一种用于精密仪器的磁浮隔振基座制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于精密仪器的磁浮隔振基座，包括面板和支撑架，所述面板底部连接有橡胶板，所述橡胶板底部连接有支撑板，所述支撑板底部连接有支撑框体，所述支撑框体内部中间位置安装有支撑柱，所述支撑框体四周及底部的中间位置安装有永磁体，所述支撑架内部与永磁体对应位置安装有电磁铁，所述支撑板底部还安装有速度传感器和位移传感器，所述支撑架内部还安装有控制器。本实用新型专利技术结构简单，在垂直和水平三个自由度方向上都具有较小的刚度，系统在垂向和水平方向上的固有频率能现实小于0.5Hz。现实小于0.5Hz。现实小于0.5Hz。

【技术实现步骤摘要】
一种用于精密仪器的磁浮隔振基座


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种用于精密仪器的磁浮隔振基座。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。
[0004]在EUV等光刻机中，运动台都是处在真空环境中，而目前市场上常用的气浮型隔振器排放的气体会污染真空环境，而单一的磁浮隔振器存在隔振带窄，定位不够精确等问题。

技术实现思路

[0005]技术的目的在于提供一种用于精密仪器的磁浮隔振基座，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0006]本技术的技术方案是这样实现的：
[0007]一种用于精密仪器的磁浮隔振基座，包括面板和支撑架，所述面板底部连接有橡胶板，所述橡胶板底部连接有支撑板，所述支撑板底部连接有支撑框体，所述支撑框体内部中间位置安装有支撑柱，所述支撑框体四周及底部的中间位置安装有永磁体，所述支撑架内部与永磁体对应位置安装有电磁铁，所述支撑板底部还安装有速度传感器和位移传感器，所述支撑架内部还安装有控制器。
[0008]进一步地，所述面板、支撑板均有铝合金板制成矩形结构。
[0009]进一步地，所述支撑架由五块铝合金板制成无顶板的矩形框架。
[0010]进一步地，所述支撑框体由五块铝合金板制成无顶板的矩形框架。
[0011]进一步地，所述支撑柱由不锈钢方管制成。
[0012]进一步地，所述控制器通过电缆与速度传感器、位移传感器连接。
[0013]本技术的有益效果为：
[0014]本技术主要由铝合金材质制成，可以很好的屏蔽磁场对生产设备的影响，垂直方向上的橡胶板，具有很好的阻尼效果，能够实现高频振动的隔振，并通过磁浮驱动进行重力支撑补偿，垂直方向上能够获得高精度定位，水平方向上通过四个磁浮驱动装置实现低频隔振；本技术结构简单，在垂直和水平三个自由度方向上都具有较小的刚度，系统在垂向和水平方向上的固有频率能现实小于0.5Hz。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图。
[0016]图2为本技术的A
‑
A部剖视图。
[0017]图中1
‑
面板，2
‑
支撑架，3
‑
橡胶板，4
‑
支撑板，5
‑
支撑框体，6
‑
支撑柱，7
‑
永磁体，8
‑
电磁铁，9
‑
速度传感器，10
‑
位移传感器，11
‑
控制器。
具体实施方式
[0018]下面将结合实施例对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如图1
‑
2所示，一种用于精密仪器的磁浮隔振基座，包括面板1和支撑架2，所述面板1底部连接有橡胶板3，所述橡胶板3底部连接有支撑板4，所述支撑板4底部连接有支撑框体5，所述支撑框体5内部中间位置安装有支撑柱6，所述支撑框体5四周及底部的中间位置安装有永磁体7，所述支撑架2内部与永磁体7对应位置安装有电磁铁8，所述支撑板4底部还安装有速度传感器9和位移传感器10，所述支撑架2内部还安装有控制器11。
[0020]所述面板1、支撑板4均有铝合金板制成矩形结构。
[0021]所述支撑架2由五块铝合金板制成无顶板的矩形框架。
[0022]所述支撑框体5由五块铝合金板制成无顶板的矩形框架。
[0023]所述支撑柱6由不锈钢方管制成。
[0024]所述控制器11通过电缆与速度传感器9、位移传感器连接10。
[0025]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于精密仪器的磁浮隔振基座，包括面板和支撑架，其特征在于，所述面板底部连接有橡胶板，所述橡胶板底部连接有支撑板，所述支撑板底部连接有支撑框体，所述支撑框体内部中间位置安装有支撑柱，所述支撑框体四周及底部的中间位置安装有永磁体，所述支撑架内部与永磁体对应位置安装有电磁铁，所述支撑板底部还安装有速度传感器和位移传感器，所述支撑架内部还安装有控制器。2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的磁浮隔振基座，其特征在于，所述面板、支撑板均有铝合金板制成矩形结...

【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，尹波，孙乐，
申请(专利权)人：大连地拓重工有限公司，
类型：新型
国别省市：