本发明专利技术的分光测定装置的一形态包括：光谱测定部(11、12)，针对作为激光光的被测定光，反复测定规定波长范围的光谱；波峰计数部(21、22)，每当由光谱测定部获得光谱时，从所述光谱中检测波峰并且对所检测出的波峰数进行计数；以及显示处理部(24)，将由波峰计数部所得的波峰计数结果的数值实时显示在显示部的画面上。根据所述形态的分光测定装置，可有效率且准确地进行多模激光振荡器的调整等。地进行多模激光振荡器的调整等。地进行多模激光振荡器的调整等。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分光测定装置
[0001]本专利技术涉及一种分光测定装置，特别涉及一种适于激光光的分析的分光测定装置。
技术介绍
[0002]近年来，激光除了用于精密光学机器以外，还广泛地用于光通信、印刷、医疗、机械加工等各种领域，其利用范围不断扩大。在激光装置的研究、开发或制造工序的调整、或者品质评价、管理等时，激光光的发光光谱的监测(monitoring)必不可少，因此广泛地使用被称为光学频谱分析仪(optical spectrum analyzer)的一种分光测定装置。光学频谱分析仪为测定由光纤等所输入的被测定光的光强度分布(光学频谱)并显示的装置，可在光谱上确认波峰波长或波峰宽度、或者光强度等。
[0003]通常的光学频谱分析仪是以不仅进行激光装置的分析或评价而且还进行各种光器件的分析或评价为目的，因而虽然适于详细的分析，但有实时(real time)性差的倾向。相对于此，作为更重视实时性的分光测定装置，已知有被称为多通道(multi
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channel)分光器的装置，此装置可针对输入至装置的被测定光同时测定规定波长范围的光强度(参照非专利文献1等)。此种分光测定装置主要是为了大致实时测定由发光、吸收、反射等所致的光谱而利用。而且，也开发出了通过提高波长分辨率从而应对波峰波长宽度窄的激光光的监测等的、多通道分光器。
[0004][现有技术文献][0005][非专利文献][0006]非专利文献1：“PMA
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12多通道分光器系列”，[线上(online)]，[2020年2月3日检索]，滨松光子(Hamamatsu Photonics)股份有限公司，国际互联网＜URL：https://www.hamamatsu.com/resources/pdf/sys/SDSS0008J_PMA12.pdf＞
[0007]非专利文献2：石田祐三，“超短脉冲光的产生”，光学，30卷，6号，2001年，([线上(online)]，[2020年2月3日检索]，国际互联网＜URL：https://annex.jsap.or.jp/photonics/kogaku/public/30
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kougi.pdf＞)
技术实现思路
[0008][专利技术所要解决的问题][0009]所述那样的高波长分辨率的多通道分光器可将所输入的激光光的光学频谱(以下简称为“光谱”)大致实时提示给用户，因而例如在进行激光装置的调整那样的情况下有益。但是，通常一边观看实时显示的光谱一边进行激光装置的适当的调整或评价并不容易，为了进行此种调整、评价等，要求提供更有效的信息。
[0010]本专利技术是为了解决此种问题而成，其主要目的在于提供一种可有效率且可靠地进行激光装置等的调整或评价的分光测定装置。
[0011][解决问题的技术手段][0012]为了解决所述问题而成的本专利技术的分光测定装置的一形态包括：
[0013]光谱测定部，针对作为激光光的被测定光，反复测定规定波长范围的光谱；
[0014]波峰计数部，每当由所述光谱测定部获得光谱时，从所述光谱中检测波峰并且对所检测出的波峰数进行计数；以及
[0015]显示处理部，将由所述波峰计数部所得的波峰计数结果的数值实时显示在显示部的画面上。
[0016][专利技术的效果][0017]如众所周知那样，激光大致分为单模激光(single mode laser)与多模激光(multimode laser)。单模激光具有高的聚光性，射束的截面形状为圆形，因而适于微细的印字或医疗、微细加工等用途。另一方面，多模激光与单模相比聚光性差，但容易提高输出，适于切断、焊接等机械加工。单模激光由于纵模数为1，因而光谱中仅出现一条波峰。因此，用户一边在显示画面上确认光谱一边以单模振荡的方式调整激光装置相对较容易。
