转架位置异常的检测方法与检测装置制造方法及图纸

本公开实施例提供了一种转架位置异常的检测方法与检测装置，该检测方法包括：获取转架在检测位置时的图像；从所述图像中提取所述转架的第一特征线；从所述图像中提取机械手的第二特征线；确定所述第一特征线和第二特征线的夹角，并判断所述夹角是否大于等于预设夹角；若所述夹角大于所述预设夹角，则判断所述转架的位置异常。本公开提供的转架位置异常的检测方法，能够检测转架的状态是否异常。能够检测转架的状态是否异常。能够检测转架的状态是否异常。

【技术实现步骤摘要】
转架位置异常的检测方法与检测装置


[0001]本公开涉及镀膜设备
，具体而言，涉及一种转架位置异常的检测方法与机械手位置异常的检测装置。

技术介绍

[0002]常见的镀膜机具有自动上下片功能，通常包括装载腔、传输腔和工艺腔。传输腔有一真空机械手，负责将装载腔中的基片搬运到工艺腔，或者从工艺腔搬运到装载腔。由于装载腔、传输腔和工艺腔工作时均为真空状态，而用于驱动机械手运动和转架旋转的伺服电机不能在真空下工作，所以在传输腔和工艺腔上分别设置磁流体进行密封。
[0003]工艺腔上的转架伺服电机通过联轴器和磁流体一端连接，磁流体另一端也通过联轴器和工件转架连接。传输腔上的机械手驱动电机通过联轴器和另一磁流体一端连接，磁流体的另一端也是通过联轴器和机械手取片机构连接。
[0004]在系统运行过程中，只要有一个联轴器打滑，都会造成运动部件位置不准确，从而造成运动部件损坏。
[0005]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0006]本公开实施例的目的在于提供一种转架位置异常的检测方法与检测装置，能够通过视觉检测方式识别转架的状态是否异常。
[0007]本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。
[0008]根据本公开实施例的一个方面，提供了一种转架位置异常的检测方法，该检测方法包括：
[0009]获取转架在检测位置时的图像；
[0010]从所述图像中提取所述转架的第一特征线，从所述图像中提取机械手的第二特征线；
[0011]确定所述第一特征线和所述第二特征线的夹角，并判断所述夹角是否大于等于预设夹角；
[0012]若所述夹角大于所述预设夹角，则判断所述转架的位置异常。
[0013]在本公开的一种示例性实施例中，所述检测方法还包括：
[0014]若所述夹角小于或等于所述预设夹角，则判断所述转架的位置正常。
[0015]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一特征线为位于所述转架上的结构特征和机械手上的结构特征。
[0016]在本公开的一种示例性实施例中，所述第二特征线为位于所述机械手上的结构特征。
[0017]在本公开的一种示例性实施例中，当所述转架位于标准位置时，所述第一特征线与所述第二特征线平行。
[0018]根据本公开实施例的另一个方面，提供了一种转架位置异常的检测装置，该检测装置包括：
[0019]图像获取模块，用于获取转架在检测位置以及机械手在检测位置的检测图像；
[0020]特征提取模块，与所述图像获取模块连接，从所述检测图像中提取所述转架上的第一特征线以及所述机械手上的第二特征线；
[0021]夹角计算模块，与所述特征提取模块连接，被配置为计算所述第一特征线和所述第二特征线之间的夹角；
[0022]夹角对比模块，与所述夹角计算模块连接，将获取的所述夹角与预设夹角对比；
[0023]输出模块，与所述夹角对比模块连接，若所述夹角大于所述预设夹角，则输出所述转架位置异常信息。
[0024]在本公开的一种示例性实施例中，若所述夹角小于等于所述预设夹角，所述输出模块输出所述转架位置正常信息。
[0025]在本公开的一种示例性实施例中，所述检测装置还包括：
[0026]显示模块，与所述输出模块连接，用于显示所述输出模块输出端的所述位置异常信息和所述位置正常信息。
[0027]在本公开的一种示例性实施例中，所述检测装置还包括：
[0028]控制模块，与所述图像获取模块、所述特征提取模块、所述夹角计算模块、所述夹角对比模块、所述输出模块及所述显示模块连接。
[0029]在本公开的一种示例性实施例中，当所述转架位于标准位置时，所述第一特征线与所述第二特征线平行。
[0030]本公开提供转架位置异常的检测方法，首先获取了转架在检测位置时的图像，接着从图像中提取转架的第一特征线，从图像中提取机械手的第二特征线；接着确定第一特征线和第二特征线的夹角，并判断夹角是否大于等于预设夹角；若夹角大于预设夹角，则判断转架的位置异常。转架位置异常通过视觉识别检测的可靠性高，且由于有简便的预设功能，操作简单快捷。
[0031]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
[0032]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0033]图1为本公开的一种实施例提供的转架位置异常的检测方法的流程图；
[0034]图2为本公开的一种实施例提供的镀膜机系统和视觉识别系统的示意图；
[0035]图3为本公开的一种实施例提供的视觉识别装置检测转架位置异常的工序图；
[0036]图4为本公开的一种实施例提供的转架上预设特征位置的示意图；
[0037]图5为本公开的一种实施例提供的转架位置异常的示意图；
[0038]图6为本公开的一种实施例提供的转架位置异常的计算示意图；
[0039]图7为本公开的一种实施例提供的转架位置异常的检测装置的示意图。
具体实施方式
[0040]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。
[0041]此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知方法、装置、实现或者操作以避免模糊本公开的各方面。
[0042]附图中所示的方框图仅仅是功能实体，不一定必须与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。
[0043]附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的内容和操作/步骤，也不是必须按所描述的顺序执行。例如，有的操作/步骤还可以分解，而有的操作/步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。
[0044]本公开的实施例首先提供了一种转架位置异常的检测方法，如图1所示，该检测方法包括：
[0045]步骤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转架位置异常的检测方法，其特征在于，包括：获取转架在检测位置时的图像；从所述图像中提取所述转架的第一特征线，从所述图像中提取机械手的第二特征线；确定所述第一特征线和所述第二特征线的夹角，并判断所述夹角是否大于等于预设夹角；若所述夹角大于所述预设夹角，则判断所述转架的位置异常。2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：若所述夹角小于或等于所述预设夹角，则判断所述转架的位置正常。3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述第一特征线为位于所述转架上的结构特征和机械手上的结构特征。4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述第二特征线为位于所述机械手上的结构特征。5.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，当所述转架位于标准位置时，所述第一特征线与所述第二特征线平行。6.一种转架位置异常的检测装置，其特征在于，包括：图像获取模块，用于获取转架在检测位置以及机械手在检测位置的检测图像；特征提取模块，与所述图像获取模块连接，从所述检测图像中...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴标平，吴洽，聂鹏，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：