一种针对电解镍板的物理清洗方法技术

本发明专利技术提供了一种针对电解镍板的物理清洗方法，将待清洗电解镍板依次进行喷砂、水冲洗与干燥，得到清洗后电解镍板，所述物理清洗方法不仅可以有效去除待清洗电解镍板上的氧化皮与油污，还可以避免酸洗方式产生的废酸与废气，具有方便快捷、操作简单、环保安全等优点，便于推广使用。便于推广使用。便于推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种针对电解镍板的物理清洗方法


[0001]本专利技术涉及镍靶材制造
，具体涉及一种针对电解镍板的物理清洗方法。

技术介绍

[0002]物理气相沉积(PVD)技术应用于很多领域，其利用溅射靶材组件可提供带有原子级光滑表面的具有精确厚度的薄膜材料沉积物。靶材组件是由符合溅射性能的靶材和适于与靶材结合并具有一定强度的背板构成。在溅射过程中，靶材组件装配至溅射基台，位于充满惰性气体气氛的腔室里的靶材暴露于电场中从而产生等离子区。等离子区的等离子与溅射靶材的表面发生碰撞，从而从靶材表面逸出原子，靶材与待涂布基材之间的电压差使得逸出原子在基材表面上形成预期的薄膜。
[0003]高纯镍靶材是半导体行业中非常重要的一种金属靶材，一般是通过电子束(EB)熔炼的方式生产高纯(≥4N)镍锭，再对高纯镍锭进行热塑性变形加工得到高纯镍靶材。例如CN102409184A公开了一种纯镍板坯的制备方法，包括：(1)将质量纯度不小于99％的电解镍置于中频真空感应炉中熔炼制备纯镍铸锭；(2)将两个以上纯镍铸锭在真空自耗电弧炉内进行焊接，然后对焊接后的纯镍铸锭进行1～2次真空自耗电弧熔炼，切去冒口、锭底，除去表皮气孔，得到成品铸锭；(3)采用电炉将成品铸锭加热并保温，然后采用自由锻的方式对成品铸锭进行多火次的锻造，得到纯镍板坯。本专利技术采用真空自耗电弧熔炼的方式进行成品铸锭的熔炼，可解决电渣重熔过程金属液过热导致最终铸锭晶粒长大，后续加工性能变差的问题，还可以避免铸锭中有害杂质S、P、O、H的含量增加。制备的纯镍板坯表面质量良好、无裂纹、杂质含量少、组织细小均匀。
[0004]CN112609087A公开了一种高纯镍锭的冷床电子束熔炼方法，包括如下步骤：S1、选取高纯电解镍板作为原材料，打磨后采用清洗液对其进行清洗并烘干，记录重量后，将其有序装入电子束炉的料仓中固定好，并对电子束炉内进行抽真空处理；S2、对电子枪进行预热并加功率，待电子枪稳定后，启动推料机构，将经步骤S1固定好的料仓中所述高纯电解镍板依次推入冷床中进行熔化完全后，形成镍熔体，并将所述镍熔体在冷床上停留2
‑
4min，待所述镍熔体充分放气后，将所述镍熔体流入铸锭坩埚中，制得镍锭；S3、依次关闭电子枪和真空体系，打开电子束炉，取出经步骤S2制得的所述镍锭。本专利技术方法解决镍锭在熔炼过程中遇到的内部缺陷问题，提高产品合格率和生产效率。
[0005]CN106399721A公开了一种杂质元素含量低，高纯镍锭的制备工艺，即一种半导体靶材用高纯镍锭的制备工艺，主要步骤是备料、装炉、多次熔炼，即采用电子束炉熔炼，熔炼在维持炉膛真空度≤1.0
×
10
‑2Pa时开始升温熔炼，熔炼温度控制在≥2130℃；控制熔炼速度≤20.1kg/h，充分融化电解镍板；熔炼后形成的镍锭在炉膛里冷却6h～12h，出炉。本专利技术根据物料质量的多少来选择熔炼速度、温度和时间等参数，在熔炼过程操控电子束的精准分布，能最大效能控制金属的纯度和杂质的挥发去除；高纯金属镍质量无气孔，无夹杂，适合于靶材后续的利用加工。
[0006]通过上述现有技术可以看出，采用电子束(EB)熔炼的方式生产高纯(≥4N)镍锭往
往用电解镍板作为原材料。例如CN103498169A公开了一种降低电解镍杂质硫的制备方法，属于湿法冶金
高冰镍铸成阳极板，置于电解槽中进行硫化镍阳极直接电解，阴极为种板槽生产出的镍始极片，将阴极置于隔膜袋中，净化后的电解液进入阴极室，阴极室液位高于阳极室液位，使阳极液不能进入阴极室。在电解槽内通电生产电解镍。阳极液净化采用萃取除铜、氧化中和除铁、萃取除钴及降硫四段净化。正常电解后生产出的电解镍中杂质硫为<0.001％，其平均含量为0.0005％。本专利技术是以正常可溶性阳极为模板，通过降低阴极液中硫含量，从而降低电解镍板的杂质硫含量，得到杂质硫含量极低的电解镍成品。该工艺方法简单，可有效控制电解镍中的杂质硫含量，得到优质电解镍成品应用广泛。
[0007]但是，电解镍板尺寸比较大，尺寸在1m
×
1m以上，而电子束熔炼的进料口较小，因此需要使用剪板机将电解镍板进行剪切得到合适的长条状电解镍条。电解镍条一是表面有一层氧化皮(三氧化二镍)，二是经过剪板机剪切时会沾上油污。针对电解镍条表面的氧化皮和油污，常用方法是酸洗方式，但是由于电解镍条长度较长，酸洗不方便，再加上酸洗方式会产生大量的废酸和废气，既污染环境，还危害操作人员的人身安全。
[0008]综上所述，目前亟需开发一种针对电解镍板的新型清洗方法。

