本实用新型专利技术涉及一种驱动装置，特别是涉及一种用于真空环境的直线驱动装置。本实用新型专利技术的目的是提供一种占用空间较小、结构紧凑，不影响真空腔内主体装置的布置的真空环境直线驱动装置。具体包括动力源、推动腔、推杆、连接板、弹性密封管，所述推动腔、所述推杆、所述连接板、所述弹性密封管均设置于所述真空腔内，所述推杆一端设置于所述推动腔内，所述推杆另一端设置于所述推动腔外，所述动力源与所述推动腔内腔相连通，所述动力源用于带动所述推杆直线移动，所述连接板连接于所述推杆的位于所述推动腔外的一端，所述弹性密封管套在所述推杆上，所述弹性密封管一端密封连接于所述连接板上，所述弹性密封管另一端密封连接于所述推动腔外壁。动腔外壁。动腔外壁。
【技术实现步骤摘要】
真空环境直线驱动装置
[0001]本技术涉及一种驱动装置，特别是涉及一种用于真空环境的直线驱动装置。
技术介绍
[0002]目前，常见的真空系统中通常都有需要运动的部件或装置，带动这些部件或装置运动的驱动装置一般为滑台或推杆，为避免驱动装置释气对真空度的影响，驱动装置通常都放置在真空系统外面的大气中，通过磁力耦合将运动传输到真空腔内。这些驱动装置虽然不影响真空度，但是却存在体积较大的问题，需要较大的安装空间，限制了真空内其它元件的空间布置。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种占用空间较小、结构紧凑，不影响真空腔内主体装置的布置的真空环境直线驱动装置。
[0004]为了解决上述技术问题，本申请提供了如下技术方案：
[0005]本技术真空环境直线驱动装置，包括动力源、推动腔、推杆、连接板、弹性密封管，所述动力源设置于真空腔外，所述推动腔、所述推杆、所述连接板、所述弹性密封管均设置于所述真空腔内，所述推杆一端设置于所述推动腔内，所述推杆另一端设置于所述推动腔外，所述动力源与所述推动腔内腔相连通，所述动力源用于带动所述推杆直线移动，所述连接板连接于所述推杆的位于所述推动腔外的一端，所述弹性密封管套在所述推杆上，所述弹性密封管一端密封连接于所述连接板上，所述弹性密封管另一端密封连接于所述推动腔外壁。
[0006]本技术真空环境直线驱动装置，还包括第一管道、第二管道及馈通，所述第一管道位于所述真空腔内、所述第二管道位于所述真空腔外，所述馈通设置于所述真空腔壁上，所述第一管道一端与所述推动腔外壁密封连接，所述第一管道另一端与所述馈通密封连接，所述第二管道一端与所述馈通密封连接，所述第二管道另一端与所述动力源密封连接，所述推动腔为缸体，所述推杆为活塞杆，所述活塞杆位于所述缸体内的一端连接有活塞，所述缸体壁上开设有第一通孔、第二通孔，所述第一通孔、所述第二通孔分别位于所述活塞的两侧，所述第一通孔上设置有第一接头，所述第二通孔上设置有第二接头，所述第一接头、所述第二接头均位于所述第一管道内。
[0007]本技术真空环境直线驱动装置，还包括位置检测装置、控制单元、阀组，所述位置检测装置设置于所述真空腔内靠近所述连接板的位置处，所述控制单元及所述阀组均位于所述真空腔外，所述阀组设置于所述第二管道上，所述位置检测装置与所述控制单元电连接，所述控制单元与所述阀组电连接。
[0008]本技术真空环境直线驱动装置，其中所述活塞两侧分别设置有缓冲垫。
[0009]本技术真空环境直线驱动装置，其中所述推动腔、所述活塞、所述弹性密封管、所述连接板、所述第一接头、所述第二接头均采用不锈钢材料制成。
[0010]本技术真空环境直线驱动装置，其中所述弹性密封管为波纹管。
[0011]本技术真空环境直线驱动装置，其中所述弹性密封管与所述缸体密封焊接，所述弹性密封管与所述连接板密封焊接。
[0012]本技术真空环境直线驱动装置，其中所述活塞与所述缸体之间通过O型圈及导向环相互密封。
[0013]本技术真空环境直线驱动装置，其中所述第一接头、所述第二接头与所述缸体之间均采用焊接式卡套相连接。
[0014]本技术真空环境直线驱动装置，其中所述位置传感器为光栅尺、磁栅尺、容栅尺、激光传感器或电涡流传感器。
[0015]与现有技术相比，本技术真空环境直线驱动装置至少具有以下有益效果：
[0016]本技术真空环境直线驱动装置由于推动腔、推杆、连接板、弹性密封管均设置于真空腔内，使本技术真空环境直线驱动装置占用空间较小、结构紧凑，不影响真空腔内主体装置的布置，并且推杆外套有弹性密封管，设置于推动腔内的部件之间采用无泄漏连接方式，对真空度无影响。
[0017]下面结合附图对本技术真空环境直线驱动装置作进一步说明。
附图说明
[0018]图1为本技术真空环境直线驱动装置的结构示意图。
具体实施方式
