一种CVD涂层炉水环泵进气口结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种CVD涂层炉水环泵进气口结构，包括进气管、导流块、加热装置、上部进气通道和下部进气通道，上部进气通道设置在进气管的内部，下部进气通道设置在上部进气通道下方的进气管内部，导流块设置在下部进气通道的内部，导流块的顶部设置有上部导流口，且导流块的底部设置有下部导流口，加热装置设置在进气管的外侧，加热装置的内壁上皆设置有等间距的环形槽，且环形槽的内部安装有环形电热丝，加热装置顶部的内壁上安装有温度传感器。本实用新型专利技术不仅导流效果好，使得粉尘和气体不易沉积和凝结，2

【技术实现步骤摘要】
一种CVD涂层炉水环泵进气口结构


[0001]本技术涉及水环泵
，具体为一种CVD涂层炉水环泵进气口结构。

技术介绍

[0002]数控刀片的CVD涂层，使用TiCl4、氯化铝、乙腈、甲烷、二氧化碳、一氧化碳、氮气、氢气为原料，在高温下反应，生成碳氮化钛涂层、氧化铝涂层，涂层反应未消耗完的尾气，以及反应生成的尾气氯化氢和粉尘，通过冷凝器冷凝后，进入尾气管被水环泵抽入中和站中和后排出。
[0003]由于尾气和粉尘在水环泵进气口球阀前面堆积堵塞进气口，随着进气口变小，炉内压力升高，超过工艺允许范围后，炉子停止运行，现有技术是停炉后，清洗尾气管后，炉内压力符合要求后继续开炉，现有技术每炉涂层工艺要清洗3
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5次尾气管，清洗尾气管要中断涂层，涂层在扫描电镜下可清晰的看到中断界面，导致涂层性能显著下降，因此我们推出一种CVD涂层炉水环泵进气口结构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种CVD涂层炉水环泵进气口结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种CVD涂层炉水环泵进气口结构，包括进气管、导流块、加热装置、上部进气通道和下部进气通道，所述上部进气通道设置在进气管的内部，所述下部进气通道设置在上部进气通道下方的进气管内部，所述导流块设置在下部进气通道的内部，所述导流块的顶部设置有上部导流口，且所述导流块的底部设置有下部导流口，所述加热装置设置在进气管的外侧，所述加热装置的内壁上皆设置有等间距的环形槽，且所述环形槽的内部安装有环形电热丝，所述加热装置顶部的内壁上安装有温度传感器，所述加热装置的外侧固定有隔热罩，所述加热装置的顶端和底端皆固定有环形定位圈，且所述环形定位圈通过定位螺栓与进气管螺纹连接。
[0006]优选的，所述进气管为不锈钢材质，使得进气管不易腐蚀生锈，更加耐用。
[0007]优选的，所述导流块为聚四氟乙烯，聚四氟乙烯具有低化学亲和性，而且耐高温，使得粉尘和气体不易沉积和凝结。
[0008]优选的，所述导流块的外径和下部进气通道的内径相同，使得导流块紧密固定在下部进气通道内。
[0009]优选的，所述导流块的下表面是与阀球直径相等的球面，使得导流块与阀球相匹配。
[0010]优选的，所述上部导流口的内径小于或者等于上部进气通道的内径，且所述上部导流口的内径大于下部导流口的内径，消除了进气管的台阶面，起到了很好的导流作用。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该CVD涂层炉水环泵进气口结构不仅导流效果好，使得粉尘和气体不易沉积和凝结，2
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3个涂层工艺后才需要清洗一次尾气管，
不会因为尾气管堵塞导致涂层中断；
[0012](1)通过设置有进气管、上部进气通道、下部进气通道、导流块、上部导流口、下部导流口、加热装置、环形电热丝，在球阀上部设置一个进气管，进气管的内部为上部进气通道和下部进气通道组成的内径变径结构，进气管上部连接尾气管，下部连接球阀，在进气管内设置一个导流块，导流块的顶部和底部分别设置有上部导流口和下部导流口，导流块的设置使得进进气管没有台阶面，由于导流块的材料优选聚四氟乙烯，具有低化学亲和性，使得粉尘和气体不易沉积和凝结，并且，在进气管的外侧设置加热装置，加热装置内部的环形电热丝加热使得进气管内部的温度提升，进气管内部的温度在45
