光学延迟系统技术方案

本发明专利技术提供一种光学系统，包含第一光学系统、第二光学系统以及第三光学系统。第一光学系统将输入光束划分为第一光和第二光。第二光学系统包含反射第一光的凹面反射表面。第三光学系统将从第二光学系统反射的第一光和从第一光学系统反射的第二光中的至少一个引导到第三光学系统的输出光学路径。第三光学系统的输出光学路径。第三光学系统的输出光学路径。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学延迟系统

技术介绍

[0001]对于光刻的照射系统，可能需要非复杂或复杂的照射图案来照射目标表面。然而，非复杂或复杂照射图案受由照射图案的不同部分之间的干扰产生的斑点噪声影响，特别是当相干源用于产生图案时。这种噪声使光刻工艺的质量劣化且可产生错误。
附图说明
[0002]在以下详细描述和附图中公开了本专利技术的各种实施例。
[0003]图1是示出使用具有光学延迟系统的照射系统进行光刻的系统的实施例的图。
[0004]图2A是示出光学延迟系统的实施例的图。
[0005]图2B是示出用于光学延迟系统的目标平面处的输出图案的实施例的图。
[0006]图3是示出延迟系统的实施例的图。
[0007]图4是示出光学延迟系统的实施例的图。
[0008]图5A是示出用于照射的系统的实例实施例的图。
[0009]图5B是示出用于照射的系统的实施例的图。
[0010]图5C是示出用于照射的系统的实施例的图。
[0011]图5D是示出用于照射的系统的实施例的图。
[0012]图6是示出使用折叠的固体光学件的时间延迟系统的实施例的图。
[0013]图7是示出延迟元件的实施例的图。
具体实施方式
[0014]本专利技术可以许多方式来实施，包含如工艺；设备；系统；物质的组合物；在计算机可读存储介质上实施的计算机程序产品和/或处理器，例如处理器，配置成执行存储于耦合到处理器的存储器上和或由耦合到处理器的存储器提供的指令。在本说明书中，这些实施方案或本专利技术可采用的任何其它形式可被称作技术。
[0015]一般来说，可在本专利技术的范围内改变所公开的工艺的步骤的次序。除非另外说明，否则如描述为配置成执行任务的处理器或存储器的组件可实施为暂时配置成在给定时间执行任务的一般组件或制造成执行任务的特定组件。如本文中所使用，术语
‘
处理器
’
是指配置成处理数据，例如计算机程序指令的一或多个装置、电路和或处理核心。
[0016]下文连同示出本专利技术的原理的附图一起提供本专利技术的一或多个实施例的详细描述。本专利技术结合此类实施例来进行描述，但本专利技术不限于任何实施例。本专利技术的范围仅受权利要求的限制，且本专利技术涵盖许多替代方式、修改以及等效物。在以下描述中，阐述许多特定细节以便提供对本专利技术的透彻理解。这些细节是出于举例目的而提供，且可在没有这些特定细节中的一些或全部的情况下根据权利要求来实践本专利技术。为清楚起见，未详细描述在与本专利技术相关的
中已知的技术材料，以免不必要地混淆本专利技术。
[0017]公开了一种光学延迟系统。
[0018]在一些实施例中，光学延迟系统包含光束分离器、中间光学零件以及光束组合器。
光束分离器将输入光束划分为第一光和第二光，且将第一光和第二光引导到不同方向。中间光学零件包含折射第一光的折射表面以及反射来自折射表面的第一光的凹面镜。光束组合器将第一光和第二光从凹面镜引导到相同方向，其中从凹面镜到光束组合器的第一光穿过折射表面。
[0019]在一些实施例中，光学延迟系统包含光束分离器、中间光学零件以及光束组合器。光束分离器将输入光束划分为第一光和第二光，且将第一光和第二光引导到不同方向。光束分离器可在相同方向上引导第一光和第二光。中间光学零件包含反射来自光束分离器的第一光且具有凹面形状的第一反射表面，及反射来自第一反射表面的第一光束且将第一光束引导到第一反射表面的第二反射表面。光束组合器将第一光和第二光从第二反射表面引导到相同方向，其中从第二反射表面到光束组合器的第一光穿过所述第一反射表面。光束组合器可将第一光和第二光引导到不同方向。
