本实用新型专利技术公开了一种半导体设备气体泄漏检测装置，包括机架，所述机架的上方设有两个对称设置的测试框，且每个所述测试框的顶部均设有盖板，两个所述测试框均与机架的顶部滑动连接；还包括：过滤箱，所述过滤箱水平位于一个盖板的上方，且所述过滤箱与盖板固定连接，一个测试框的旁侧设有多个沿其长度方向等间距竖直设置的连通管，且每个所述连通管的顶端均与过滤箱相连通；驱动电机，安装在机架的底部，且所述驱动电机的输出端贯穿机架并延伸出去，所述驱动电机的输出端上安装有驱动伞齿，该半导体设备气体泄漏检测装置，能够对半导体设备传输管道泄漏出的气体进行稀释，从而避免泄漏的有毒气体对周围环境造成危害。泄漏的有毒气体对周围环境造成危害。泄漏的有毒气体对周围环境造成危害。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备气体泄漏检测装置
[0001]本技术涉及气密性检测
，具体为一种半导体设备气体泄漏检测装置。
技术介绍
[0002]半导体设备为半导体元件制造的电气设备，在半导体设备工作时，会使用有毒或者可燃物质，所以需要半导体设备气体泄漏检测装置，但现在的半导体设备气体泄漏检测装置在使用的过程中仍存在一些不足。
[0003]如公开号为CN215832930U的一种气体泄漏检测设备，通过DD马达带动双向丝杆转动，使得两滑块相互靠近或远离，根据不同的产品进行适配，竖板推动安装筒移动，使得夹紧板一端与产品表面贴合夹紧，夹紧时推杆推动推板在滑杆上滑动，使得第一压缩弹簧压缩，在第一压缩弹簧回复力作用下保证对产品夹紧稳定，调节气缸推动安装板向下移动，将气体泄漏检测主体上的测量气口接入待测产品的闲置接口，进行检测，对产品检测方便，产品固定稳定，但是其在使用过程中，仅能对半导体设备的气密性进行检测，但由于半导体设备会使用许多有毒和可燃物质，当这些气体泄漏后，会造成空气的污染，以及工作人员的误吸。
[0004]所以我们提出了一种半导体设备气体泄漏检测装置，以便于解决上述中提出的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种半导体设备气体泄漏检测装置，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上半导体设备气体泄漏检测装置，仅能对半导体设备的气密性进行检测，但由于半导体设备会使用许多有毒和可燃物质，当这些气体泄漏后，会造成空气的污染，以及工作人员的误吸的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体设备气体泄漏检测装置，包括机架，所述机架的上方设有两个对称设置的测试框，且每个所述测试框的顶部均设有盖板，两个所述测试框均与机架的顶部滑动连接；
[0007]还包括：
[0008]过滤箱，所述过滤箱水平位于一个盖板的上方，且所述过滤箱与盖板固定连接，一个测试框的旁侧设有多个沿其长度方向等间距竖直设置的连通管，且每个所述连通管的顶端均与过滤箱相连通；
[0009]驱动电机，安装在机架的底部，且所述驱动电机的输出端贯穿机架并延伸出去，所述驱动电机的输出端上安装有驱动伞齿。
[0010]优选的，所述驱动伞齿的上方水平设有正反螺纹杆，且所述正反螺纹杆与机架转动连接，所述正反螺纹杆的中段套设有转动伞齿，且所述转动伞齿与驱动伞齿相啮合，两个所述测试框间隔套设在正反螺纹杆上，且所述转动伞齿位于两个测试框之间。
[0011]通过采用上述技术方案，当半导体设备气体泄漏检测装置运作时，驱动电机带动驱动伞齿转动，使驱动伞齿带动与其啮合的转动伞齿转动，使正反螺纹杆转动，套设在正反螺纹杆上的两个测试框沿正反螺纹杆的长度方向相对移动，将半导体设备的传输管道进行包覆，两个测试框相贴合形成一个密闭空间。
[0012]优选的，每个所述测试框内均设有多个沿其长度方向等间距安装的挡板，且一个测试框内的每个挡板均与另一个测试框内的一个挡板相贴合，每个所述挡板的顶部均与一个盖板的底部相贴合。
[0013]通过采用上述技术方案，当半导体设备气体泄漏检测装置运作时，两个测试框将半导体设备的传输管道进行包覆后，挡板可将传输管道分隔成多段，便于对传输管道的泄漏口进行判断。
[0014]优选的，每个所述连通管内均设有转动扇，且所述转动扇均与一个连通管的内壁转动连接，所述转动扇的轴端贯穿一个连通管并延伸出去，所述转动扇的轴端上设有三个沿其周向等角度安装的扇叶，每个所述连通管的顶端均延伸至过滤箱内，所述过滤箱内水平安装有过滤网。
[0015]通过采用上述技术方案，半导体设备气体泄漏检测装置运作时，当半导体设备的传输管道上有泄漏口时，半导体设备传输管道内的气体由泄漏口喷出，从而进入两个测试框内，由于两个测试框组成一个密闭空间，气体进入连通管内，气体上升带动转动扇转动，使转动扇轴端的扇叶转动，提示工作人员该段传输管道存在气体泄漏现象，有毒气体最终通过过滤网并排出，极大程度降低了有毒气体对外界的危害。
