一种具有复合冷却功能的干式真空泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有复合冷却功能的干式真空泵，包括泵体和泵壳，泵体置于泵壳内；所述泵体包括转子壳体，转子壳体中间设有工作腔，转子置于工作腔内；所述工作腔外侧设有水套，水套内设有冷却液；所述泵壳其中一端面板上设有进风口，另一端面板上安装有风扇，转子壳体与泵壳之间形成冷却风道，转子壳体外侧设有散热筋。本实用新型专利技术集水冷和风冷两种冷却方式于一体，利用冷却液快速带走泵体局部高温的热量，泵体不易受热变形，增加泵的稳定性；风扇与进风口配合工作，空气被转子壳体外侧的散热筋引流，提高空气流速，提高降温效率。提高降温效率。提高降温效率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有复合冷却功能的干式真空泵


[0001]本技术涉及真空泵
，特别涉及一种具有复合冷却功能的干式真空泵。

技术介绍

[0002]干式真空泵又叫无油真空泵或干式无油真空泵，是一种工作腔内没有润滑油的真空泵，广泛应用于半导体、光伏、等离子技术、航空航天等领域。目前市场上的干式真空泵主要有干式螺杆真空泵、干式多级罗茨真空泵、干式爪形真空泵、干式复合螺杆真空泵。
[0003]干式真空泵的冷却方式有风冷和水冷两种。水冷是指在干式真空泵的外壳上开设水槽，水槽中流动冷却水，热量由冷却水带走。水冷风冷是直接通过真空泵上电机的风扇或者外置的风扇，将温度较低的空气吹到泵的外壳上使之散热的方式。水冷和风冷都具有各自的优缺点：
[0004]水冷的优点：
[0005]1.冷却充分，冷却效果好；
[0006]2.冷却均匀，不会产生局部温度特别高的情况；
[0007]3.泵结构紧凑，可通过使用水冷密封电机的方式使得泵没有转动部件外露，提高安全性；
[0008]4.泵安装位置没有太高要求，不需要考虑通风。
[0009]水冷的缺点：
[0010]1.需要额外提供冷却水，且冷却水的温度需在一定范围内；
[0011]2.因为冷却水管的原因，泵一旦固定好位置后不方便移动位置。
[0012]风冷的优点：
[0013]1.不需要通过外接冷却水即可实现对泵的冷却，使之正常工作；
[0014]2.可随时移动风冷设备的安装位置。
[0015]风冷的缺点：
[0016]1.泵体温度不均匀，泵的外壳，尤其是靠近排气口处容易形成局部高温，当环境温度略有变化时即有可能因局部变形过大而产生故障，影响泵的稳定运行；
[0017]2.散热不均匀，因为风扇安装的位置是固定的，靠近风扇的地方气流量较大，远离风扇的地方气流量较小，散热效果也差；
[0018]3.对安装位置有一定要求，前后左右上下均需保持一定距离，以使得泵正常通风便于冷却，如果通风不好有可能产生故障。
[0019]常规的风冷、水冷这两种冷却方式，并不能很好地对干式真空泵进行冷却，导致泵体因温度过高变形，影响真空泵的使用寿命。

