本实用新型专利技术属于砷化镓废料分离设备领域，公开了一种砷化镓废料分离装置，包括密封箱体，所述密封箱体一侧设有进料口，所述进料口内设有密封塞，所述密封箱体的底部连接有第一加热机构，所述密封箱体的顶部安装有收集机构，所述收集机构包括连接管、冷却组件、活塞和活塞杆，所述密封箱体的顶部设有通孔，所述连接管通过控制机构与通孔连通，所述活塞与连接管滑动密封连接，所述活塞杆一端与活塞远离通孔的一端固定连接，另一端伸出连接管外，所述连接管为双层管壁，所述冷却组件安装于双层管壁之间。本实用新型专利技术通过收集机构的设置，能够将砷化镓废料中的砷进行快速分离回收，同时能够有效避免砷蒸气外泄污染环境。够有效避免砷蒸气外泄污染环境。够有效避免砷蒸气外泄污染环境。
【技术实现步骤摘要】
一种砷化镓废料分离装置
[0001]本技术涉及砷化镓废料分离设备领域，具体涉及一种砷化镓废料分离装置。
技术介绍
[0002]砷化镓，化学式GaAs，黑灰色固体，砷化镓是一种重要的半导体材料，砷化镓可以制成电阻率比硅、锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料，用来制作集成电路衬底、红外探测器、γ光子探测器等，由于其电子迁移率比硅大5～6倍，故在制作微波器件和高速数字电路方面得到重要应用，在砷化镓晶片生产过程中，会产生大量的砷化镓废料。
[0003]目前的砷化镓废料分离装置，大都是通过加热使砷化镓中的砷升华，然后通过冷却设备使砷蒸气冷凝，从而达到分离的目的，然而现有的分离装置效率较低，且在收集砷的过程中，容易导致砷再次升华，导致砷流失。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中的技术问题，本技术提供一种砷化镓废料分离装置，包括密封箱体，所述密封箱体一侧设有进料口，所述进料口内设有密封塞，所述密封箱体的底部连接有第一加热机构，所述密封箱体的顶部安装有收集机构，所述收集机构包括连接管、冷却组件、活塞和活塞杆，所述密封箱体的顶部设有通孔，所述连接管通过控制机构与通孔连通，所述活塞与连接管滑动密封连接，所述活塞杆一端与活塞远离通孔的一端固定连接，另一端伸出连接管外，所述连接管的管壁为双层管壁，所述冷却组件安装于双层管壁之间。
[0005]优选的，所述双层管壁内还安装有第二加热机构，所述第二加热机构与冷却组件之间通过挡板隔离，所述第二加热机构安装于冷却组件与通孔之间。
[0006]优选的，所述通孔内设有单向阀，所述单向阀的开启方向为由密封箱体至连接管。
[0007]优选的，所述控制机构包括导管、导柱、挡塞和驱动组件，所述导管一端与通孔连通，另一端内壁上设有台阶孔，所述台阶孔与连接管密封连接，所述导柱安装于导管内，且导柱的直径小于导管的内径，所述挡塞安装于导柱的端部，所述挡塞的直径大于导管的内径且小于台阶孔的内径，所述导柱在驱动组件的带动下与导管滑动连接。
[0008]优选的，所述驱动组件包括支架、弹簧、电磁铁和吸块，所述弹簧一端与导柱远离挡塞的一端固定连接，另一端通过支架与导管固定连接，所述吸块安装于挡塞远离导柱的一端，所述电磁铁安装于连接管上，所述电磁铁和吸块的吸合力大于弹簧的弹力，当所述电磁铁与吸块分离时，所述挡塞在弹簧的弹力作用下与台阶孔密封连接。
[0009]优选的，所述挡塞与台阶孔接触的一端设有密封垫。
[0010]有益效果：
[0011]1、在本技术中，通过第一加热机构的设置，能够对密封箱体内的砷化镓废料进行加热，使得砷升华；通过收集机构的设置，能够提高收集效率，同时避免砷蒸气外泄，具体通过活塞杆带动活塞可以在连接管内产生负压，从而加快砷蒸气的流动，然后通过连接管内的冷却装置对砷蒸气进行骤冷，使其凝结，从而进行回收，本技术直接将砷蒸气吸
进连接管内在进行冷却，一方面可以方便砷蒸气凝结后的收集，另一方面可以避免砷蒸气在冷却过程中外泄，保护环境的同时提高回收的效率。
[0012]2、在本技术中，通过第二加热机构的设置，可以避免砷蒸气在通孔处凝结造成通孔堵塞；通过单向阀的设置，可以避免砷蒸气回流。
[0013]3、在本技术中，通过导管、导柱、挡塞和驱动组件的设置，可以方便对通孔进行启闭控制，避免在收集机构拆卸时砷蒸气外泄，具体当连接管与台阶孔配合时，首先将电磁铁通磁，电磁铁和吸块在磁力的作用下克服弹簧的弹力吸合，挡塞与台阶孔分离，砷蒸气通过导柱与导管之间的间隙进入连接管内，当收集完毕需要拆卸连接管时，只需断开电磁铁磁性，挡塞将在弹簧弹力作用下与台阶孔贴合密封；结合密封垫的设置，可以提高密封效果，进一步避免砷蒸气外泄。
附图说明
[0014]图1为本技术通孔处于关闭状态时整体结构剖视图；
[0015]图2为本技术通孔处于开启状态时整体结构剖视图；