[0020]在一些实施例中，光学或时间延迟系统包括多个臂，所述多个臂横穿使得细束集合中的每一细束横穿多个臂的不同排列，以便减小由时间延迟系统输出的细束集合中的每一细束之间的时间相干性。在一些实施例中，时间延迟系统包含多个时间延迟臂，其中多个时间延迟臂的臂中的光路径经折叠。在各种实施例中，臂中的光路径大体上在玻璃中(例如，大致1.5的折射率)或高于空气折射率的任何其它适当的位置。在一些实施例中，臂中的光路径大体上在空气中。在一些实施例中，光路径折叠了N次。在各种实施例中，N是1、2、3、4、5、6、7、8、9、10或更大，或任何其它适当的值。
[0021]在一些实施例中，光学系统包括：第一光学系统，将输入光束划分为第一光和第二光；第二光学系统，包含反射第一光的凹面反射表面；以及第三光学系统，将从第二光学系统反射的第一光和从第一光学系统反射的第二光中的至少一个引导到第三光学系统的输出光学路径。
[0022]在一些实施例中，第二光学系统包含布置于第一光学系统与凹面镜之间的折射部件。在一些实施例中，折射部件布置于凹面镜与第三光学系统之间。在一些实施例中，折射部件具有大体上定位于凹面反射表面上的后焦点。在一些实施例中，第二光学系统包含反射表面，所述反射表面反射来自凹面反射表面的第一光，且其中凹面反射表面反射来自第二光学系统的反射表面的第一光。在一些实施例中，系统进一步包括布置于凹面反射表面与反射表面之间的折射部件。在一些实施例中，凹面反射表面和反射表面形成于折射部件上。在一些实施例中，反射表面具有凹面形状。在一些实施例中，反射表面具有凸出形状。在一些实施例中，凹面反射表面面向第一光学系统与第三光学系统之间的第二光的光束路径。在一些实施例中，来自第三光学系统的第一光和来自第三光学系统的第二光穿过不同位置。在一些实施例中，系统进一步包括第四光学系统，所述第四光学系统包含反射来自第三光学系统的第一光的凹面反射表面。在一些实施例中，第二光学系统的光轴与第四光学系统的光轴彼此偏心。在一些实施例中，第三光学系统将来自第二光学系统的第一光划分为第三光和第四光。在一些实施例中，系统进一步包括布置于第三光学系统的输出路径上的第五光学系统。
[0023]在一些实施例中，光学系统包括时间延迟系统以及第一细束阵列和第二细束阵列。时间延迟系统利用相干输入照射源产生具有减小的斑点的细束集合。第一细束阵列和第二细束阵列转向和整形细束集合，以在目标平面处实现照射图案。在各种实施例中，第一
细束阵列或第二细束阵列包括以下中的一或多个：反射表面、折射表面、衍射元件、全息图和/或超表面，或任何其它适当的元件。在一些实施例中，照射图案包括细束阵列。在各种实施例中，阵列包括以下中的一个：正方形阵列、矩形阵列、具有环形的总体形状的阵列、具有偶极的总体形状的阵列，或具有四极的总体形状的阵列，或任何其它适当的几何形状。在一些实施例中，时间延迟系统包括多个臂，所述多个臂横穿使得细束集合中的每一细束横穿多个臂的不同排列，以便减小由时间延迟系统输出的细束集合中的每一细束之间的时间相干性。在一些实施例中，相干输入照射源包括脉冲激光。在一些实施例中，系统配置成将掩模版安置于目标平面处。在一些实施例中，系统配置成将掩模版的图像投影在晶片上。