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60℃，该温度超过冷凝器温度，进一步降低气体液化或者凝结的可能性，采用该结构，使得2
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3个涂层工艺后才需要清洗一次尾气管，不会因为尾气管堵塞导致涂层中断。
附图说明
[0013]图1为本技术的正视剖面结构示意图；
[0014]图2为本技术的进气管结构示意图；
[0015]图3为本技术的导流块结构示意图；
[0016]图4为本技术的加热装置结构示意图。
[0017]图中：1、进气管；2、导流块；3、加热装置；4、环形槽；5、环形电热丝；6、上部进气通道；7、下部进气通道；8、上部导流口；9、下部导流口；10、温度传感器；11、隔热罩；12、环形定位圈；13、定位螺栓。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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4，本技术提供的一种实施例：一种CVD涂层炉水环泵进气口结构，包括进气管1、导流块2、加热装置3、上部进气通道6和下部进气通道7，上部进气通道6设置在进气管1的内部，下部进气通道7设置在上部进气通道6下方的进气管1内部；
[0020]进气管1为不锈钢材质，使得进气管1不易腐蚀生锈，更加耐用；
[0021]导流块2设置在下部进气通道7的内部；
[0022]导流块2为聚四氟乙烯，聚四氟乙烯具有低化学亲和性，而且耐高温，使得粉尘和气体不易沉积和凝结；
[0023]导流块2的外径和下部进气通道7的内径相同，使得导流块2紧密固定在下部进气通道7内；
[0024]导流块2的下表面是与阀球直径相等的球面，使得导流块2与阀球相匹配；
[0025]导流块2的顶部设置有上部导流口8，且导流块2的底部设置有下部导流口9；
[0026]上部导流口8的内径小于或者等于上部进气通道6的内径，且上部导流口8的内径大于下部导流口9的内径，消除了进气管1的台阶面，起到了很好的导流作用；
[0027]加热装置3设置在进气管1的外侧；
[0028]加热装置3的内壁上皆设置有等间距的环形槽4，且环形槽4的内部安装有环形电
热丝5；
[0029]加热装置3顶部的内壁上安装有温度传感器10；
[0030]加热装置3的外侧固定有隔热罩11；
[0031]加热装置3的顶端和底端皆固定有环形定位圈12，且环形定位圈12通过定位螺栓13与进气管1螺纹连接。
[0032]本申请实施例在使用时：首先，在球阀上部设置一个进气管1，进气管1的内部为上部进气通道6和下部进气通道7组成的内径变径结构，而且进气管1为不锈钢材质，耐用性强，进气管1上部连接尾气管，下部连接球阀，其次，在进气管1内设置一个导流块2，导流块2的顶部和底部分别设置有上部导流口8和下部导流口9，上部导流口8的内径小于或者等于上部进气通道6的内径，上部导流口8的内径大于下部导流口9的内径，导流块2的外径和下部进气通道7的内径相同，下部导流口9的内径和球阀相等，而且导流块2的下表面是与阀球直径相等的球面，球阀的下部与水环泵连接，通过设置导流块2，使得进进气管1没有台阶面，由于导流块2的材料优选聚四氟乙烯，利用聚四氟乙烯的低化学亲和性，使得粉尘和气体不易沉积和凝结，并且，在进气管1的外侧设置加热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD涂层炉水环泵进气口结构，其特征在于，包括进气管(1)、导流块(2)、加热装置(3)、上部进气通道(6)和下部进气通道(7)，所述上部进气通道(6)设置在进气管(1)的内部，所述下部进气通道(7)设置在上部进气通道(6)下方的进气管(1)内部，所述导流块(2)设置在下部进气通道(7)的内部，所述导流块(2)的顶部设置有上部导流口(8)，且所述导流块(2)的底部设置有下部导流口(9)，所述加热装置(3)设置在进气管(1)的外侧，所述加热装置(3)的内壁上皆设置有等间距的环形槽(4)，且所述环形槽(4)的内部安装有环形电热丝(5)，所述加热装置(3)顶部的内壁上安装有温度传感器(10)，所述加热装置(3)的外侧固定有隔热罩(11)，所述加热装置(3)的顶端和底端皆固定有环形定位圈(12)，且所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄文亮，邓睦琦，
申请(专利权)人：湖南摩尔硬质合金有限公司，
类型：新型
国别省市：