一种用于太阳能电池片的飞秒激光高效无损精密划片方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于太阳能电池片的飞秒激光高效无损精密划片方法及装置，该装置包括电源、电路控制器、激光产生与聚焦单元、工件吸装单元、抽气单元、惰性辅助气流吹气装置。本发明专利技术采用飞秒激光对太阳能电池片进行划槽微加工，划片更精准，槽壁表面光洁，无热影响、应力、变形及微裂纹。通过抽气单元将真空吸盘阵列孔内的空气抽出，形成局部真空，将薄脆的太阳能电池片完好无损地牢牢吸附于移动式吸装平台上。设置了惰性辅助气流轴向吹气装置，在飞秒激光划片过程中即时吹除激光烧蚀的工件废料，减少了烧蚀废料与光致等离子体对入射激光的屏障影响，同时避免了氧化问题，从而实现了飞秒激光对太阳能电池片进行高效无损精密划片的目的。划片的目的。划片的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能电池片的飞秒激光高效无损精密划片方法及装置


[0001]本专利技术涉及光伏新能源及激光加工领域，尤其涉及一种用于太阳能电池片的飞秒激光高效无损精密划片方法及装置，可满足飞秒激光对各类太阳能电池片的高效无损精密划槽微加工。

技术介绍

[0002]太阳能是一种取之不尽、用之不竭的可再生能源。太阳能光伏电池环保安全、不易损坏、寿命长、可靠性高、成本低，在通信、交通、国防、航空航天、石油、海洋、医疗器械、仪器仪表、气象、农业及日常生活中的应用越来越广泛，特别适用于一些无人值守的特殊环境和场合。
[0003]太阳能电池板是光伏发电系统的核心部分，电池板上的抗反射薄膜涂层是一层光反射率低的物质，电池板内部的半导体结构是光伏发电的关键结构。太阳能电池片的高效无损精密划片是制造太阳能电池板的关键工艺。然而，太阳能电池片的材料主要为脆性的单晶硅、多晶硅或非晶硅，厚度很薄（一般不超过200微米），划片过程中需对划槽微加工的宽度和深度进行精密控制，而且要求电池片不能直接划断。因此，传统的机械装夹及划切方法无法满足太阳能电池片精密划槽微加工的严苛本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池片的飞秒激光高效无损精密划片装置，其特征在于，包括滑轨（1）、机床（2）、电路控制器（3）、激光聚焦系统（4）、激光头（5）、真空吸盘（6）、移动式吸装平台（7）、抽气单元（8）、承重工作台（9）、支撑柱（10）、折射镜（11）、聚焦透镜（12）、惰性辅助气流（13）、太阳能电池片（14）和折射镜（15）。2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片的飞秒激光高效无损精密划片装置，其特征在于，所述激光聚焦系统（4）内部包含折射镜（11）、聚焦透镜（12）、折射镜（15）和惰性辅助气流（13）；所述惰性辅助气流（13）的导向气管沿着先水平后轴向的方向内置于激光头（5）的立柱中。3.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片的飞秒激光高效无损精密划片装置，其特征在于，所述真空吸盘（6）通过焊接方式固连于移动式吸装平台（7）上，所述移动式吸装平台（7）位于承重工作台（9）的上方，通过移动滑轨进行X、Y、Z方向的精密移动，真空吸盘（6）的精密移位由数控平台和移动式吸装平台（7）操控，以满足飞秒激光划槽微加工过程中太阳能电池片（14）在各个方向上的精密移位要求；所述激光聚焦系统（4）和激光头（5）沿滑轨（1）的精密移位由电路控制器（3）控制数控平台实现。4.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片的飞秒激光高效无损精密划片装置，其特征在于，提出采用了一种用于太阳能电池片的飞秒激光高效无损精密划片新方法，在移动式吸装平台（7）的真空吸盘（6）上打通了阵列小孔，通过抽气单元（8）和真空吸盘（6）将阵列孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：王后孝，梁皓杰，于国强，李锐，
申请(专利权)人：山东理工大学，
类型：发明
国别省市：