一种磁控溅射靶检漏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射靶检漏装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括底座、室真空表、与密封腔室连接并连通的进气管、抽气管以及检漏管道，底座内部开设有密封腔室，底座顶部开设有一通孔，底座顶部具有一用于放置阴极靶的平面，阴极靶具有阴极腔室以及与阴极腔室连接并连通的冷却水进水管接口和冷却水出水管接口，密封腔室和阴极腔室通过通孔相连通；进气管上设置有放气手阀；抽气管远离密封腔室的一端连接并连通有抽气装置，抽气管上设置有抽气手阀和管道真空表；检漏管道上设置有检漏手阀，检漏管道远离抽气管的一端与一检漏仪连接并连通。本实用新型专利技术提供的磁控溅射靶检漏装置，能够对阴极靶进行检漏。能够对阴极靶进行检漏。能够对阴极靶进行检漏。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射靶检漏装置


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，特别是涉及一种磁控溅射靶检漏装置。

技术介绍

[0002]在Low
‑
E玻璃制作过程中，需通过磁控溅射真空镀膜设备进行镀膜，在镀膜过程中需要用到旋转靶和平面靶，由于每个靶的靶材都是消耗品，必须定期更换，在这个更换的过程中反复拆装会引起阴极靶以及各密封面漏气，导致密封不彻底，无法正常抽真空和镀膜，影响生产效率，将未经真空检漏的阴极靶直接集中吊装到生产线上，如果存在密封不彻底的问题，对整个生产线进行真空检漏，将会大大增加真空检漏的难度，检漏过程浪费时间，并且很难发现漏点。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种磁控溅射靶检漏装置，以解决上述现有技术存在的问题，能够对阴极靶进行检漏。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0005]本技术提供一种磁控溅射靶检漏装置，包括底座、设置于所述底座上并能够检测所述密封腔室中压力的腔室真空表、与所述密封腔室连接并连通的进气管、与所述密封腔室连接并连通的抽气管以及与所述抽气管连接并连通的检漏管道，所述底座内部开设有密封腔室，所述底座顶部开设有一与所述密封腔室相连通的通孔，所述底座顶部具有一用于放置阴极靶的平面，所述阴极靶具有阴极腔室以及与所述阴极腔室连接并连通的冷却水进水管接口和冷却水出水管接口，所述冷却水进水管接口和所述冷却水出水管接口均密封，所述密封腔室和所述阴极腔室通过所述通孔相连通，所述阴极靶与所述底座相接处密封；所述进气管上设置有放气手阀；所述抽气管远离所述密封腔室的一端连接并连通有抽气装置，所述抽气管上设置有抽气手阀和能够检测所述抽气管中压力的管道真空表；所述检漏管道与所述抽气管连接处位于所述抽气手阀和所述抽气装置之间，所述检漏管道上设置有检漏手阀，所述检漏管道远离所述抽气管的一端与一检漏仪连接并连通。
[0006]优选的，所述底座顶部设置有多个用于对放置于所述底座上的所述阴极靶进行定位的定位销。
[0007]优选的，所述抽气装置为抽气泵。
[0008]本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0009]本技术提供的磁控溅射靶检漏装置，阴极靶能够放置于底座上，阴极腔室通过通孔能够与密封腔室相连通，阴极靶与底座相接处密封，以避免阴极腔室与密封腔室之间漏气，关闭进气管上的放气手阀，同时关闭抽气管上的抽气手阀，关闭检漏管道上的检漏手阀后，通过抽气装置能够对密封腔室进行抽气，腔室真空表和管道真空表检测压力稳定后，打开检漏手阀，通过检漏仪能够对整个阴极腔室、冷却水进水管接口和冷却水出水管接口检漏。
附图说明
[0010]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0011]图1为本技术提供的磁控溅射靶检漏装置的结构示意图；
[0012]图中：100
‑
磁控溅射靶检漏装置；1
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底座；11
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定位销；12
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腔室真空表；13
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进气管；131
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放气手阀；14
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抽气管；141
