一种电子气体研制制备装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电子气体研制制备装置及方法，本发明专利技术涉及气体制备技术领域。包括：混料罐，所述混料罐顶部连接设有安装板，所述安装板上安装设有电机，所述电机的输出端连接设有转轴，所述转轴延伸至混料罐内部且均匀连接设有若干搅拌杆，所述搅拌杆上连接设有搅拌叶片，所述混料罐顶部设有进料口，所述混料罐底部设有排料口，所述混料罐顶部连接设有连接管，所述连接管的另一端连接设有提纯罐，所述提纯罐顶部设有进液口，所述提纯罐顶部连接设有集气管，所述集气管上连接设有单向阀，所述提纯罐底部设有排液口。本发明专利技术与现有技术相比优点在于：结构新颖、设计合理、混合均匀、电子气体纯度高。气体纯度高。气体纯度高。

【技术实现步骤摘要】
一种电子气体研制制备装置及方法


[0001]本专利技术涉及气体制备
，具体是指一种电子气体研制制备装置及方法。

技术介绍

[0002]电子气体是气体工业名词，半导体工业用的气体统称电子气体，按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类，特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气，电子气体是特种气体的一个重要分支，电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
[0003]电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路的器件的精确性和准确性。近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。
[0004]电子气体的制备过程中，一般需要多种物料充分混合后，经过一系列复杂的化学反应生成，现有的混合装置结构复杂，混合效率低，导致后期生产制备效率低，同时，生成的电子气体纯度不高，品质不好，因此，亟需一种电子气体研制制备装置及方法来解决以上问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的技术问题是克服以上技术问题，提供一种结构新颖、设计合理、混合均匀、电子气体纯度高的一种电子气体研制制备装置及方法。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供的技术方案为：一种电子气体研制制备装置及方法，包括：混料罐，所述混料罐下方连接设有若干支撑腿一，所述混料罐顶部连接设有安装板，所述安装板上安装设有电机，所述电机的输出端连接设有转轴，所述转轴延伸至混料罐内部且均匀连接设有若干搅拌杆，所述搅拌杆上连接设有搅拌叶片，所述混料罐顶部设有进料口，所述混料罐底部设有排料口，所述混料罐顶部连接设有连接管，所述连接管的另一端连接设有提纯罐，所述提纯罐下方连接设有若干支撑腿二，所述提纯罐顶部设有进液口，所述提纯罐内连接设有若干液面监测器，所述提纯罐顶部连接设有警示灯，所述提纯罐顶部连接设有集气管，所述集气管上连接设有单向阀，所述提纯罐底部设有排液口。
[0007]作为改进，所述转轴与混料罐连接处连接设有密封圈一。
[0008]作为改进，所述进料口上连接设有密封盖一。
[0009]作为改进，所述排料口上连接设有控制阀一。
[0010]作为改进，所述连接管与混料罐和提纯罐连接处均连接设有密封圈二。
[0011]作为改进，所述连接管从提纯罐底部进入且位于提纯罐的一端连接设有分散头。
[0012]作为改进，所述提纯罐内位于进液口下方连接设有挡板。
[0013]作为改进，所述进液口上连接设有密封盖二，所述排液口上连接设有控制阀二。
[0014]作为改进，所述提纯罐侧面设有观察口，所述观察口内均匀设有刻度线。
[0015]采用以上结构后，本专利技术具有如下优点：
[0016]一、本专利技术结构新颖，设计合理，电机、转轴、搅拌杆和搅拌叶片的配合使用，可以对放入混料罐中的原料进行混合，混合效果更好，搅拌杆上设有搅拌叶片，可以增加混合效果，同时加快混料速度，提高工作效率；
[0017]二、密封盖一、密封圈一和密封圈二的设置，可以确保混料罐中的气体不会外泄，造成不必要的损害，更加安全；
[0018]三、分散头的设置，可以使气体更加分散的进入提纯罐中，增加电子气体的提纯效果，可以使电子气体与提纯液充分反应，实用性更好；
