本发明专利技术公开了一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括反应箱，所述反应箱的上侧壁设有混合罐，所述混合罐的上侧壁固定有输出端与其内部连通的增压泵，所述混合罐的外壁上连接有进气管一和进气管二，所述反应箱内固定有用于气相沉淀的沉淀盘，所述反应箱内安装有两组联动机构，两组所述联动机构包括位于右侧的两个皮带辊一以及左侧的两个皮带辊二，两个所述皮带辊一以及两个皮带辊二之间均固定有连杆。本发明专利技术通过刮板的运动实现沉淀盘表面的不断清洁，避免了沉淀盘堵塞，并将沉淀的物料刮下后分开存放在收集槽，避免了单一收集槽存放过重，便于后续的取出。便于后续的取出。便于后续的取出。
【技术实现步骤摘要】
一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置
[0001]本专利技术涉及气相沉淀
，尤其涉及一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。
[0003]CN107502872B公开了一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括固定在地面上的下气室和反应腔室，所述下气室一侧外壁开有第一通孔，且第一通孔内壁套接有水蒸气管，所述下气室靠近水蒸气管一侧外壁开有第二通孔，且第二通孔内壁套接有Zn(C2H5)2气管，所述上气室顶部外壁开有第三通孔，且Zn(C2H5)2气管远离下气室一端套接在第三通孔内壁上，所述反应腔室内壁两侧卡接有同一沉淀板，且反应腔室内壁一侧开有第四通孔；但存在以下缺陷：不能进行沉淀盘表面的清洁，沉淀盘容易出现堵塞，影响后续的气相沉淀效果。
[0004]为解决上述问题，我们提出了一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是为了解决
技术介绍
中的问题，而提出的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括反应箱，所述反应箱的上侧壁设有混合罐，所述混合罐的上侧壁固定有输出端与其内部连通的增压泵，所述反应箱内转动安装有喷头，所述混合罐的下端外壁连接有软管，所述软管的端部贯穿延伸至反应箱内与喷头连接，所述混合罐的外壁上连接有进气管一和进气管二，所述反应箱内固定有用于气相沉淀的沉淀盘，所述反应箱内安装有两组联动机构，两组所述联动机构包括位于右侧的两个皮带辊一以及左侧的两个皮带辊二，两个所述皮带辊一以及两个皮带辊二之间均固定有连杆，前侧的所述皮带辊一和皮带辊二之间以及后侧的皮带辊一和皮带辊二之间均套设有皮带，两个所述皮带之间固定连接有与沉淀盘上侧壁相接触的刮板。
[0007]在上述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置中，其中一个所述皮带辊二的外壁固定有蜗轮，所述反应箱的上侧壁固定连接有支架，所述支架的端部固定连接有电机，所述电机的驱动端竖直向下固定连接有转杆，所述转杆的端部贯穿延伸至反应箱内固定连接有与蜗轮相啮合的蜗杆。
[0008]在上述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置中，所述反应箱的内底壁固定有轴承一，所述蜗杆的下端与轴承一的内圈固定连接
[0009]在上述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置中，所述反应箱的内顶壁固
定有导向板，所述导向板上滑动插设有推杆，所述推杆的端部与喷头的外壁相接触，所述推杆外壁套设有复位弹簧，所述复位弹簧的两端分别与推杆以及导向板的外壁固定连接，所述推杆的另一端固定连接有弧形板一，所述蜗杆的外壁上固定连接有与弧形板一外壁相接触的弧形板二。
[0010]在上述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置中，所述反应箱内固定有呈弧形设置的刷板，所述喷头的端部的转动路径与刷板的内壁一致
[0011]在上述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置中，所述混合罐的上侧壁固定嵌设有轴承二，所述轴承二内圈固定有转轴，所述转轴和转杆的外壁均固定套设有链轮，两个所述链轮的外壁共同套设有链条，所述转轴位于混合罐内的一端外壁上固定有混合叶。
[0012]在上述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置中，所述反应箱的内底壁设有延伸槽，所述延伸槽内滑动设置有滑板，所述滑板的下端固定连接有连接块，所述连接块与延伸槽的内底壁之间固定连接有伸缩弹簧，所述滑板的上侧设有多个收集槽，所述延伸槽内固定连接有横板，所述横板上设置有与连接块相匹配的开口，所述连接块滑动设置在开口内，所述开口的两侧内壁上均固定嵌设有导电片一，所述连接块内嵌设有多个电阻板，每个所述电阻板的端部均固定有导电片二，所述滑板上滑动设置有移动板，多个所述收集槽放置在移动板内，所述移动板的端部固定连接有磁铁板，所述滑板的上侧壁固定连接有位于磁铁板左侧的电磁铁，所述电磁铁通过导线与其中一个导电片一连接，另一个所述导电片一通过导线外部电源连接。
