用于基板处理设备的基板托盘传送系统技术方案

提供用于基板处理系统的传送机器人的方法和设备，基板处理系统包括耦接到多个处理腔室的传送腔室。传送腔室包含：传送机器人，传送机器人包含基底，基底耦接至支撑杆；以及托盘盒，托盘盒固定至基底，其中托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体，第一托盘载体用于固持第一托盘并将第一托盘从托盘盒传送至多个处理腔室中的一个处理腔室中的基座，第二托盘载体堆叠在第一托盘载体上，第二托盘载体用于固持第二托盘，其中第一托盘载体与第二托盘载体中的每一个包含多个摩擦减小装置。中的每一个包含多个摩擦减小装置。中的每一个包含多个摩擦减小装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于基板处理设备的基板托盘传送系统


[0001]本公开内容的实施方式一般涉及一种用于在处理系统中传送基板托盘的传送系统。更特定而言，本文的实施方式涉及用于在处理系统中运输太阳能电池基板的托盘传送系统。

技术介绍

[0002]太阳能电池为将阳光直接转换成电力的光伏(PV)装置。最常见的太阳能电池材料是单晶或多晶基板形式的硅。因为形成硅基太阳能电池以发电的摊销成本目前高于使用传统方法发电的成本，所以希望降低使用硅基板形成太阳能电池的成本。
[0003]当前，为了在用于PV应用的硅基板上形成膜层，将多个这样的基板放置在载体或托盘上，载体或托盘在用于处理基板或在其上形成膜层的各种处理腔室之间传送。通过使用具有终端受动器的机器人来移动基板的托盘，终端受动器被配置为在处理腔室之间传送大面积薄基板，在处理腔室中，用于形成平板显示器的膜层形成在大面积基板上。然而，托盘和硅基板比大面积基板重，并且原本用于平板显示器制造设备的终端受动器可能会失效，或者必须被加固才能支撑和传送托盘。
[0004]因此，需要一种改进的方法和设备，用于传送基板托盘以及装载在其上或其中的基板。