[0018]另一方面，多模激光的情况下，光谱中出现多个波峰。多模激光特别要求高输出化及短脉冲化，但在以锁模(mode locking)状态运行的情况下，多模激光的脉宽或光强度依存于纵模数(参照非专利文献2等)。因此，产生多模激光的激光装置的调整中，重要的是控制纵模数。而且，对于多模激光而言，有时重要的是评价缓存一致性(cache coherency)或光谱波形的下摆部的宽广度等，此种评价中也需要掌握光谱上的波峰的个数。但是，用户从实时显示的光谱中读取波峰数相当困难。本专利技术人着眼于所述方面，想到让用户可直观地掌握实时获得的光谱中观测的波峰的个数。
[0019]即，本专利技术的所述形态的分光测定装置若被给予激光光作为被测定光，则每当更新光谱时，将最新的光谱上观测的波峰的个数以数值显示在显示部的画面上。因此，根据本专利技术的所述形态的分光测定装置，用户可在显示部的画面上实时确认测定对象的激光光的纵模数。因此，例如在用户进行多模激光装置的调整那样的情况下，能以纵模数成为所需数的方式进行调整，或者确认纵模数并立即判定调整是否合适。由此，激光装置等的调整效率提高并且其准确性也提高。
附图说明
[0020]图1为本专利技术的一实施方式的分光测定装置的主要部分的结构图。
[0021]图2为本实施方式的分光测定装置的多通道分光器的概略光路结构图。
[0022]图3为表示本实施方式的分光测定装置的显示画面的一例的图。
[0023]图4为本实施方式的分光测定装置的波峰计数处理的说明图。
具体实施方式
[0024]以下，参照附图对本专利技术的分光测定装置的一实施方式进行说明。
[0025][本实施方式的分光测定装置的结构][0026]图1为本实施方式的分光测定装置的主要部分的结构图。
[0027]如图1所示，本装置包括多通道分光器1、数据处理部2、控制部3、操作部4及显示部5。多通道分光器1包含：光输入用连接器10，连接用于输入被测定光的光纤；分光部11，将所输入的被测定光进行波长分散；以及多通道型的检测部12，检测波长分散光。数据处理部2
包含数据存储部20、光谱制作部21、波峰计数部22、趋势图表(trend graph)制作部23及显示处理部24作为功能块。
[0028]数据处理部2及控制部3以包含中央处理器(Central Processing Unit，CPU)等的计算机作为硬件资源，通过由所述计算机执行搭载于所述计算机的软件，从而实现各自的功能。
[0029]图2为图1中的多通道分光器1的概略性光路结构图。
[0030]图2中，分光部11为切尼
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特纳(Czerny
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Turner)型的分光器，包含入射狭缝110、第一凹面镜111、衍射光栅112、第二凹面镜113及转动部114。衍射光栅112通过包含马达等的转动部114而以规定角度范围自如转动。检测部12为线性传感器(linear sensor)，以可一齐检测规定波长范围的光的方式在波长分散方向配置有多数个受光元件。作为检测部12，例如可使用电荷耦合器件(C本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种分光测定装置，包括：光谱测定部，针对作为激光光的被测定光，反复测定规定波长范围的光谱；波峰计数部，每当由所述光谱测定部获得光谱时，从所述光谱中检测波峰并且对所检测出的波峰数进行计数；以及显示处理部，将由所述波峰计数部所得的波峰计数结果的数值实时显示在显示部的画面上。2.根据权利要求1所述的分光测定装置，还包括：图表制作部，制作表示由所述波峰计数部所得的波峰计数结果的时间经过的趋势图表，所述显示处理部将所述趋势图表与所述波峰计数结果的实时的数值显示在同一画面上...
【专利技术属性】
技术研发人员：平冈亮二，米泽善央，永井徹也，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：
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