[0019]如图1所示，本技术真空环境直线驱动装置，包括动力源30、推动腔21、推杆20、连接板25、弹性密封管24，动力源30设置于真空腔33外，推动腔21、推杆20、连接板25、弹性密封管24均设置于真空腔33内，推杆20一端设置于推动腔21内，推杆20另一端设置于推动腔21外，推杆20与推动腔21之间设置有密封圈，动力源30与推动腔21内腔相连通，动力源30用于带动推杆20直线移动，连接板25连接于推杆20的位于推动腔21外的一端，弹性密封管24套在推杆20上，弹性密封管24一端密封连接于连接板25上，弹性密封管24另一端密封连接于推动腔21外壁。本技术真空环境直线驱动装置工作时，动力源30作用于推动腔21内腔，使推杆20带动连接板25直线往复移动，连接板25用于连接需要运动的部件或装置。由于推动腔21、推杆20、连接板25、弹性密封管24均设置于真空腔33内，使本技术真空环境直线驱动装置占用空间较小、结构紧凑，不影响真空腔内主体装置的布置，并且推杆20外套有弹性密封管24，设置于推动腔21内的部件之间采用无泄漏连接方式，对真空度无影响。
[0020]本技术真空环境直线驱动装置还包括第一管道28、第二管道32及馈通29第一管道28位于真空腔33内、第二管道32位于真空腔33外，第一管道28可采用不锈钢管或其他低释气材料软管，如特氟龙等，馈通29设置于真空腔33壁上，第一管道28一端与推动腔21的腔体外壁密封连接，第一管道28另一端与馈通29密封连接，第二管道32一端与馈通29密封连接，第二管道32另一端与动力源30密封连接，推动腔21为缸体，缸体包括主体及法兰23，主体为一端敞口的半封闭体，法兰23通过螺钉与主体连接形成封闭体，并采用O型圈密封；推杆20为活塞杆，活塞杆位于缸体内的一端连接有活塞22，动力源30为压缩空气或液体，缸
体壁上开设有第一通孔、第二通孔，第一通孔、第二通孔分别位于活塞22的两侧，第一通孔上设置有第一接头26，第二通孔上设置有第二接头27，第一接头26、第二接头27均位于第一管道28内。当缸体内的活塞侧通入动力介质时，活塞杆伸出，同时弹性密封管24伸长，活塞杆带动连接板25右移；当缸体内的活塞杆侧通入动力介质时，活塞杆缩回，同时弹性密封管24收缩，由此实现连接板25的直线运动。缸体、活塞也可替换为气囊，通过气囊的伸缩实现直线驱动。由于推动腔21为缸体，缸体通过第一管道28、第二管道32连接动力源，管道可以根据真空腔内设备灵活布置，不影响真空腔内主体装置，更加方便。
[0021]本技术真空环境直线驱动装置还包括位置检测装置34、控制单元37、阀组31，位置检测装置34设置于真空腔33内靠近连接板25的位置处，控制单元37及阀组31均位于真空腔33外，阀组31设置于第二管道32上，位置检测装置34与控制单元37电连接，控制单元37与阀组31电连接。具体地，位置检测装置34将检测到的连接板25的位置本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空环境直线驱动装置，其特征在于，包括动力源(30)、推动腔(21)、推杆(20)、连接板(25)、弹性密封管(24)，所述动力源(30)设置于真空腔(33)外，所述推动腔(21)、所述推杆(20)、所述连接板(25)、所述弹性密封管(24)均设置于所述真空腔(33)内，所述推杆(20)一端设置于所述推动腔(21)内，所述推杆(20)另一端设置于所述推动腔(21)外，所述动力源(30)与所述推动腔(21)内腔相连通，所述动力源(30)用于带动所述推杆(20)直线移动，所述连接板(25)连接于所述推杆(20)的位于所述推动腔(21)外的一端，所述弹性密封管(24)套在所述推杆(20)上，所述弹性密封管(24)一端密封连接于所述连接板(25)上，所述弹性密封管(24)另一端密封连接于所述推动腔(21)外壁。2.根据权利要求1所述的真空环境直线驱动装置，其特征在于，还包括第一管道(28)、第二管道(32)及馈通(29)，所述第一管道(28)位于所述真空腔(33)内、所述第二管道(32)位于所述真空腔(33)外，所述馈通(29)设置于所述真空腔(33)壁上，所述第一管道(28)一端与所述推动腔(21)外壁密封连接，所述第一管道(28)另一端与所述馈通(29)密封连接，所述第二管道(32)一端与所述馈通(29)密封连接，所述第二管道(32)另一端与所述动力源(30)密封连接，所述推动腔(21)为缸体，所述推杆(20)为活塞杆，所述活塞杆位于所述缸体内的一端连接有活塞(22)，所述缸体壁上开设有第一通孔、第二通孔，所述第一通孔、所述第二通孔分别位于所述活塞(22)的两侧，所述第一通孔上设置有第一接头(26)，所述第二通孔上设置有第二接头(27...
【专利技术属性】
技术研发人员：王利臣，张志刚，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。