成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够在成膜装置中抑制固体原料容器的误连接的技术。成膜装置包括：固体原料容器，其用于收容成膜用的固体原料；多个端子，所述多个端子与所述固体原料容器机械连接，并且所述多个端子能够变更电气状态；以及控制部，其检测所述多个端子的电气状态，并基于被检测到的电气状态来判定所述固体原料的种类。的种类。的种类。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】成膜装置


[0001]本公开涉及一种成膜装置。

技术介绍

[0002]公开了一种关于连接器设备的技术，所述连接器设备具备对多个电气设备间的信号连接进行中继的连接器，所述连接器设备还具备：至少一个连接器，所述至少一个连接器经由连接线缆而与其它电气设备连接；至少一个连接检测部，所述至少一个连接检测部分别与所述至少一个连接器对应地设置，用于判定从所述连接器输入的输入信号是否为适当的输入信号并输出判定结果，并且在该输入信号是适当的输入信号的情况下输出该输入信号；连接引导部，其保持已连接的所述连接器的连接信息，并基于该连接信息和所述判定结果来生成与用户接下来应进行的连接有关的连接引导信息；以及输出部，其将所述连接引导信息提供给用户。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2006
‑
1788889号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]本公开提供一种能够在成膜装置中抑制固体原料容器的误连接的技术。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]根据本公开的一个方式，提供一种成膜装置，其包括：固体原料容器，其用于收容成膜用的固体原料；多个端子，所述多个端子与所述固体原料容器机械连接，并且所述多个端子能够变更电气状态；以及控制部，其检测所述多个端子的电气状态，并基于被检测到的电气状态来判定所述固体原料的种类。
[0010]专利技术的效果
[0011]根据一个方面，能够在成膜装置中抑制固体原料容器的误连接。
附图说明
[0012]图1是示出实施方式的成膜装置100的结构的一例的框图。
[0013]图2A是示出连接器120A的图。
[0014]图2B是示出连接器120A的图。
[0015]图2C是示出连接器120B的图。
[0016]图3是示出连接器120A、线缆130、连接器140A、140B、I/O板150的连接状态的图。
[0017]图4是示出连接器120A、线缆130、连接器140A、140B、I/O板150的连接状态的图。
[0018]图5是示出成膜装置100的例示性的截面结构的图。
具体实施方式
[0019]下面，参照附图来说明用于实施本公开的方式。此外，在本说明书和附图中，对实质上相同的结构标注相同的附图标记，由此有时省略重复的说明。
[0020]<实施方式>
[0021]图1是示出实施方式的成膜装置100的结构的一例的框图。成膜装置100包括原料收纳部110、连接器120A、120B、线缆130、连接器140A、140B、I/O(Input/Output：输入/输出)板150、MC(Module Controller：模块控制器)160、阀170以及警报部180来作为主要的构成要素。
[0022]下面，除了使用图1以外，还使用图2A、图2B以及图2C来说明连接器120A、120B。图2A及图2B是示出连接器120A的图，图2C是示出连接器120B的图。
[0023]另外，MC 160与EC(Equipment Controller：设备控制器)200连接。EC 200是统一地控制成膜装置100和成膜装置100以外的成膜装置等的控制器，所述EC 200位于MC 160的上级。成膜装置100和EC 200构成成膜系统。作为一例，MC 160和EC 200由包括CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)、HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)、输入输出接口、用户接口以及内部总线等的计算机来实现。作为一例，用户接口是键盘、鼠标、显示器等。另外，在图1中示出EC 200的存储器201。作为一例，存储器201由ROM实现。
[0024]原料收纳部110是用于收纳一个或多个原料容器(安瓿)的空间，在图1中，在原料收纳部110内配置有原料容器111。作为一例，原料容器111是用于收容固体原料的固体原料容器的一例。作为一例，固体原料为五氯化钨(WCl5)或六氯化钨(WCl6)。五氯化钨(WCl5)和六氯化钨(WCl6)在大气压下的常温下为固体。
[0025]在原料容器111连接有原料气体送出配管111A。原料气体送出配管111A将原料容器111与成膜装置100的腔室连接，在原料气体送出配管111A设置有阀170。另外，在原料容器111设置有加热器(未图示)，通过加热来使固体原料升华并作为原料气体供给到腔室。
[0026]连接器120A、120B在原料收纳部110内相互连接。连接器120A是第一连接器的一例，连接器120B是第二连接器的一例。连接器120A与安装于原料容器111的电线125A连接，连接器120B与线缆130连接。
[0027]更具体地说，连接器120A和电线125A是如图2A所示的结构，连接器120A固定于电线125A的一端，在连接器120A设置有可装卸的盖126A。连接器120A与电线125A仅被固定，未进行电连接。设置电线125A是为了将连接器120A安装于原料容器111。在此，通过电线125A将连接器120A安装于原料容器111并且将连接器120A与连接器120B连接是用于进行成膜处理的前提条件。
[0028]如图2B所示，连接器120A具有大致圆筒状的基部121A、多个孔部122A、多个端子123A以及螺栓部124A。多个孔部122A贯通基部121A，在多个孔部122A各自的内部设置有多个端子123A。另外，螺栓部124A设置于基部121A的径向外侧，在螺栓部124A的内周面形成有螺纹。螺栓部124A转动自如地安装于基部121A。
[0029]多个端子123A是多个端子的一例，且为多个第一端子的一例，是能够插入和拔出连接器120B的销端子123B的阴型的端子。用虚线仅示出多个端子123A中的在图2B中位于近前侧的端子。连接器120A是阴型的连接器。
[0030]对各端子123A赋予了标识符。作为一例，标识符是识别编号。多个端子123A构成为相互绝缘，但在基部121A的另一个面(在图2B中看不到的背侧面)侧能够使任意两个端子123A短路。未短路的其余的端子123A之间相互电绝缘，保持着开路的状态。
[0031]端子123A绝缘以及短路是端子123A的电气状态的一例，端子123A具有能够使任意两个端子123A短路的结构是端子123A具有能够变更电气状态的结构的一例。
[0032]两个端子123A的短路例如通过在基部121A的另一个面(在图2B中看不到的背侧面)侧利用在两端具有销端子的布线等将两个端子123A连接而使它们导通来进行即可。另外，短路的端子123A的数量至少为两个即可，也可以使三个以上的端子123A短路以使它们相互本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种成膜装置，包括：固体原料容器，其用于收容成膜用的固体原料；多个端子，所述多个端子与所述固体原料容器机械连接，并且所述多个端子能够变更电气状态；以及控制部，其检测所述多个端子的电气状态，并基于被检测到的电气状态来判定所述固体原料的种类。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，在使用预先决定的固体原料进行的成膜工艺之前，在所述多个端子的所述被检测到的电气状态同与所述预先决定的固体原料对应的所述多个端子的电气状态不同的情况下，所述控制部发出警报。3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，在所述多个端子的所述被检测到的电气状态同与所述预先决定的固体原料对应的所述多个端子的电气状态不同的情况下，所述控制部还将与所述固体原料容器连接的原料供给线路的阀保持为关闭状态。4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，在使用预先决定的固体原...

【专利技术属性】
技术研发人员：关户幸一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：