本发明专利技术公开了一种适用于划片机的可调式喷水罩装置及划片机，其中一种适用于划片机的可调式喷水罩装置，包括设置在刀片径向一侧用于向刀刃喷液的喷嘴组件，还包括等距离地设置在所述刀片轴向两侧用于冲刷产品表面切割区域的辅助喷淋块，所述辅助喷淋块内部设置流道，所述流道底部设置有出液口，所述辅助喷淋块的底部还设置有一段用于引导所述流道的出液方向的弧面，所述弧面的凹面朝向所述刀片，且所述出液口与所述弧面相对。本方案提高了刀片的冷却效率，同时能够对晶圆的表面进行全方位地、精准地清洁。精准地清洁。精准地清洁。
【技术实现步骤摘要】
一种适用于划片机的可调式喷水罩装置及划片机
[0001]本专利技术涉及领域，尤其涉及一种适用于划片机的可调式喷水罩装置及划片机。
技术介绍
[0002]划片机在切割产品时，由于刀片高速旋转，在对工件进行磨削时会产生大量的热，高温会对晶圆产生不良影响，从而影响切割品质，因此，在现有技术中，通常会在刀片附近设置用于冷却刀刃的喷水罩装置，但是，在切割晶圆的过程中，会产生一些硅晶体碎屑和金属碎屑，并附着在晶圆表面和刀片上，这类喷水罩装置通常只能对刀刃进行冷却和清洗，但是无法对晶圆表面进行清洗。
[0003]为解决上述问题，现有的解决方式是在喷水罩上同时设置用于冷却刀刃和冲刷晶圆表面的喷水孔，如中国专利申请号为：202210679930 .9，专利名称为《一种划片机刀片冷却的喷水罩结构》的专利技术专利，包括用于冷却、清洗刀片的主冷却液喷口、侧冷却液喷口以及用于清洗晶圆的料片清洁水喷口，可以对刀片和刀片附近的晶圆表面进行清洁，然而，该喷水罩装置上的各喷水口的喷液角度和喷液位置固定，在调节喷水罩位置高度时需要通过人工进行位置校对和紧固，不方便根据实际情况进行调整，同时，用于清洗晶圆的料片清洁水喷口只能清洁到晶圆表面接近切割槽附近的位置，而在切割过程中产生的硅晶体碎屑、金属碎屑和灰尘会落在晶圆的整个表面，因此易导致清洁不到位的问题，从而影响切割品质。同时，为达到更好的清洁效果，各喷水口的水流量、水压也需要进行精准的控制。
技术实现思路
[0004]因此，为解决上述问题，本专利技术提供了一种适用于划片机的可调式喷水罩装置及划片机。
[0005]本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种适用于划片机的可调式喷水罩装置，包括设置在刀片径向一侧用于向刀刃喷液的喷嘴组件，还包括等距离地设置在所述刀片轴向两侧用于冲刷产品表面切割区域的辅助喷淋块，所述辅助喷淋块内部设置流道，所述流道底部设置有出液口，所述辅助喷淋块的底部还设置有一段用于引导所述流道的出液方向的弧面，所述弧面的凹面朝向所述刀片，且所述出液口与所述弧面相对，所述辅助喷淋块沿其轴线方向旋转和/或沿一与所述刀片轴线平行设置的销轴转动，所述辅助喷淋块的高度可调。
[0006]优选的，所述辅助喷淋块与流道管接头连接，所述流道管接头上设置有使液体单向流入辅助喷淋块内的结构。
[0007]优选的，所述流道的出液口的孔径为2mm
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2.5mm。
[0008]优选的，两个辅助喷淋块上的弧面的高度差为1mm
‑
1.5mm。
[0009]优选的，还包括设置在刀片径向上远离所述喷嘴组件一侧的双杆组件，所述双杆组件包括高度可调地设置在刀片轴向两侧的水杆，每一水杆朝刀片所在方向均设置有三个槽孔，相邻两个槽孔之间的间距为5mm
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6.5mm，所述槽孔深度等于所述水杆的半径。
[0010]优选的，每个所述水杆均单独连接水路，单个所述水杆的水流量为1.3L/min
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1.5 L/min。
[0011]优选的，所述水杆的最低端的高度高于刀刃最低端的高度1.75mm
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2mm。
[0012]优选的，喷嘴组件包括喷嘴，所述喷嘴沿与所述刀片轴线平行的轴转动且所述喷嘴的喷水口与所述刀刃相对。
[0013]划片机，包括如上所述的一种适用于划片机的可调式喷水罩装置。
[0014]本专利技术技术方案的有益效果主要体现在：1、刀片轴向两侧等距离地设置用于冲刷产品表面切割区域的辅助喷淋块，辅助喷淋块的高度可调且其喷液角度可多方向进行调整，能够对晶圆的表面进行全方位清洁，同时，当加工的晶圆尺寸发生变化时，也无需通过人工校正喷液位置，提高了工作效率。
[0015]2、刀片轴向两侧的辅助喷淋块底部设置与出液口相对的弧面，该弧面既能用于引导自辅助喷淋块的出液口流出液体的出液方向，还能够扩散喷液面积，对晶圆表面进行精准、全面的清洗。