技术实现思路

[0020]为了解决上述问题，本技术提供了一种具有复合冷却功能的干式真空泵，集
风冷、水冷功能于一体，发挥两者的优点，快速冷却真空泵，保证真空泵的使用寿命。
[0021]为此，本技术的技术方案是：一种具有复合冷却功能的干式真空泵，包括泵体和泵壳，泵体置于泵壳内；所述泵体包括转子壳体，转子壳体中间设有工作腔，转子置于工作腔内；所述工作腔外侧设有水套，水套内设有冷却液；所述泵壳其中一端面板上设有进风口，另一端面板上安装有风扇，转子壳体与泵壳之间形成冷却风道，转子壳体外侧设有散热筋。
[0022]本技术集水冷和风冷两种冷却方式于一体，在转子壳体内设置水套，冷却液在水套内流动，带走工作腔中产生的热量；同时，泵壳上设置了风扇和进风口，风扇运行时，空气从转子壳体外侧流动，带走水套内热量，将水冷和风冷两种方式结合，通过冷却速率，防止泵体高温变形。当泵运转时，工作腔中产生的热量传递给水套内的冷却液，冷却液再将热量传递给带有散热筋的转子壳体，运行的风扇把大量空气从进风口吸入，沿着泵体表面快速流动并把热量带走，由风扇排出，从而实现对泵的快速冷却。
[0023]优选地，所述转子壳体的两侧面和顶面上均设有若干散热筋，且散热筋平行于转子的中心轴；所述相邻散热筋之间形成导流槽。转子壳体外侧的散热筋可以增加转子壳体与空气的接触面积，提高散热效率；散热筋与转子的轴向相平行，即散热筋不会阻挡进风口与风扇之间的空气流动，且散热筋可以对空气进行导流，使得空气流动更加顺畅，加快空气流动，散热更快。
[0024]优选地，所述转子壳体朝向壳体前盖板一端设有排气端盖，进风口设置在泵壳的前盖板上，风扇设置在泵壳靠近转子的后盖板上。进风口设置在排气端盖一侧，排气端盖侧的温度更高一点，风扇转动时，空气从进风口进入，从排气端盖所在一侧向风扇流动，流动过程中，将散热筋上的热量带走。
[0025]优选地，所述泵体安装在底座上，上面套装泵壳，泵壳与底座固定连接；所述泵壳内侧设有挡风板。泵壳内侧的挡风板可以引导气流沿着泵体表面流动，快速降温。
[0026]优选地，所述泵壳内设有一水箱，水箱与水套互相连通。水箱通过管道和水套相连，可以及时补充水套中的冷却液，方便冷却液热胀冷缩时发生的溢流和回流。
[0027]优选地，所述水套内的冷却液为水，或者为水与乙二醇的混合液。冷却液可以快速带走排气处的高温，使泵体内部温度均匀，延长泵体的使用寿命。
[0028]优选地，所述泵壳为钣金件或者塑料成型件。
[0029]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0030]1)冷却液可以快速带走局部高温的热量，并使泵体内部的冷却液温度相对均匀，从而使得工作腔表面不会形成局部高温，泵体不易受热变形，增加泵的稳定性；
[0031]2)风扇与进风口配合工作，空气被转子壳体外侧的散热筋引流，提高空气流速，快速降低冷却液的温度，且散热筋增加了转子壳体与空气的接触面积，大大提高了降温效率，降温效果好；
[0032]3)整体结构简单，安装方便，对安装位置要求低，适用范围广。
附图说明
[0033]以下结合附图和本技术的实施方式来作进一步详细说明
[0034]图1为本技术的内部结构示意图；
[0035]图2为图1的A
‑
A剖视图；
[0036]图3为本技术的前侧视图；
[0037]图4为本技术的后侧视图。
[0038]图中标记为：泵体1、转子壳体11、工作腔12、转子13、水套14、水箱15、散热盖板16、散热筋17、排气端盖18、泵壳2、底座21、上盖板22、前盖板23、后盖板24、上挡风板25、下挡风板26、进气口31、排气口32、进风口4、风扇5。
具体实施方式
[0039]在本技术的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本技术的具体保护范围。
[0040]此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本技术描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有复合冷却功能的干式真空泵，包括泵体和泵壳，泵体置于泵壳内；所述泵体包括转子壳体，转子壳体中间设有工作腔，转子置于工作腔内；其特征在于：所述工作腔外侧设有水套，水套内设有冷却液；所述泵壳其中一端面板上设有进风口，另一端面板上安装有风扇，转子壳体与泵壳之间形成冷却风道，转子壳体外侧设有散热筋。2.如权利要求1所述的一种具有复合冷却功能的干式真空泵，其特征在于：所述转子壳体的两侧面和顶面上均设有若干散热筋，且散热筋平行于转子的中心轴；所述相邻散热筋之间形成导流槽。3.如权利要求1所述的一种具有复合冷却功能的干式真空泵，其特征在于：所述转子壳体朝向壳体前盖板...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋月坤，
申请(专利权)人：图库真空技术嘉兴有限公司，
类型：新型
国别省市：