激光加工方法技术

提供一种激光加工方法，即使在形成多个贯通孔的情况下，也能够减少工件中产生的形变。激光加工方法包括以下工序：使工件(1)的背面侧的气压成为比正面侧的气压大的状态的气体供给工序(S3)；从工件(1)的正面侧照射具有第一重复频率(f1)的脉冲激光，在工件(1)上形成贯通孔(A)的深孔工序(S5)；以及向贯通孔(A)的内表面照射具有比第一重复频率(f1)小的第二重复频率(f2)的脉冲激光的精加工工序(S7)。重复频率(f2)的脉冲激光的精加工工序(S7)。重复频率(f2)的脉冲激光的精加工工序(S7)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光加工方法


[0001]本专利技术涉及激光加工方法。

技术介绍

[0002]在照射激光脉冲而在工件上形成贯通孔时，根据孔的深度等来适当设定激光的峰值输出、脉冲宽度、重复频率、发射数等。在加工时，从激光照射侧供给气体，防止烟尘飞入激光加工头。另外，将熔融金属从贯通后的孔排出，防止浮渣(熔融物)附着于孔的内表面。
[0003]但是，特别是在通过激光加工将多个贯通孔接近地形成的情况下，有时会发生由激光的热输入引起的重铸(recast、再熔融)，并且会因熔融金属的凝固而发生形变。而且，由于该形变，有可能在工件上产生裂纹。考虑一边抑制热输入一边进行激光加工，但存在加工时间大幅延长的缺点。
[0004]因此，在专利文献1中公开了从工件的激光射出侧也供给气体，使射出侧的气压比入射侧高。由此，形成从射出侧朝向入射侧的气流，将加工时产生的浮渣向入射侧排出。
[0005]另外，在专利文献2中公开了在照射纳秒激光进行了底孔加工之后，照射皮秒激光进行精加工。由此，抑制精加工时的温度上升，精加工精度得到提高。
[0006]现有技术文献<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种激光加工方法，其特征在于，包括以下工序：使工件的背面侧的气压成为比正面侧的气压大的状态的工序；从所述工件的正面侧照射具有第一重复频率的脉冲激光，在该工件上形成贯通孔的工序；以及向所述贯通孔的内表面照射具有比所...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林崇，大久保成彦，深海健一，纐缬诚一，
申请(专利权)人：本田技研工业株式会社，
类型：发明
国别省市：