[0016]3、刀片轴向两侧的辅助喷淋块底部设置的弧面高度可调，同时，两侧弧面的高度具备一定的高度差，避免两侧喷水高度一致而发生干涉，相互抵消，确保辅助喷淋块的喷淋效果。
[0017]4、刀片径向一侧设置有用于冷却、清洗刀刃的喷嘴组件,喷嘴组件的喷液角度可调整，一方面，在刀片切割时，喷嘴组件1的喷液角度变化能够增加冷却液与刀刃的接触面积，可以提高刀刃的冷却效率；另一方面，能够确保快速清洁刀刃上附着的粉尘颗粒。
[0018]5、刀片轴向两侧位置可调地设置有用于冷却、清洁刀片两侧的水杆，每个水杆单独连接水路，同时控制水杆上的三个水槽深度，以确保水杆对刀刃侧面的水流冲击力，同时，对水槽间距均进行精准控制，避免因槽间距过近导致出水量相互抵消，确保冲洗效率。
[0019]6、喷水罩装置内部各喷水组件内的管路均与管接头连接，防止回流，确保管路内水压稳定，并持续、稳定地对刀片及晶圆进行冷却和清洗。
附图说明
[0020]图1：是喷嘴组件和辅助喷淋块与刀片以及晶圆的位置关系示意图；图2：是刀片与其轴向两侧的辅助喷淋块的位置关系示意图；图3：是一种适用于划片机的可调式喷水罩装置的结构示意图；图4：是辅助喷淋块的透视图；图5：是双杆组件与刀片的位置关系示意图。
具体实施方式
[0021]为使本专利技术的目的、优点和特点能够更加清楚、详细地展示，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。该实施例仅是应用本专利技术技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本专利技术要求保护的范围之内。
[0022]同时声明，在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以
特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0023]此外，本方案中的术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或者暗示对重要性的排序，或者隐含指明所示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，在本专利技术中，“多个”的含义是两个或者两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0024]本专利技术揭示了一种适用于划片机的可调式喷水罩装置，如图1
‑
图4所示，包括设置在刀片200径向一侧用于向刀刃喷液的喷嘴组件1，还包括等距离地设置在所述刀片200轴向两侧用于冲刷产品表面切割区域的辅助喷淋块2，所述辅助喷淋块2内部设置流道202，所述流道202底部设置有出液口203，所述辅助喷淋块2的底部还设置有一段用于引导所述流道202的出液方向的弧面201，所述出液口203与所述弧面201相对，确保自上述出液口203流出的水流落在所述弧面201上，且弧面201引导水流的喷洒方向，具体地，在晶圆100进行切割加工时，所述弧面201设置在用于对产品进行定位的工作平台一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于划片机的可调式喷水罩装置，包括设置在刀片径向一侧用于向刀刃喷液的喷嘴组件，其特征在于：还包括等距离地设置在所述刀片轴向两侧用于冲刷产品表面切割区域的辅助喷淋块，所述辅助喷淋块内部设置流道，所述流道底部设置有出液口，所述辅助喷淋块的底部还设置有一段用于引导所述流道的出液方向的弧面，所述弧面的凹面朝向所述刀片，且所述出液口与所述弧面相对，所述辅助喷淋块沿其轴线方向旋转和/或沿一与所述刀片轴线平行设置的销轴转动，所述辅助喷淋块的高度可调。2.根据权利要求1所述的一种适用于划片机的可调式喷水罩装置，其特征在于：所述辅助喷淋块与流道管接头连接，所述流道管接头上设置有使液体单向流入辅助喷淋块内的结构。3.根据权利要求1所述的一种适用于划片机的可调式喷水罩装置，其特征在于：所述流道的出液口的孔径为2mm
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2.5mm。4.根据权利要求1所述的一种适用于划片机的可调式喷水罩装置，其特征在于：两个辅助喷淋块上的弧面的高度差为1mm
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1.5mm。5.根据权利要求1所述的一种适...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘炳先，于光明，金道成，孙志超，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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