[0013]在上述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置中，多个所述电阻板由上至下电阻依次增大。
[0014]与现有的技术相比，本金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置的优点在于：
[0015]本专利技术通过刮板的运动实现沉淀盘表面的不断清洁，避免了沉淀盘堵塞，并将沉淀的物料刮下后分开存放在收集槽，避免了单一收集槽存放过重，便于后续的取出。
附图说明
[0016]图1为本专利技术提出的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置的结构示意图；
[0017]图2为图1中A部分结构的放大图；
[0018]图3为本专利技术提出的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置中连接块的侧视图。
[0019]图中：1反应箱、2喷头、3混合罐、4进气管一、5进气管二、6皮带辊一、7皮带、8蜗轮、9轴承一、10蜗杆、11电机、12推杆、13复位弹簧、14弧形板一、15弧形板二、16刮板、17轴承二、18转轴、19刷板、20滑板、21连接块、22伸缩弹簧、23收集槽、24电磁铁、25磁铁板、26移动板、27电阻板、28链条、29沉淀盘、30横板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、
“
底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0022]参照图1
‑
3，一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括反应箱1，反应箱1的上侧壁设有混合罐3，混合罐3的上侧壁固定有输出端与其内部连通的增压泵，混合罐3的外壁上连接有进气管一4和进气管二5，进气管一4用于导入Zn(C2H5)2或其它有机化学气体，进气管二5用于导入水蒸气，有机化学气体和水蒸气导入混合罐3内进行混合，再通过喷头2喷出在沉淀盘29表面形成纳米材料，反应箱1内固定有用于气相沉淀的沉淀盘29，反应箱1内安装有两组联动机构，两组联动机构包括位于右侧的两个皮带辊一6以及左侧的两个皮带辊二，两个皮带辊一6以及两个皮带辊二之间均固定有连杆，前侧的皮带辊一6和皮带辊二之间以及后侧的皮带辊一6和皮带辊二之间均套设有皮带7，两个皮带7之间固定连接有与沉淀盘29上侧壁相接触的刮板16，皮带7转动过程中带动刮板16沿着沉淀盘29的表面运动，将沉积的材料刮下，落至收集槽23内进行收集。
[0023]其中一个本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，包括反应箱(1)，其特征在于，所述反应箱(1)的上侧壁设有混合罐(3)，所述混合罐(3)的上侧壁固定有输出端与其内部连通的增压泵，所述反应箱(1)内转动安装有喷头(2)，所述混合罐(3)的下端外壁连接有软管，所述软管的端部贯穿延伸至反应箱(1)内与喷头(2)连接，所述混合罐(3)的外壁上连接有进气管一(4)和进气管二(5)，所述反应箱(1)内固定有用于气相沉淀的沉淀盘(29)，所述反应箱(1)内安装有两组联动机构，两组所述联动机构包括位于右侧的两个皮带辊一(6)以及左侧的两个皮带辊二，两个所述皮带辊一(6)以及两个皮带辊二之间均固定有连杆，前侧的所述皮带辊一(6)和皮带辊二之间以及后侧的皮带辊一(6)和皮带辊二之间均套设有皮带(7)，两个所述皮带(7)之间固定连接有与沉淀盘(29)上侧壁相接触的刮板(16)。2.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，其特征在于，其中一个所述皮带辊二的外壁固定有蜗轮(8)，所述反应箱(1)的上侧壁固定连接有支架，所述支架的端部固定连接有电机(11)，所述电机(11)的驱动端竖直向下固定连接有转杆，所述转杆的端部贯穿延伸至反应箱(1)内固定连接有与蜗轮(8)相啮合的蜗杆(10)。3.根据权利要求2所述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，其特征在于，所述反应箱(1)的内底壁固定有轴承一(9)，所述蜗杆(10)的下端与轴承一(9)的内圈固定连接。4.根据权利要求2所述的一种金属有机化学气相沉淀反应器喷淋装置，其特征在于，所述反应箱(1)的内顶壁固定有导向板，所述导向板上滑动插设有推杆(12)，所述推杆(12)的端部与喷头(2)的外壁相接触，所述推杆(12)外壁套设有复位弹簧(13)，所述复位弹簧(13)的两端分别与推杆(12)以及导向板的外壁固定连接，所述推杆(12)的另一端固定连接有弧形...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵艳霞，程永亮，
申请(专利权)人：西北大学，
类型：发明
国别省市：
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