用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置制造方法及图纸

技术编号:35629734 阅读:23 留言:0更新日期:2022-11-16 16:18
本实用新型专利技术提供一种用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置,其特征在于,所述基频激光导出装置包括:垫板,在所述垫板上形成有用于接收所述激光器中基频激光输出镜的底座的容纳槽;设置在所述垫板上的第一反射镜,所述第一反射镜用于接收并且反射由所述基频激光输出镜输出的基频激光;以及设置在所述垫板上的第二反射镜,所述第二反射镜用于接收由所述第一反射镜反射的基频激光并且将基频激光从所述激光器导出。根据本实用新型专利技术的用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置可以在不需要对激光器腔内光路进行调节的情况下,简捷、高效并且快速地实现激光器输出基频激光与输出倍频激光之间的转换。激光与输出倍频激光之间的转换。激光与输出倍频激光之间的转换。

【技术实现步骤摘要】
用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置


[0001]本技术涉及用于输出倍频激光的激光器,尤其涉及用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置。

技术介绍

[0002]用于输出倍频激光的激光器通常利用诸如非线性材料的倍频晶体来产生倍频激光。一般将入射倍频晶体的激光称为基频激光,由倍频晶体出来的激光称为倍频激光或二次谐波。图1以355nm全固态紫外激光器为例示意性地显示了用于输出倍频激光的激光器的光路图。如图1所示,355nm全固态紫外激光器包括由第一反射镜1、泵浦模块3和倍频激光输出镜5构成的激光谐振腔,倍频激光输出镜5是具有部分透射功能的反射镜。激光谐振腔产生的基频激光经过第二反射镜7反射到倍频晶体9中、在经过第三反射镜11反射后再次进入倍频晶体9并且作为倍频激光由倍频晶体9输出。在对激光器的激光输出特性研究中发现实现激光器基横模运行是高光束质量的前提。因此,355nm全固态紫外激光器在输出355nm紫外激光之前,需要先对激光器内的基频激光进行检测,以便在得到基横模的基频激光输出后,再进行倍频转换。
[0003]然而,现有的355nm全固态紫外激光器因其结构紧凑以及各光学器件的高精密度,导致从激光器腔内导出基频激光变得尤为困难。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就是要提供一种用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置,这种基频激光导出装置可以克服上述现有技术中的至少一个缺点。
[0005]根据本技术的一个方面,提供一种用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置,其特征在于,所述基频激光导出装置包括:
[0006]垫板,在所述垫板上形成有用于接收所述激光器中基频激光输出镜的底座的容纳槽;
[0007]设置在所述垫板上的第一反射镜,所述第一反射镜用于接收并且反射由所述基频激光输出镜输出的基频激光;以及
[0008]设置在所述垫板上的第二反射镜,所述第二反射镜用于接收由所述第一反射镜反射的基频激光并且将基频激光从所述激光器导出。
[0009]优选地,所述容纳槽的开口端的形状和尺寸选择成与所述底座的形状和尺寸相匹配。
[0010]优选地,在所述垫板上设置有供紧固装置穿过的细长紧固孔,以便将所述基频激光导出装置固定在所述激光器中。
[0011]优选地,在所述垫板上设置有用于给所述激光器的其它光学器件预留孔位的开口。
[0012]优选地,所述第一反射镜和所述第二反射镜通过紫外胶被固定在所述垫板上。
[0013]优选地,所述第一反射镜设置成在所述底座被接收在所述容纳槽中时位于从所述基频激光输出镜输出的基频激光的光路上。
[0014]优选地,所述第一反射镜的中心与所述基频激光输出镜的中心在同一水平面上。
[0015]优选地,所述第一反射镜和所述第二反射镜相对于所述基频激光的光路方向成45