技术实现思路

[0009]鉴于现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种针对电解镍板的物理清洗方法，将待清洗电解镍板依次进行喷砂、水冲洗与干燥，得到清洗后电解镍板，所述物理清洗方法不仅可以有效去除待清洗电解镍板上的氧化皮与油污，还可以避免酸洗方式产生的废酸与废气，具有方便快捷、操作简单、环保安全等优点，便于推广使用。
[0010]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0011]本专利技术的目的在于提供一种针对电解镍板的物理清洗方法，所述物理清洗方法包括：将待清洗电解镍板依次进行喷砂、水冲洗与干燥，得到清洗后电解镍板。
[0012]喷砂是一种利用高速砂流的冲击作用进行清理和粗化基体表面的过程。采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将一定粒径的喷料高速喷射到需要处理的工件表面，使工件表面的外表面或形状发生变化，由于喷料对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善，因此提高了工件的抗疲劳性。
[0013]本专利技术所述物理清洗方法先利用喷砂将待清洗电解镍板表面的氧化皮与油污有效去除，再使用高压水冲洗来清除表面残余的砂粒，最后经过干燥去除存留水分，即可得到清洗后电解镍板。本专利技术所述物理清洗方法不仅可以有效去除待清洗电解镍板上的氧化皮与油污，还可以避免酸洗方式产生的废酸与废气，具有方便快捷、操作简单、环保安全等优点，便于推广使用。
[0014]作为本专利技术优选的技术方案，将电解镍板按照电子束熔炼炉进料口尺寸进行剪切处理，得到所述待清洗电解镍板。
[0015]值得说明的是，需要先按照后续电子束熔炼炉进料口尺寸剪切得到待清洗电解镍板，再进行本专利技术所述物理清洗得到清洗后电解镍板直接进行电子束熔炼处理，避免清洗干净后的电解镍板经剪切再次引入油污，造成二次清洗的问题。
[0016]优选地，所述待清洗电解镍板的宽度为70
‑
100mm，例如70mm、75mm、80mm、85mm、
90mm、95mm或100mm等，长度为1000
‑
1200mm，例如1000mm、1050mm、1100mm、1150mm或1200mm等，但并不仅限于所列举的数值，上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0017]作为本专利技术优选的技术方案，所述喷砂采用喷砂机进行。
[0018]作为本专利技术优选的技术方案，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种针对电解镍板的物理清洗方法，其特征在于，所述物理清洗方法包括：将待清洗电解镍板依次进行喷砂、水冲洗与干燥，得到清洗后电解镍板。2.根据权利要求1所述的物理清洗方法，其特征在于，将电解镍板按照电子束熔炼炉进料口尺寸进行剪切处理，得到所述待清洗电解镍板；优选地，所述待清洗电解镍板的宽度为70
‑
100mm，长度为1000
‑
1200mm。3.根据权利要求1或2所述的物理清洗方法，其特征在于，所述喷砂采用喷砂机进行。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的物理清洗方法，其特征在于，所述喷砂采用的砂粒包括石英砂、白刚玉砂或金刚砂中的任意一种；优选地，所述喷砂采用的砂粒的粒径为60
‑
150目。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的物理清洗方法，其特征在于，所述喷砂的气压为1.5
‑
7MPa；优选地，所述喷砂的时间为5
‑
10min。6.根据权利要求1
‑
5任一项所述的物理清洗方法，其特征在于，所述水冲洗为水枪冲洗并且采用蒸馏水。7.根据权利要求1
‑
6任一项所述的物理清洗方法，其特征在于，所述水冲洗的水压为0.5
‑
1.5MPa；优选地，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，边逸军，黄东长，姚明月，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：