技术实现思路

[0005]本文描述的实施方式提供了一种用于基板处理系统的传送机器人的方法和设备，基板处理系统包括耦接到多个处理腔室的传送腔室。传送腔室包含：传送机器人，传送机器人包含基底，基底耦接至支撑杆；以及托盘盒，托盘盒固定至基底，其中托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体，第一托盘载体用于固持第一托盘并将第一托盘从托盘盒传送至多个处理腔室中的一个处理腔室中的基座，第二托盘载体堆叠在第一托盘载体上，第二托盘载体用于固持第二托盘，其中第一托盘载体与第二托盘载体中的每一个包含多个摩擦减小装置。
[0006]另一实施方式提供一种传送机器人，包含：基底，基底耦接至支撑杆；以及托盘盒，托盘盒固定至基底，其中托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体，第一托盘载体用于固持第一托盘并将第一托盘从托盘盒传送至基座，第二托盘载体用于固持第二托盘，其中第一托盘载体与第二托盘载体中的每一个垂直堆叠并包含磁悬浮组件。
[0007]另一实施方式提供一种传送机器人，包含：基底，基底耦接至支撑杆；以及托盘盒，托盘盒固定至基底，其中托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体，第一托盘载体用于固持第一托盘并将第一托盘从托盘盒传送至基座，第二托盘载体用于固持第二托盘，其中第一托盘载体与第二托盘载体中的每一个垂直堆叠并包含辊组件。
附图说明
[0008]可参考多个实施方式以更特定地说明以上简要总结的本公开内容，以更详细了解本公开内容的上述特征，附图说明了其中一些实施方式。然而应注意到，附图仅图示说明本公开内容的典型实施方式，且因此不应被视为限制本公开内容的范围，因为公开内容可允许其他等效的实施方式。
[0009]图1是适用于在基板上制造太阳能电池的多腔室基板处理系统的俯视图。
[0010]图2A
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2E是传送机器人的等距视图，示出了机械臂和托盘的各种运动。
[0011]图3A是托盘盒的等距视图。
[0012]图3B是托盘盒的(前或后)侧视图。
[0013]图3C是图3B的托盘盒的一部分的放大细节图。
[0014]图4A是其上具有托盘盒的传送机器人的侧视图(前部或后部)。
[0015]图4B是图4A所示的托盘盒的一部分的放大图。
[0016]图4C是图4A所示的托盘盒的另一部分的放大图。
[0017]图5A和5B分别是沿着图3A的线5A
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5A和5B
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5B的托盘盒的一部分的截面图，特别是第一托盘载体和托盘盒的截面图。
[0018]图6是托盘盒和托盘的示意性顶视图，示出了托盘和机械臂之间的连接接口。
[0019]图7A
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7C是基板处理系统的截面图，示出了托盘传送处理的一个实施方式。
[0020]图8A和8B是基板处理系统的截面图，示出了托盘传送处理的其他部分。
[0021]图9A至图9D是处理腔室的示意性截面图，示出了在如上所述的传送处理中升降销和磁轨的相互作用的一个实施方式。
[0022]图9E是图9A和9C中所示的基座的示意性俯视平面图，示出了其磁轨。
[0023]图10A和10B是基板处理系统的截面图，示出了托盘传送处理的另一实施方式。
[0024]图11A
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11D是处理腔室的示意性截面图，示出了在如图10A和10B中所述的传送处理中升降销和托盘辊的相互作用的另一实施方式。
[0025]图12A和12B是基板处理系统的截面图，示出了托盘传送处理的另一实施方式。
[0026]图13A至图13D是处理腔室的示意性截面图，示出了在图12A和图12B所示的传送处理中升降销和销辊的相互作用的另一实施方式。
[0027]为了协助了解，已尽可能使用相同的附图标记标定附图中共有的相同元件。已思及到，一个实施方式的元件与特征，可无需进一步的叙述即可被有益地并入其他实施方式中。
具体实施方式
[0028]本文描述的实施方式提供了一种用于传送托盘的方法和设备，托盘包含多个基板，例如由硅或其他适合形成光伏装置的材料制成的太阳能电池基板。
[0029]图1是适合于在基板上制造太阳能电池的多腔室基板处理系统100的俯视图。系统100包括多个处理腔室105和位于中央传送腔室115周围的一个或多个装载锁定腔室110。每个处理腔室105被配置为完成多个不同处理步骤中的至少一个，以实现对位于托盘(未示出)上的多个基板的期望处理。与另一个处理腔室105相比，每个处理腔室105可以被配置为提供相同的处理或不同的处理。托盘位于托盘载体120(虚线所示)上，载体120支撑并传送
托盘。另一个托盘载体位于托盘载体120的下方，此托盘载体支撑具有其他多个基板的托盘。
[0030]具有多臂传送组件128的传送机器人125位于传送腔室115内。一个托盘载体120或两个托盘载体120放置在位于传送机器人125上的托盘盒(如下所述)中。传送组件128具有两个独立操作的臂130和135，以在其上移动相同数量的托盘载体120(每个载体都可以在水平方向(X和/或Y方向)上固定单个托盘)。传送机器人125可绕旋转轴(在Z方向上)移动。传送组件128被配置为独立于传送机器人125而被支撑和移动。臂130和臂135中的每一个接合托盘载体120之一以传送单独的托盘。
[0031]托盘载体120包括多个摩擦减小装置140，摩擦减小装置140适于支撑并促进支撑在其上的托盘的运动。在一个实施方式中，传送机器人125被配置为绕竖直轴旋转和/或在竖直方向(Z方向)上线性驱动，而臂130和135被配置为在水平方向(X和/或Y线性方向)上线性移动而独立于传送机器人125并相对于传送机器人125。臂130和135的运动使相应的托盘载体120相对于摩擦减小装置140运动。传送机器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板处理系统，包含：传送腔室，所述传送腔室耦接至处理腔室，其中所述处理腔室中包含基座，所述传送腔室包含：传送机器人，所述传送机器人包含基底，所述基底耦接至支撑杆；和托盘盒，所述托盘盒固定至所述基底，其中所述托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体，所述第一托盘载体用于固持第一托盘并将所述第一托盘从所述托盘盒传送至所述处理腔室中的所述基座，所述第二托盘载体堆叠在所述第一托盘载体上，所述第二托盘载体用于固持第二托盘，其中所述第一托盘载体与所述第二托盘载体中的每一个包含多个摩擦减小装置。2.如权利要求1所述的系统，其中所述多个摩擦减小装置中的每一个包含磁悬浮组件。3.如权利要求1所述的系统，其中所述多个摩擦减小装置中的每一个包含一个或多个磁铁，所述一个或多个磁铁耦接至所述第一托盘载体与所述第二托盘载体中的每一个。4.如权利要求3所述的系统，其中所述一个或多个磁铁包含线性轨。5.如权利要求4所述的系统，其中所述线性轨包含多个线性轨。6.如权利要求1所述的系统，其中所述多个摩擦减小装置中的每一个包含辊组件。7.如权利要求6所述的系统，其中所述辊组件包含多个辊，所述多个辊耦接至所...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗田真一，阿部忍，申昌憙，小若雅彦，蔡容基，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：