一种兼容的槽体结构以及清洗设备制造技术

本实用新型专利技术涉及清洗设备技术领域，尤其涉及一种兼容的槽体结构以及清洗设备，包括，外槽和设置在所述外槽内的内槽，所述内槽包括底板和侧板，所述内槽内放置有装有工件的载具及盛有溶液，所述溶液用于清洗所述工件，所述内槽设有调整机构，所述调整机构用于调整所述内槽容积的大小。本实用新型专利技术通过设置调整挡片，在保证硅片的载具淹没正好的情况下，匹配出对应的载具在内槽的高度，不同的高度有对应的溢流口，在兼容做高度矮的载具时，溢流口全部开放，在兼容做高度较高的载具时，内槽的调整挡片挡住低的溢流口，在兼容做高度高的载具时，内槽的调整挡片挡住全部的溢流口，保证槽内的液位。液位。液位。

【技术实现步骤摘要】
一种兼容的槽体结构以及清洗设备


[0001]本技术涉及清洗设备
，尤其涉及一种兼容的槽体结构以及清洗设备。

技术介绍

[0002]随着光伏行业的发展，硅片市场大小的变化较快，设备槽体的兼容性需提高，且客户端的药液与水的消耗不可增加，因硅片大小的不一样，硅片的载具也会随之变大变小，内槽的容积也会随之变化；本专利可有效的解决药耗与水耗的问题，也同时满足客户端的兼容性。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：为了克服上述技术中的技术问题，本技术提供了一种兼容的槽体结构，包括，
[0004]外槽和设置在所述外槽内的内槽，所述内槽包括底板和侧板，所述内槽内放置有装有工件的载具及盛有溶液，所述溶液用于清洗所述工件，所述内槽设有调整机构，所述调整机构用于调整内槽容积的大小。
[0005]当内槽内放置较大尺寸的载具时，需要较多的溶液，当内槽内放置较小尺寸的载具时，不需要过多的溶液，通过设置调整机构可以使内槽内的容积变大或者变小，进而有效避免溶液的浪费。
[0006]内槽的侧板高度低于外槽的侧板高度，以实现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种兼容的槽体结构，其特征在于：包括，外槽和设置在所述外槽内的内槽，所述内槽包括底板和侧板，所述内槽内放置有装有工件的载具及盛有溶液，所述溶液用于清洗所述工件，所述内槽设有调整机构，所述调整机构用于调整所述内槽容积的大小。2.如权利要求1所述的一种兼容的槽体结构，其特征在于：所述侧板上设有多个出液口，所述多个出液口位于所述侧板的不同高度上，所述调整机构为调整挡片，所述调整挡片连接所述侧板，调整挡片的形状和尺寸与所述出液口的形状尺寸适配，用于遮盖全部或者部分所述出液口。3.如权利要求2所述的一种兼容的槽体结构，其特征在于：所述调整挡片由若干直挡板围合形成或所述调整挡片由若干截面呈L形的挡块围合形成，其中，所述调整挡片的尺寸与所述内槽的尺寸适配。4.如权利要求2所述的一种兼容的槽体结构，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，余兴梅，丁力，万红朝，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：