本实用新型专利技术涉及一种晶圆自动覆膜装置，包括底板、上板、安装件、整理件以及覆膜件；所述底板上设置有定位件和切断件，所述上板通过圆柱与底板连接，所述安装件通过模组与上板活动连接，所述整理件和覆膜件均位于安装件上，所述整理件和覆膜件均位于定位件上方，所述定位件和切断件位置相对应，所述整理件包括气管接头和气管，所述气管和气管接头连通，所述气管的管口朝向底板。本实用新型专利技术提供一种晶圆自动覆膜装置，降低了人力劳动强度，提高了工作效率，节约了生产成本。节约了生产成本。节约了生产成本。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动覆膜装置
[0001]本技术涉及晶圆覆膜领域，具体涉及一种晶圆自动覆膜装置。
技术介绍
[0002]晶圆是生产芯片的原材料，精度要求高，在晶圆生产出来后必须在其表面覆盖上保护膜对其进行保护。
[0003]现在常用的晶圆覆膜方式是：操作者手动将保护膜覆盖在晶圆的上面和下面，人力劳动强度大，工作效率低。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是：提供一种晶圆自动覆膜装置，解决以上问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供如下的技术方案：
[0006]一种晶圆自动覆膜装置，包括底板、上板、安装件、整理件以及覆膜件；所述底板上设置有定位件和切断件，所述上板通过圆柱与底板连接，所述安装件通过模组与上板活动连接，所述整理件和覆膜件均位于安装件上，所述整理件和覆膜件均位于定位件上方，所述定位件和切断件位置相对应，所述整理件包括气管接头和气管，所述气管和气管接头连通，所述气管的管口朝向底板。
[0007]进一步的，所述气管垂直放置，所述气管接头位于安装件侧面，所述覆膜件具体为电机放料组件，所述切断件包括气缸和刀具。
[0008]进一步的，所述气缸具体为无杆气缸，所述刀具与定位件位置相对应，所述刀具的刀刃朝向上板。
[0009]进一步的，所述定位件具体呈圆盘状，所述模组与切断件的方向垂直。
[0010]本技术的有益效果为：提供一种晶圆自动覆膜装置，通过底板、上板、安装件、整理件以及覆膜件相互配合使用，实现制作晶圆保护膜自动覆盖装置代替操作者手动对晶圆进行覆盖保护膜的效果，降低了人力劳动强度，提高了工作效率，节约了生产成本。
附图说明
[0011]图1为本技术一种晶圆自动覆膜装置的整体结构轴测图。
[0012]图2为本技术一种晶圆自动覆膜装置的另一整体结构轴测图。
[0013]图3为本技术一种晶圆自动覆膜装置的整体结构主视图。
[0014]图中：1、底板；2、上板；3、定位件；4、切断件；5、气缸；6、刀具；7、模组；8、整理件；81、气管接头；82、气管；9、覆膜件；10、安装件。
具体实施方式
[0015]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本
技术，并不用于限定本技术。
[0016]参考图1至图3，一种晶圆自动覆膜装置，包括底板1、上板2、安装件10、整理件8以及覆膜件9；所述底板1上设置有定位件3和切断件4，所述定位件3用于放置晶圆，所述上板2通过圆柱与底板1连接，所述安装件10通过模组7与上板2活动连接，用于提供安装件10和其上的零件运动的动力，所述整理件8和覆膜件9均位于安装件10上，用于确保两者同步运动，所述整理件8和覆膜件9均位于定位件3 上方，所述定位件3和切断件4位置相对应，用于切断定位件3上晶圆上的保护膜，所述整理件8包括气管接头81和气管82，所述气管82和气管接头81连通，用于充当气道，所述气管82的管口朝向底板1，用于对底板1上定位件3吹气，所述模组7、切断件4、整理件8以及覆膜件9均与外部控制系统连接。
[0017]所述气管82垂直放置，用于确保气管82吹出的气体垂直到达定位件3的上面，所述气管接头81位于安装件10侧面，所述覆膜件9具体为电机放料组件，用于释放保护膜，所述切断件4包括气缸5和刀具6。
[0018]所述气缸5具体为无杆气缸，所述刀具6与定位件3位置相对应，所述刀具6 的刀刃朝向上板2，用于方便将定位件3上晶圆外面的保护膜与覆膜件9上的保护膜切断。
[0019]所述定位件3具体呈圆盘状，所述模组7与切断件4的方向垂直。
[0020]本技术的工作原理为：当开始覆膜工作前，将卷状的保护膜安装在覆膜件9的转轴上，在外部控制系统的控制下模组7和覆膜件9开始工作，模组7带动覆膜件9做直线运动，在此过程中覆膜件9的电机工作带动其上的转轴旋转，在此过程中转轴将其上的保护膜释放，在此过程中覆膜件9释放的保护膜覆盖在定位件3 上，进而外部搬运机构将需要覆膜的晶圆搬运到定位件3上的保护膜上，进而模组7带动覆膜件9反向运动，在此过程中覆膜件9的电机再次工作带动转轴旋转将保护膜释放，在此过程中将保护膜放置于晶圆的上面，进一步的覆膜件9远离定位件3后整理件8到达晶圆的上方，进一步的外部控制系统通过气管接头81和气管 82向保护膜吹气，在此过程中气管82将高压空气吹到保护膜上方，使保护膜贴紧晶圆，且晶圆外侧的保护膜相互贴紧，此时完成保护膜的覆盖，进而外部控制系统停止向气管接头81通气；然后切断件4的气缸5工作带动刀具6运动将刀具6上方的保护膜切断，在此过程中实现晶圆上保护膜与覆膜件9上的保护膜的切断，进而外部搬运机构将覆膜后的晶圆搬运到指定位置处，然后模组7带动覆膜件9反向运动，在此过程中覆膜件9再次将保护膜覆盖在定位件3上，重复上述工序直到工作结束。
[0021]上述实施例用于对本技术作进一步的说明，但并不将本技术局限于这些具体实施方式。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应理解为在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动覆膜装置，其特征在于：包括底板(1)、上板(2)、安装件(10)、整理件(8)以及覆膜件(9)；所述底板(1)上设置有定位件(3)和切断件(4)，所述上板(2)通过圆柱与底板(1)连接，所述安装件(10)通过模组(7)与上板(2)活动连接，所述整理件(8)和覆膜件(9)均位于安装件(10)上，所述整理件(8)和覆膜件(9)均位于定位件(3)上方，所述定位件(3)和切断件(4)位置相对应，所述整理件(8)包括气管接头(81)和气管(82)，所述气管(82)和气管接头(81)连通，所述气管(82)的管口朝向...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈泽鹏，刘浩，
申请(专利权)人：苏州诺倍泽机电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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