[0016]优选的，另一个测试框的旁侧设有多个竖直设置的循环管，每个所述循环管的底端均贯穿机架的底部并延伸出去，每个循环管的顶端均延伸至另一个测试框内，多个循环管均相连通，另一个测试框的侧壁上安装有水泵，且所述水泵的输出端与一个循环管相连通，所述机架的顶部滑动设有阻挡板。
[0017]通过采用上述技术方案，当半导体设备气体泄漏检测装置运作时，两个测试框将半导体设备的传输管道进行包覆后，水泵外接水管或者将机架上的水，通过循环管抽至一个测试框内，从而将两个测试框形成的密闭空间注满水，当两个测试框内注满水时，泄漏的气体会在水中形成气泡并上浮，并进入连通管内，滑动阻挡板可将多个循环管堵住。
[0018]优选的，所述机架的底部设有出水管，且所述出水管的顶端延伸至机架内，所述出水管上套设有电磁阀。
[0019]通过采用上述技术方案，当半导体设备气体泄漏检测装置运作时，测试用水经过长时间的使用需要进行更换，避免腐蚀半导体设备传输管道，电磁阀打开，落至机架上的测试用水通过出水管排出。
[0020]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该半导体设备气体泄漏检测装置，能够对半导体设备传输管道泄漏出的气体进行稀释，从而避免泄漏的有毒气体对周围环境造成危害，具体内容如下：
[0021]1、设置有过滤箱、过滤网和两个测试框，半导体设备气体泄漏检测装置运作时，当半导体设备的传输管道上有泄漏口时，半导体设备传输管道内的气体由泄漏口喷出，从而进入两个测试框内，由于两个测试框组成一个密闭空间，气体进入连通管内，气体上升带动转动扇转动，使转动扇轴端的扇叶转动，提示工作人员该段传输管道存在气体泄漏现象，有
毒气体最终通过过滤网并排出，极大程度降低了有毒气体对外界的危害。
[0022]2、设置有水泵和循环管，当半导体设备气体泄漏检测装置运作时，两个测试框将半导体设备的传输管道进行包覆后，水泵外接水管或者将机架上的水，通过循环管抽至一个测试框内，从而将两个测试框形成的密闭空间注满水，当两个测试框内注满水时，泄漏的气体会在水中形成气泡并上浮，并进入连通管内，使测试用水能够循环使用，节约资源。
附图说明
[0023]图1为本技术立体结构示意图；
[0024]图2为本技术侧视立体结构示意图；
[0025]图3为本技术机架立体结构示意图；
[0026]图4为本技术过滤箱立体结构示意图；
[0027]图5为本技术连通管结构示意图。
[0028]图中：1、机架；2、测试框；3、盖板；4、过滤箱；5、连通管；6、驱动电机；7、驱动伞齿；8、正反螺纹杆；9、转动伞齿；10、挡板；11、转动扇；12、扇叶；13、过滤网；14、循环管；15、水泵；16、阻挡板；17、出水管；18、电磁阀。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体设备气体泄漏检测装置，包括机架(1)，所述机架(1)的上方设有两个对称设置的测试框(2)，且每个所述测试框(2)的顶部均设有盖板(3)，两个所述测试框(2)均与机架(1)的顶部滑动连接；其特征在于，还包括：过滤箱(4)，所述过滤箱(4)水平位于一个盖板(3)的上方，且所述过滤箱(4)与盖板(3)固定连接，一个测试框(2)的旁侧设有多个沿其长度方向等间距竖直设置的连通管(5)，且每个所述连通管(5)的顶端均与过滤箱(4)相连通；驱动电机(6)，安装在机架(1)的底部，且所述驱动电机(6)的输出端贯穿机架(1)并延伸出去，所述驱动电机(6)的输出端上安装有驱动伞齿(7)。2.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体泄漏检测装置，其特征在于：所述驱动伞齿(7)的上方水平设有正反螺纹杆(8)，且所述正反螺纹杆(8)与机架(1)转动连接，所述正反螺纹杆(8)的中段套设有转动伞齿(9)，且所述转动伞齿(9)与驱动伞齿(7)相啮合，两个所述测试框(2)间隔套设在正反螺纹杆(8)上，且所述转动伞齿(9)位于两个测试框(2)之间。3.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体泄漏检测装置，其特征在于：每个所述测试框(2)内均设有多个沿其长度方向等间距安装的挡板(10)，且一个测试框(2)内的每个挡板(10)均...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴波，冯志超，
申请(专利权)人：上海欣项电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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