清洗箱和腔体式等离子清洗机制造技术

技术编号:35473843 阅读:15 留言:0更新日期:2022-11-05 16:21
本实用新型专利技术公开一种清洗箱和腔体式等离子清洗机,其中,所述清洗箱包括箱体、箱盖和清洗框,所述箱体设置有进料口,所述箱盖设于所述进料口并与所述箱体围合形成清洗腔,所述清洗框设置于所述清洗腔内,所述清洗框用于承载物料,所述清洗框远离箱盖的一侧设置有网孔板,所述网孔板远离清洗框的一侧设置有绝缘板。本实用新型专利技术技术方案通过在清洗框后侧与腔体后壁设置绝缘板,减弱了清洗框与腔体后壁等离子放电引起的热效应,同时清洗框后侧增加网孔板相当于增大了阴极板面积,清洗腔体内偏压更低,清洗时操作员直接将清洗物料盒推到底与网孔板接触,相当于给料盒加装盖子,有效的避免了清洗物料发黄现象,并且可以提升效果。并且可以提升效果。并且可以提升效果。

【技术实现步骤摘要】
清洗箱和腔体式等离子清洗机


[0001]本技术涉及等离子清洗机
,特别涉及一种清洗箱和腔体式等离子清洗机。

技术介绍

[0002]等离子清洗机采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗对被清洗物带来的二次污染。在现有腔体式等离子清洗系统中,为提升等离子体的利用效率,多采用金属条连接电极与清洗框中心位置的方案,清洗框前后位置的开口大小一致,且距离腔体后壁与前门的距离也一致,造成清洗框前后两端形成等离子聚集区,清洗过程中易将清洗产品两端烧黄变色。为解决这一问题通常要求客户将清洗料盒的两端盖上盖子,但是这样设置操作繁琐且效率低下。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提供一种清洗箱和腔体式等离子清洗机,旨在解决清洗物料发黄现象的同时简化操作。
[0004]为实现上述目的,本技术提出一种清洗箱,应用于腔体式等离子清洗机,所述清洗箱包括:
[0005]箱体,所述箱体设置有进料口;
[0006]箱盖,所述箱盖设于所述进料口并与所述箱体围合形成清洗腔;和
[0007]清洗框,所述清洗框设置于所述清洗腔内,所述清洗框用于承载物料,所述清洗框远离所述箱盖的一侧设置有网孔板,所述网孔板远离所述清洗框的一侧设置有绝缘板。
[0008]在本申请的一实施例中,所述网孔板夹设于所述清洗框和所述绝缘板之间。
[0009]在本申请的一实施例中,所述绝缘板和所述箱体的连接处设置有支撑块,所述绝缘板的四个角卡接于所述支撑块内。
[0010]在本申请的一实施例中,所述支撑块固定连接于所述箱体内壁。
[0011]在本申请的一实施例中,所述支撑块上开设有卡槽,所述绝缘板卡接于所述卡槽内。
[0012]在本申请的一实施例中,所述绝缘板侧边和所述箱体内壁之间形成有气流通道。
[0013]在本申请的一实施例中,所述箱盖和所述箱体之间通过合页连接。
[0014]在本申请的一实施例中,所述清洗框包括承载板以及垂直于承载板设置的多个隔板,所述承载板和多个隔板以及箱体共同围合形成多个容置腔,所述多个容置腔呈矩阵排布设置。
[0015]在本申请的一实施例中,所述隔板上分布有若干供气体通过的过孔。
[0016]本技术还提出一种腔体式等离子清洗机,包括如上所述的清洗箱。
[0017]本技术技术方案通过采用在清洗框后侧与腔体后壁之间设置绝缘板,减弱了清洗框与腔体后壁等离子放电引起的热效应,同时清洗框后侧增加网孔板相当于增大了阴
极板面积,清洗腔体内偏压更低,清洗时操作员直接将清洗物料盒推到底与网孔板接触,相当于给料盒加装盖子,有效地避免了清洗物料发黄现象,提升效果。
附图说明
[0018]图1为本技术清洗箱一实施例的结构示意图;
[0019]图2为本技术清洗箱一实施例的结构爆炸图;
[0020]图3为本技术清洗箱的背部结构剖视图;
[0021]图4为本技术清洗箱的清洗框结构示意图;
[0022]图5为本技术清洗箱的支撑块结构示意图。
[0023]附图标号说明:
