【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板处理装置和基板处理方法
[0001]公开的实施方式涉及一种基板处理装置和基板处理方法。
技术介绍
[0002]以往，在专利文献1中公开了一种使处理液在基板处理槽中循环，来对浸在基板处理槽中的基板进行处理的基板处理装置。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2018
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133558号公报
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的问题
[0007]本公开提供一种能够提高基板处理槽的温度均匀性的技术。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]根据实施方式的一个方式所涉及的基板处理装置具备基板处理槽、第一循环线路以及第二循环线路。在基板处理槽中，通过将基板浸在处理液中来对基板进行处理。第一循环线路与基板处理槽连接，用于使从基板处理槽排出的处理液流入基板处理槽。第二循环线路与第一循环线路连接，用于使从基板处理槽排出的处理液合流到第一循环线路中。第一循环线路具备：第一送液部，其对处理液进行加压输送；加热...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板处理装置，具备：基板处理槽，其通过将基板浸在处理液中来对所述基板进行处理；第一循环线路，其与所述基板处理槽连接，用于使从所述基板处理槽排出的所述处理液流入所述基板处理槽；以及第二循环线路，其与所述第一循环线路连接，用于使从所述基板处理槽排出的所述处理液合流到所述第一循环线路中，其中，所述第一循环线路具备：第一送液部，其对所述处理液进行加压输送；加热部，其将所述处理液进行加热；以及过滤器，其去除所述处理液中的异物，所述第二循环线路具备第二送液部，所述第二送液部对所述处理液进行加压输送。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述第二循环线路连接于所述第一循环线路中的、在述处理液的流动方向上比所述第一送液部及所述加热部更靠下游侧的连接部。3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，还具备搅拌部，所述搅拌部设置于所述第一循环线路中比所述连接部更靠所述下游侧的位置，所述搅拌部对所述处理液进行搅拌。4.根据权利要求2或3所述的基板处理装置，其特征在于，所述第一循环线路具备用于使所述处理液流入所述基板处理槽的多个分支线路，所述第二循环线路具备旁通线路，所述旁通线路绕过所述连接部并与所述多个分支线路中的一部分分支线路连接。5.根据权利要求2至4中的任一项所述的基板处理装置，其特征在于，所述第二循环线路具备过滤器，该过滤器去除所述处理液中的异物。6.根据权利要求2至5中的任一项所述的基板处理装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：永松辰也，稻田尊士，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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