冷却模组、压头组件及测试设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种冷却模组、压头组件及测试设备，包括冷却件，其上开设具有入口与出口的冷却流道；两组接头总成，每组接头总成包括接头及弹性密封结构；其中，一组接头总成中接头配接于入口，弹性密封结构环绕设于入口外并被压缩且密封设于当前接头与冷却件之间；另一组接头总成中接头配接于出口，弹性密封结构环绕设于出口外并被压缩且密封设于当前接头与冷却件之间。弹性密封结构被压缩且密封设于当前所在的接头与冷却件之间，并与接头与冷却件之间形成接触压力。当冷却流道内循环流动冷却介质时，接触压力能够阻止冷却流道内的冷却介质在循环压力的作用下从接头与冷却件之间泄露，密封效果较好。密封效果较好。密封效果较好。

【技术实现步骤摘要】
冷却模组、压头组件及测试设备


[0001]本技术涉及测试设备
，特别是涉及一种冷却模组、压头组件及测试设备。

技术介绍

[0002]在半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件及传感器)行业中，需要用到测试设备，以对电子元器件的性能进行测试。一般地，测试设备包括压头组件，压头组件用于使电子元器件维持在特定的测试温度下，以对电子元器件在不同的测试温度下的性能进行测试。
[0003]一般地，压头组件包括压头本体，压头本体能够与安装于测试座上的电子元器件进行热传导。在电子元器件需要进行低温、常温或者高温测试时，压头本体能够分别构造低温、常温或高温环境，从而使电子元器件维持在上述特定的测试温度下。
[0004]压头本体包括冷却膜组，冷却模组包括冷却件及与冷却件连接的接头，冷却件内设有供冷却介质流动的冷却流道，接头的一端与冷却流道连通，另一端与外部制冷装置(包括压缩机、冷凝器及节流机构)连通，以便于由制冷装置提供的冷却介质能够在冷却流道中循环流动，并降低电子元器件的温度。但是，传统的接头与冷却件连接的方式密封性较差，容易导致冷却介质泄露。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对传统的冷却模组易于造成冷却介质泄露的问题，提供一种有效提高密封性能的冷却模组、压头组件及测试设备。
[0006]一种冷却模组，所述冷却模组包括：
[0007]冷却件，其上开设具有入口与出口的冷却流道；
[0008]两组接头总成，每组所述接头总成包括接头及弹性密封结构；
[0009]其中，一组所述接头总成中所述接头配接于所述入口，所述弹性密封结构环绕设于所述入口外并被压缩且密封设于当前所述接头与所述冷却件之间；另一组所述接头总成中所述接头配接于所述出口，所述弹性密封结构环绕设于所述出口外并被压缩且密封设于当前所述接头与所述冷却件之间。
[0010]在其中一个实施例中，所述冷却件包括主体及盖板，所述盖板盖设于所述主体上以与所述主体界定形成所述冷却流道，所述入口与所述出口均开设于所述盖板上；
[0011]两组所述接头总成均装配于所述盖板上。
[0012]在其中一个实施例中，所述弹性密封结构包括相互套设的至少一个第一密封件及至少一个第二密封件，所述第一密封件与所述第二密封件的材质不同。
[0013]在其中一个实施例中，所述第一密封件的耐热温度大于所述第二密封件的耐热温度，所述第二密封件的耐冷温度小于所述第一密封件的耐冷温度。
[0014]在其中一个实施例中，所述第一密封件的耐热温度大于150℃，所述第二密封件的
耐冷温度小于
‑
70℃。
[0015]在其中一个实施例中，所述第一密封件为硅胶件或橡胶件，所述第二密封件为聚四氟乙烯件。
[0016]在其中一个实施例中，每个所述弹性密封结构中至少一个所述第二密封件设于全部所述第一密封件内。
[0017]在其中一个实施例中，所述冷却件和所述接头中一者上设有凹槽，所述弹性密封结构的部分设于所述凹槽内。
[0018]在其中一个实施例中，所述接头包括法兰盘，所述弹性密封结构设于所述冷却件与所述法兰盘之间。
[0019]一种压头组件，包括压头本体及加热件，所述压头本体包括如上述任一项所述的冷却模组，所述加热件能够传导热量至所述冷却模组。
[0020]一种测试设备，包括如上述所述的压头组件及用于装配电子元器件的测试座，所述压头组件用于压持装配于所述测试座上的电子元器件并传导热量至所述电子元器件。
[0021]上述冷却模组、压头组件及测试设备，弹性密封结构被压缩且密封设于当前所在的接头与冷却件之间，并与接头与冷却件之间形成接触压力。当冷却流道内循环流动冷却介质时，接触压力能够阻止冷却流道内的冷却介质在循环压力的作用下从接头与冷却件之间泄露，密封效果较好。
附图说明
[0022]图1为本技术一实施例提供的测试设备的结构图；
[0023]图2为图1中所示的测试设备的A处放大图；
[0024]图3为图1中所示的测试设备的制冷模组的结构图；
[0025]图4为图3中所示的制冷模组的冷却件的主体的结构图；
[0026]图5为图1中所示的测试设备的制冷模组的冷却件的结构图；
[0027]图6为图5中所示的冷却件的盖板的结构图。
[0028]200、测试设备；100、压头组件；10、冷却模组；11、冷却件；111、冷却流道；112、入口；113、出口；114、主体；115、盖板；116、凹槽；117、第一凹槽；118、第二凹槽；119、安装孔；12、接头；121、法兰盘；13、弹性密封结构；131、第一密封件；132、第二密封件；20、导管。
具体实施方式
[0029]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0030]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装
置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0032]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0033]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷却模组，其特征在于，所述冷却模组包括：冷却件(11)，其上开设具有入口(112)与出口(113)的冷却流道(111)；两组接头总成，每组所述接头总成包括接头(12)及弹性密封结构(13)；其中，一组所述接头总成中所述接头(12)配接于所述入口(112)，所述弹性密封结构(13)环绕设于所述入口(112)外并被压缩且密封设于当前所述接头(12)与所述冷却件(11)之间；另一组所述接头总成中所述接头(12)配接于所述出口(113)，所述弹性密封结构(13)环绕设于所述出口(113)外并被压缩且密封设于当前所述接头(12)与所述冷却件(11)之间。2.根据权利要求1所述的冷却模组，其特征在于，所述冷却件包括主体(114)及盖板(115)，所述盖板(115)盖设于所述主体(114)上以与所述主体(114)界定形成所述冷却流道(111)，所述入口(112)与所述出口(113)均开设于所述盖板(115)上；两组所述接头总成均装配于所述盖板(115)上。3.根据权利要求1所述的冷却模组，其特征在于，所述弹性密封结构(13)包括相互套设的至少一个第一密封件(131)及至少一个第二密封件(132)，所述第一密封件(131)与所述第二密封件(132)的材质不同。4.根据权利要求3所述的冷却模组，其特征在于，所述第一密封件(131)的耐热温度大于所述第二密封件(132)的耐热温度，所述第二密封件(132)...

【专利技术属性】
技术研发人员：于勤超，邱国志，梁欣，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：