[0024][0025][0026]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0028]需要说明,本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
[0029]另外,在本技术中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本技术要求的保护范围之内。
[0030]在现有腔体式等离子清洗系统中,为提升等离子体的利用效率,多采用金属条连接电极与清洗框中心位置的方案,清洗框前后位置的开口大小一致,且距离腔体后壁与前
门的距离也一致,造成清洗框前后两端形成等离子聚集区,清洗过程中易将清洗产品两端烧黄变色。为解决这一问题通常要求客户将清洗料盒的两端盖上盖子,但是这样设置不但操作繁琐且效率低下。
[0031]为解决上述技术问题,本技术提出一种清洗箱100,应用于腔体式等离子清洗机,参考图1至图4所示,清洗箱100包括箱体10、箱盖15和清洗框30,箱体10设置有进料口11,箱盖15设于进料口11并与箱体10围合形成清洗腔13,清洗框30设置于清洗腔13内,清洗框30用于承载物料,清洗框30远离箱盖15的一侧设置有网孔板50,网孔板50远离清洗框30的一侧设置有绝缘板70。因清洗框30后侧与腔体后壁有绝缘板70的存在,减弱了清洗框30与腔体后壁等离子放电引起的热效应,同时清洗框30后侧增加网孔板50相当于增大了阴极板面积,清洗腔13体内偏压更低,清洗时操作员直接将清洗物料盒推至与网孔板50接触,相当于给料盒加装盖子,有效地避免了清洗物料发黄现象,并且可以提升效果。
[0032]参照图1和图2所示,箱盖15可以通过合页19密封连接于箱体10的进料口11,方便箱盖15打开放置物料,同时保证箱体10的密封性,保证清洗效果。箱盖15也可以相对箱体10前后移动,箱盖15在打开与关闭状态之间移动切换。箱盖15也可以插接于箱体10的进料口11。箱盖15和箱体10围合形成密闭的清洗腔13,在清洗腔13内设置有清洗框30,清洗框30可以分上下两层,每层各有四个相互连接的小框,待清洗的物料装入料盒后放到小框的中心位置进行清洗。清洗框30的后侧位置加装一块金属网孔板50,网孔板50的材质与清洗框30的材质相同,可以增大阴极板面积,提高清洗效率。在网孔板50的后侧设置有一块绝缘板70,在进行物料清洗时,操作员可以直接将清洗物料盒推至抵接于网孔板50的位置,相当于给料盒加装盖子,可以有效避免清洗物料发黄的现象。绝缘板70可以为陶瓷、工程塑料、玻璃等,在此不做限定。
[0033]进一步地,网孔板50夹设于清洗框30和绝缘板70之间。清洗框30靠近箱体10后壁的一侧设置有固定条(未标示),固定条卡接于清洗框30,网孔板50抵接固定条设置,绝缘板70抵接网孔板50设置,方便网孔板50安装,且连接稳定。
[0034]在本申请的一实施例中,参考本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗箱,应用于腔体式等离子清洗机,其特征在于,所述清洗箱包括:箱体,所述箱体设置有进料口;箱盖,所述箱盖设于所述进料口并与所述箱体围合形成清洗腔;和清洗框,所述清洗框设置于所述清洗腔内,所述清洗框用于承载物料,所述清洗框远离所述箱盖的一侧设置有网孔板,所述网孔板远离所述清洗框的一侧设置有绝缘板。2.如权利要求1所述的清洗箱,其特征在于,所述网孔板夹设于所述清洗框和所述绝缘板之间。3.如权利要求1所述的清洗箱,其特征在于,所述绝缘板和所述箱体的连接处设置有支撑块,所述绝缘板的四个角卡接于所述支撑块内。4.如权利要求3所述的清洗箱,其特征在于,所述支撑块固定连接于所述箱体内壁。5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:孔令民钟军勇朱霆盛辉周学慧张凯
申请(专利权)人:深圳泰德半导体装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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