倾斜。
[0016]优选地,所述第一反射镜的中心、所述第二反射镜的中心以及所述基频激光输出镜的中心都在同一水平面上。
[0017]优选地,所述激光器是355nm全固态紫外激光器。
[0018]根据本技术的用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置,通过简单地将基频激光导出装置放置在激光器中就可以从激光器导出基频激光,而在取出基频激光导出装置之后激光器仍旧可以输出倍频激光,从而可以在不需要对激光器腔内光路进行调节的情况下,简捷、高效并且快速地实现激光器输出基频激光与输出倍频激光之间的转换。
附图说明
[0019]图1示意性地显示了用于输出倍频激光的激光器的光路图;
[0020]图2示意性地显示了根据本技术的用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置,但其上的容纳槽中接收有激光器中的基频激光输出镜;以及
[0021]图3示意性地显示了图1所示用于输出倍频激光的激光器在设置根据本技术的基频激光导出装置之后的光路图。
具体实施方式
[0022]以下将结合附图对本技术的具体实施例进行详细描述,但应理解的是,附图仅仅用于图示本技术,而不构成对本技术的限制。
[0023]图2示意性地显示了根据本技术的用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置,但其上的容纳槽中接收有激光器中的基频激光输出镜。如图2所示,根据本技术的用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置20包括垫板21,在垫板21上形成有一端敞开的容纳槽23。容纳槽23的开口端23a用于接收激光器中基频激光输出镜5的底座。优选地,容纳槽23的开口端23a的形状和尺寸选择成与激光器中基频激光输出镜的底座的形状和尺寸相匹配,以便通过将激光器中基频激光输出镜的底座接收在容纳槽23的开口端23a中而将垫板21因而是将基频激光导出装置20相对于激光器快速并且容易地定位。基频激光导出装置20还包括在容纳槽23的另一端设置在垫板21上的第一反射镜25,第一反射镜25用于接收并且反射来自激光器中基频激光输出镜输出的基频激光。基频激光导出装置20还包括设置在垫板21上的第二反射镜27,第二反射镜27用于接收由第一反射镜25反射的基频激光并且将基频激光从激光器导出,以便对基频激光进行检测。
[0024]尽管垫板21可以由任何合适的材料例如塑料制成,但垫板21优选地由钢板制成。在垫板21上可以设置紧固孔29,用于供诸如螺钉或者夹具(未示出)的紧固装置穿过,以便将基频激光导出装置20固定在激光器的底板上。在优选实施例中,设置了两个细长的紧固孔29,以便在光路调节时可以对基频激光导出装置20的位置在一定范围内进行微调。应理解的是,紧固孔29的形状和数量可以根据需要变化。在垫板21上还可以设置开口31,以便给
激光器腔内其它光学器件预留孔位,例如图3中所示预留给第二反射镜7的孔位,以确保基频激光导出装置20设置在激光器腔内时不影响其它光学器件。在优选实施例中,开口31为方形并且只有一个,应理解的是,开口31的形状和数目可以根据需要变化。
[0025]图3示意性地显示了图1所示用于输出倍频激光的激光器在放置根据本技术的基频激光导出装置之后的光路图。在图3中大的虚线框G表示基频激光导出区域。如图2和3所示,基频激光导出装置20的第一反射镜25设置成在激光器中基频激光输出镜的底座被接收在容纳槽23的开口端23a中时第一反射镜25位于从激光器中基频激光输出镜输出的基频激光的光路上,并且优选地使得第一反射镜25的中心与激光器中基频激光输出镜的中心在同一水平面上。第一反射镜25和第二反射镜27可以通过紫外胶被固定在垫板21上。第一反射镜25和第二反射镜27可以相对于基频激光的光路方向成45

倾斜。更优选地,第一反射镜25和第二反射镜27的中心与激光器中基频激光输出镜的中心都在同一水平面上。
[0026]在需要对激光器的基频激光进行检测时,简单地将本技术的基频激光导出装置20放置在激光器中,使得由基频激光输出镜输出的基频激光入射到第一反射镜25,第一反射镜25本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置(20),其特征在于,所述基频激光导出装置(20)包括:垫板(21),在所述垫板(21)上形成有用于接收所述激光器中基频激光输出镜的底座的容纳槽(23);设置在所述垫板(21)上的第一反射镜(25),所述第一反射镜(25)用于接收并且反射由所述基频激光输出镜输出的基频激光;以及设置在所述垫板(21)上的第二反射镜(27),所述第二反射镜(27)用于接收由所述第一反射镜(25)反射的基频激光并且将基频激光从所述激光器导出。2.如权利要求1所述的用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置,其特征在于,所述容纳槽(23)的开口端(23a)的形状和尺寸选择成与所述底座的形状和尺寸相匹配。3.如权利要求1所述的用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置,其特征在于,在所述垫板(21)上设置有供紧固装置穿过的细长紧固孔(29),以便将所述基频激光导出装置(20)固定在所述激光器中。4.如权利要求1所述的用于输出倍频激光的激光器的基频激光导出装置,其特征在于,在所述垫板(21)上设置有用于给所述激光器的其它光学器件预留孔位的开口(31)。5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜幸熊道涵王小发曹腾飞
申请(专利权)人:英特尔产品成都有限公司
类型:新型
国别省市:

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