[0016]图3为图1中A处详细结构示意图；
[0017]图4为图3中B处详细结构示意图。
[0018]图中：1、密封箱体；11、进料口；12、通孔；2、第一加热机构；3、收集机构；31、连接管；32、冷却组件；33、活塞；34、活塞杆；4、控制机构；41、导管；411、台阶孔；42、导柱；43、挡塞；44、支架；45、弹簧；46、电磁铁；47、吸块；5、第二加热机构；6、挡板；7、单向阀。
具体实施方式
[0019]下面结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域的技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术的保护范围。
[0020]本技术提供一种砷化镓废料分离装置，如图1、图2、图3所示，包括密封箱体1，所述密封箱体1一侧设有进料口11，所述进料口11内设有密封塞，所述密封箱体1的底部连接有第一加热机构2，所述密封箱体1的顶部安装有收集机构3，所述密封箱体1还连接有抽真空装置，通过抽真空装置实现密封箱体1内部的真空环境，所述收集机构3包括连接管31、冷却组件32、活塞33和活塞杆34，所述密封箱体1的顶部设有通孔12，所述连接管31通过控制机构4与通孔12连通，所述活塞33与连接管31滑动密封连接，所述活塞杆34一端与活塞33远离通孔12的一端固定连接，另一端伸出连接管31外，所述连接管31的管壁为双层结构，所述冷却组件32安装于双层管壁之间，冷却组件32为常规的砷蒸气冷却装置，其中靠近管内的管壁厚度可以适当薄一点，便于冷热的传导。
[0021]在本实施例中，通过第一加热机构2的设置，能够对密封箱体1内的砷化镓废料进行加热，使得砷升华；通过收集机构3的设置，能够提高收集效率，同时避免砷蒸气外泄，具体通过活塞杆34带动活塞33可以在连接管31内产生负压，从而加快砷蒸气的流动，然后通过连接管31内的冷却装置对砷蒸气进行骤冷，使其凝结，从而进行回收，本技术直接将砷蒸气吸进连接管31内在进行冷却，一方面可以方便砷蒸气凝结后的收集，另一方面可以
避免砷蒸气在冷却过程中外泄，保护环境的同时提高回收的效率。
[0022]优选的，如图3、图4所示，双层管壁内还安装有第二加热机构5，所述第二加热机构5与冷却组件32之间通过挡板6隔离，所述第二加热机构5安装于冷却组件32与通孔12之间；所述通孔12内设有单向阀7，所述单向阀7的开启方向为由密封箱体1至连接管31。
[0023]在本实施例中，通过第二加热机构5的设置，可以避免砷蒸气在通孔12处凝结造成通孔12堵塞；通过单向阀7的设置，可以避免砷蒸气回流。
[0024]优选的，如图1、图3、图4所示，所述控制机构4包括导管41、导柱42、挡塞43和驱动组件，所述导管41一端与通孔12连通，另一端内壁上设有台阶孔411，所述台阶孔411与连接管31密封连接，所述导柱4本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种砷化镓废料分离装置，包括密封箱体(1)，所述密封箱体(1)一侧设有进料口(11)，所述进料口(11)内设有密封塞，所述密封箱体(1)的底部连接有第一加热机构(2)，所述密封箱体(1)的顶部安装有收集机构(3)，其特征在于，所述收集机构(3)包括连接管(31)、冷却组件(32)、活塞(33)和活塞杆(34)，所述密封箱体(1)的顶部设有通孔(12)，所述连接管(31)通过控制机构(4)与通孔(12)连通，所述活塞(33)与连接管(31)滑动密封连接，所述活塞杆(34)一端与活塞(33)远离通孔(12)的一端固定连接，另一端伸出连接管(31)外，所述连接管(31)的管壁为双层管壁，所述冷却组件(32)安装于双层管壁之间。2.根据权利要求1所述的一种砷化镓废料分离装置，其特征在于，所述双层管壁内还安装有第二加热机构(5)，所述第二加热机构(5)与冷却组件(32)之间通过挡板(6)隔离，所述第二加热机构(5)安装于冷却组件(32)与通孔(12)之间。3.根据权利要求1或2所述的一种砷化镓废料分离装置，其特征在于，所述通孔(12)内设有单向阀(7)，所述单向阀(7)的开启方向为由密封箱体(1)至连接管(31)。4.根据权利要求1所述的一种砷化镓废料分离装置，其特征在于，所述控制...
【专利技术属性】
技术研发人员：秦海辰，
申请(专利权)人：林西金易来砷业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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