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抽气手阀；142
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管道真空表；15
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抽气装置；16
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检漏管道；161
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检漏手阀；2
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阴极靶；21
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阴极腔室；22
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冷却水进水管接口；23
‑
冷却水出水管接口。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0014]本技术的目的是提供一种磁控溅射靶检漏装置，以解决现有技术存在的问题，能够对阴极靶进行检漏。
[0015]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0016]本技术提供一种磁控溅射靶检漏装置100，如图1所示，于本实施例中，包括底座1、设置于底座1上并能够检测密封腔室中压力的腔室真空表12、与密封腔室连接并连通的进气管13、与密封腔室连接并连通的抽气管14以及与抽气管14连接并连通的检漏管道16，底座1内部开设有密封腔室，底座1顶部开设有一与密封腔室相连通的通孔，底座1顶部具有一用于放置阴极靶2的平面，阴极靶2具有阴极腔室21以及与阴极腔室21连接并连通的冷却水进水管接口22和冷却水出水管接口23，冷却水进水管接口22和冷却水出水管接口23均密封，此处冷却水进水管接口22和冷却水出水管接口23密封指的是冷却水进水管接口22远离阴极腔室21的一端密封以及冷却水出水管接口23远离阴极腔室21的一端密封，密封腔室和阴极腔室21通过通孔相连通，阴极靶2与底座1相接处密封；进气管13上设置有放气手阀131；抽气管14远离密封腔室的一端连接并连通有抽气装置15，抽气管14上设置有抽气手阀141和能够检测抽气管14中压力的管道真空表142；检漏管道16与抽气管14连接处位于抽气手阀141和抽气装置15之间，检漏管道16上设置有检漏手阀161，检漏管道16远离抽气管14的一端与一检漏仪连接并连通。
[0017]阴极靶2能够放置于底座1上，底座1优选为不锈钢材质，阴极腔室21通过通孔能够与密封腔室相连通，阴极靶2与底座1相接处密封，以避免阴极腔室21与密封腔室之间漏气，关闭进气管13上的放气手阀131，同时关闭抽气管14上的抽气手阀141，关闭检漏管道16上的检漏手阀161后，通过抽气装置15能够对密封腔室进行抽气，此时观察腔室真空表12和管道真空表142，腔室真空表12和管道真空表142稳定后，检漏仪连接检漏管道16，打开检漏手阀161，对整个阴极腔室21、冷却水进水管接口22和冷却水出水管接口23检漏，如果发现漏点可及时处理，直到不漏为止，当检漏完成需要吊走阴极靶2时，需先关闭抽气手阀141和抽
气泵，并打开放气手阀131破真空即可，拆除检漏仪后可打开检漏手阀161对抽气管14破真空，通过本技术提供的磁控溅射靶检漏装置100来模拟生产时的真空环境，能够轻松进行检漏作业以及观察阴极靶2是否漏气。
[0018]底座1顶部设置有多个用于对放置于底座1上的阴极靶2进行定位的定位销11，当需要对阴极靶2检漏时，可使用行车将阴极靶2吊置于底座1上，通过定位销11能够将阴极靶2吊置于固定位置，保证阴极腔室21密封本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射靶检漏装置，其特征在于：包括：底座，所述底座内部开设有密封腔室，所述底座顶部开设有一与所述密封腔室相连通的通孔，所述底座顶部具有一用于放置阴极靶的平面，所述阴极靶具有阴极腔室以及与所述阴极腔室连接并连通的冷却水进水管接口和冷却水出水管接口，所述冷却水进水管接口和所述冷却水出水管接口均密封，所述密封腔室和所述阴极腔室通过所述通孔相连通，所述阴极靶与所述底座相接处密封；设置于所述底座上并能够检测所述密封腔室中压力的腔室真空表；与所述密封腔室连接并连通的进气管，所述进气管上设置有放气手阀；与所述密封腔室连接并连通的抽气...

【专利技术属性】
技术研发人员：王慧明，徐浩，
申请(专利权)人：长利玻璃洪湖有限公司，
类型：新型
国别省市：