[0024]在一些实施例中，时间延迟系统包括：光束分离器，将输入光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学系统，包括：第一光学系统，将输入光束划分为第一光和第二光；第二光学系统，包含反射所述第一光的凹面反射表面；以及第三光学系统，将从所述第二光学系统反射的所述第一光和从所述第一光学系统反射的所述第二光中的至少一个引导到所述第三光学系统的输出光学路径。2.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述第二光学系统包含布置于所述第一光学系统与所述凹面镜之间的折射部件。3.根据权利要求2所述的光学系统，其中所述折射部件布置于所述凹面镜与所述第三光学系统之间。4.根据权利要求2或3所述的光学系统，其中所述折射部件具有大体上定位于所述凹面反射表面上的后焦点。5.根据权利要求1或2所述的光学系统，其中所述第二光学系统包含反射表面，所述反射表面反射来自所述凹面反射表面的所述第一光，且其中所述凹面反射表面反射来自所述第二光学系统的所述反射表面的所述第一光。6.根据权利要求5所述的光学系统，进一步包括布置于所述凹面反射表面与所述反射表面之间的折射部件。7.根据权利要求6所述的光学系统，其中所述凹面反射表面及所述反射表面形成于所述折射部件上。8.根据权利要求5至7中任一项所述的光学系统，其中所述反射表面具有凹面形状。9.根据权利要求5或6所述的光学系统，其中所述反射表面具有凸出形状。10.根据权利要求1至9中一项所述的光学系统，其中所述凹面反射表面面向所述第二光在所述第一光学系统与所述第三光学系统之间的光束路径。11.根据权利要求1至10中任一项所述的光学系统，其中来自所述第三光学系统的所述第一光及来自所述第三光学系统的所述第二光穿过不同位置。12.根据权利要求1至11中任一项所述的光学系统，进一步包括第四光学系统，所述第四光学系统包含反射来自所述第三光学系统的所述第一光的凹面反射表面。13.根据权利要求12所述的光学系统，其中所述第二光学系统的光轴与所述第四光学系统的光轴彼此偏心。14.根据权利要求12或13所述的光学系统，其中所述第三光学系统将来自所述第二光学系统的所述第一光划分为第三光及第四光。15.根据权利要求14所述的光学系统，进一步包括布置于所述第三光学系统的所述输出路径上的第五光学系统。16.一种光学系统，包括：时间延迟系统，其中所述时间延迟系统从相干输入照射源产生具有减小的斑点的细束集合；第一细束阵列及第二细束阵列，其中所述第一细束阵列及所述第二细束阵列转向且整形所述细束集合，以在目标平面处实现照射图案。17.根据权利要求16所述的光学系统，其中所述第一细束阵列或所述第二细束阵列包括以下中的一或多个：反射表面、折射表面、衍射元件、全息图和/或超表面。
18.根据权利要求16或17所述的光学系统，其中所述照射图案包括细束阵列。19.根据权利要求18所述的光学系统，其中所述阵列包括以下中的一个：正方形阵列、矩形阵列、具有环形的总体形状的阵列、具有偶极的总体形状的阵列、或具有四极的总体形状的阵列。20.根据权利要求16至19中任一项所述的光学系统，其中所述时间延迟系统包括多个臂，所述多个臂横穿使得所述细束集合中的每一细束横穿所述多个臂的不同排列，以便减小由所述时间延迟系统输出的所述细束集合中的每一细束之间的时间相干性。21.根据权利要求16至20中任一项所述的光学系统，其中所述相干输入照射源包括脉冲激光。22.根据权利要求16至21中任一项所述的光学系统，其中所述系统配置成将掩模版安置于所述目标平面处。23.根据权利要求22所述的光学系统，其中所述系统配置成将所述掩模版的图像投影在晶片上。24.根据权利要求16至23中任一项所述的光学系统，其中所述时间延迟系统包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：布赖恩，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：