[0019]四、液面监测器和警示灯的配合使用，可以在提纯罐中的提纯液到达设定的最高液面位置时发出警示作用，更加直观，不会发生提纯液注入过量的情况发生，同时观察口和刻度线的设置，可以直观的观察到液面的位置，更加直观、方便；
[0020]五、密封盖二和密封圈二的设置，可以确保提纯罐中的气体不会发生泄露，更加安全；
[0021]六、集气管中的单向阀的设置，可以使得电子气体从提纯罐单向流向集气瓶或集气罐等电子气体盛装容器，不会从电子气体盛装容器流向提纯罐内，实用性更好。
附图说明
[0022]图1是本专利技术一种电子气体研制制备装置及方法的结构示意图。
[0023]图2是图1中A部分放大结构示意图。
[0024]如图所示：1、混料罐；2、支撑腿一；3、安装板；4、电机；5、转轴；6、搅拌杆；7、搅拌叶片；8、进料口；9、排料口；10、连接管；11、提纯罐；12、支撑腿二；13、进液口；14、液面监测器；15、警示灯；16、集气管；17、单向阀；18、排液口；19、密封圈一；20、密封盖一；21、控制阀一；22、密封圈二；23、分散头；24、挡板；25、密封盖二；26、控制阀二；27、观察口；28、刻度线。
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
具体实施方式
[0026]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“中心”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0027]在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设有”、“安装”、“相连”、“连接”等应做广义理解，例如、可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间
接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0028]下面结合附图对本专利技术做进一步的详细说明。
[0029]结合附图1
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附图2，一种电子气体研制制备装置及方法，包括：混料罐1，所述混料罐1下方连接设有若干支撑腿一2，所述混料罐1顶部连接设有安装板3，所述安装板3上安装设有电机4，所述电机4的输出端连接设有转轴5，所述转轴5与混料罐1连接处连接设有密封圈一19，所述转轴5延伸至混料罐1内部且均匀连接设有若干搅拌杆6，所述搅拌杆6上连接设有搅拌叶片7，所述混料罐1顶部设有进料口8，所述进料口8上连接设有密封盖一20，所述混料罐1底部设有排料口9，所述排料口9上连接设有控制阀一21，所述混料罐1顶部连接设有连接管10，所述连接管10的另一端连接设有提纯罐11，所述提纯罐11侧面设有观察口27，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子气体研制制备装置及方法，包括：混料罐(1)，其特征在于：所述混料罐(1)下方连接设有若干支撑腿一(2)，所述混料罐(1)顶部连接设有安装板(3)，所述安装板(3)上安装设有电机(4)，所述电机(4)的输出端连接设有转轴(5)，所述转轴(5)延伸至混料罐(1)内部且均匀连接设有若干搅拌杆(6)，所述搅拌杆(6)上连接设有搅拌叶片(7)，所述混料罐(1)顶部设有进料口(8)，所述混料罐(1)底部设有排料口(9)，所述混料罐(1)顶部连接设有连接管(10)，所述连接管(10)的另一端连接设有提纯罐(11)，所述提纯罐(11)下方连接设有若干支撑腿二(12)，所述提纯罐(11)顶部设有进液口(13)，所述提纯罐(11)内连接设有若干液面监测器(14)，所述提纯罐(11)顶部连接设有警示灯(15)，所述提纯罐(11)顶部连接设有集气管(16)，所述集气管(16)上连接设有单向阀(17)，所述提纯罐(11)底部设有排液口(18)。2.根据权利要求1所述的一种电子气体研制制备装置及方法，其特征在于：所述转轴(5)与混料罐(1)连接处连接设有密封圈一(19)。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：严鹏，汪文超，蒋艳，高春仙，杨洪，丁靖岩，
申请(专利权)人：严鹏，
类型：发明
国别省市：