进行第四组位置点处的晶界的Z 向高度探测。6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，在步...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹宁，沈斐玲，
申请(专利权)人：郑州轻工业大学，
类型：发明
国别省市：